探针卡制造技术

本发明专利技术的目的在于使接触器与被检体不受热量的影响而可靠地电连接，并能够缩短预热时间，进而提高效率。本发明专利技术的探针卡包括：接触器；印制线路板；处于上述接触器与上述印制线路板之间并使这二者弹性地电接触的内插器；将它们一体化的连结部件；以及对通过该连结部件而一体化的印制线路板进行加强的加强部件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对晶片等被检体进行电气特性检查时所使用的探针卡，更具体地，本专利技术涉及即使在有热变形的情况下也可以进行高可靠性检查的探针卡。
技术介绍
探针卡是安装到例如图7所示的探测装置上来进行使用的。如该图所示，探测装置包括搬送晶片W的装载室1、和对从装载室1搬送过来的晶片W进行电气特性检查的探测室2，当在装载室1内在晶片W的搬送过程中对晶片W进行预先调准后，在探测室2内进行晶片W的电气特性检查。如图7所示，探测室2包括装载经预先调准的晶片W且可进行温度调节的装载台(主吸盘)3；使主吸盘3在X及Y方向上移动的XY工作台4；配置在通过该XY工作台4而进行移动的主吸盘3的上方的探针卡5；以及使探针卡5的多个探针5A与主吸盘3上的晶片W的多个电极焊盘(electrode pad)进行正确对位的对位机构(调准机构)6。例如如图8的(a)所示，探针卡5具有多个探针5A；与这些探针卡5A连接的印制线路板5B；以及通过连结部件5C与该印制线路板5B连结并且对印制线路板5B进行加强的、由不锈钢等金属制成的加强部件5D。此外，在主吸盘3中内置有升降机构，用于使晶片W升降，从而使其与探针5A电接本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针卡，所述探针卡用于对被检体进行电气特性检查，其包括：接触器；电路基板；处于上述接触器与上述电路基板之间并使这二者弹性地电接触的中间部件；将它们一体化的连结部件；以及对通过该连结部件而一体化的上述电路基板进行加强的加强部件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2004-1-20 012077/20041.一种探针卡，所述探针卡用于对被检体进行电气特性检查，其包括接触器；电路基板；处于上述接触器与上述电路基板之间并使这二者弹性地电接触的中间部件；将它们一体化的连结部件；以及对通过该连结部件而一体化的上述电路基板进行加强的加强部件。2.如权利要求1所述的探针卡，其中，上述中间部件是内插器，该内插器具有基板，以及至少配置在该基板的上述电路基板一侧的、可自由地弹性变形的多个接触子。3.如权利要求1所述的探针卡，其中，在上述接触器上设置有多个可自由地弹性变形的接触子来作为上述中间部件。4.如权利要求1所述的探针卡，其中，上述中间部件由导电橡胶构成。...

【专利技术属性】
技术研发人员：保坂久富，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]