准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制及监测系统技术方案

本公开提供了一种准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制及监测系统，包括：环境信号采集及处理单元，用于采集所述准分子激光器的工作环境信号，并形成环境状态监测信号；多路状态互锁单元，连接至环境信号采集及处理单元，用于锁存环境状态监测信号，并输出互锁电平信号及状态上传信号；MCU主控单元，连接至多路状态互锁单元，用于接收并处理所述状态上传信号；脉冲触发输出单元，连接至多路状态互锁单元，用于接收前级触发脉冲信号，并根据多路状态互锁单元输出的互锁电平信号控制固态开关的通断。本公开能够精确控制并监测激光器每次触发出光时的电源状态，出现异常时立刻互锁输出，从而保护激光器高压脉冲电源可靠运行。从而保护激光器高压脉冲电源可靠运行。从而保护激光器高压脉冲电源可靠运行。

【技术实现步骤摘要】
准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制及监测系统


[0001]本公开涉及准分子激光器领域，尤其涉及一种准分子激光器高压脉冲电源固态开关控制及监测系统。

技术介绍

[0002]准分子激光器是一种面向深紫外特征应用的脉冲式气体激光器，具有高重频，大能量，短波长，窄线宽等特点，是优秀的光刻系统用激光光源。其中，固态开关是激光器高压脉冲电源重要组件，能够将高压直流电压逆变成激光器放电所需的初级脉冲高压信号。
[0003]随着准分子激光器的发展，对高压脉冲电源的固态开关的稳定可靠运行提出更高要求。固态开关产生的初级脉冲高压信号V
C0
，幅值过高会造成主回路开关器件IGBT或二极管的过压损坏，幅值过低将导致激光器放电腔不完全击穿，出光能量过低。同时，在准分子激光器高重频放电时，高压脉冲电源内部核心器件会明显发热，器件过热也会造成高压脉冲电源不稳定运行。因此，亟需一种能精确控制并监测准分子激光器每次触发出光时的电源状态的系统，以此来满足准分子激光器对各模块性能及其使用寿命的要求，保护激光器高压脉冲电源可靠运行。<br/>
技术实现思路
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制及监测系统，包括：环境信号采集及处理单元(20)，用于采集所述准分子激光器的工作环境信号，并形成环境状态监测信号；多路状态互锁单元(30)，连接至所述环境信号采集及处理单元(20)，用于锁存所述环境状态监测信号，并输出互锁电平信号及状态上传信号；以及MCU主控单元(40)，连接至所述多路状态互锁单元(30)，用于接收并处理所述状态上传信号；脉冲触发输出单元(10)，连接至所述多路状态互锁单元(30)，用于接收高压脉冲电源固态开关的前级触发脉冲信号，并根据所述多路状态互锁单元(30)输出的互锁电平信号控制固态开关的通断。2.根据权利要求1所述的准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制及监测系统，其特征在于，所述环境信号采集及处理单元(20)包括：脉冲电压信号采集及处理单元(210)、温度信号采集及处理单元(220)、脉冲电流信号采集及处理单元(230)以及漏液信号采集及处理单元(240)中的一种或几种。3.根据权利要2所述的准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制及监测系统，其特征在于，所述脉冲电压信号采集及处理单元(210)包括：脉冲电压信号采集电路(211)，用于采集所述固态开关的脉冲电压；第一比较电路，连接至所述脉冲电压信号采集电路，输出电压状态监测信号，所述第一比较电路包括：脉冲电压过高比较电路(212)，用于将所述脉冲电压与预定的上限值进行比较；和/或脉冲电压过低比较电路(213)，用于将所述脉冲电压与预定的下限值进行比较；和/或脉冲电压反压过高比较电路(214)，用于将所述脉冲电压的反压与预定的上限值进行比较。4.根据权利要求3所述的准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制及监测系统，其特征在于，所述脉冲电压信号采集电路(211)与所述第一比较电路之间还依次连接分压电路及电压跟随器。5.根据权利要求3或4所述的准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制及...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹沛，徐向宇，江锐，袁钊，李学，张兵，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：