一种硅片传输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种硅片传输装置，包括传输机构，所述传输机构包括并排设置的第一传输轨道和第二传输轨道，所述第一传输轨道和所述第二传输轨道分别设置在第一底座和第二底座上，所述第一底座和所述第二底座之间连接有第一驱动机构，所述第一驱动机构驱动所述第二底座横向移动且所述第二底座的移动方向与所述第一传输轨道的传输方向相垂直。本实用新型专利技术的一种硅片传输装置通过第一驱动机构移动第二底座，使得第二底座与第一底座产生相对位移，从而在第一传输轨道和第二传输轨道之间形成相对位移，在保持第一传输轨道和第二传输轨道传输的同时，将两者的间距调节至与下一工序的设备上硅片轨道的间距一致，从而提高了传输效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片传输装置


[0001]本技术涉及硅片传输装置
，尤其是指一种硅片传输装置。

技术介绍

[0002]硅片从花篮中被取出后，通过硅片传输装置传入下一工序，通过硅片传输装置代替人工传输的技术被广泛应用在半导体行业中。
[0003]现有的硅片传输装置在传输二分之一硅片时，由于二分之一硅片在花篮中的间距与下一工序的设备上硅片轨道的间距不同，而现有的硅片传输装置不具有传输中更改间距的功能，无法在保持传输的同时调节二分之一硅片的间距至与下一工序的设备上硅片轨道的间距相同，从而降低了传输效率。

技术实现思路

[0004]为此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中无法在保持传输的同时调节硅片的间距，导致传输效率降低的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供了一种硅片传输装置，包括传输机构和第一驱动机构，所述传输机构包括并排设置的第一传输轨道和第二传输轨道，所述第一传输轨道和所述第二传输轨道分别设置在第一底座和第二底座上，所述第一驱动机构与所述第二底座连接并驱动所述第二底座移动，以调节所述第二底座与所述第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片传输装置，其特征在于：包括传输机构和第一驱动机构，所述传输机构包括并排设置的第一传输轨道和第二传输轨道，所述第一传输轨道和所述第二传输轨道分别设置在第一底座和第二底座上，所述第一驱动机构与所述第二底座连接并驱动所述第二底座移动，以调节所述第二底座与所述第一底座之间的距离。2.根据权利要求1所述的一种硅片传输装置，其特征在于：所述第一驱动机构包括移动组件和从动组件，所述移动组件驱动所述第二底座移动，所述从动组件包括滑轨和第一滑块，所述滑轨设置于所述第一底座上，所述第二底座通过所述第一滑块与所述滑轨滑动连接。3.根据权利要求2所述的一种硅片传输装置，其特征在于：所述移动组件包括设置在所述第一底座上的动力源、与所述动力源的输出端连接的丝杆、套设在所述丝杆上的第二滑块，所述动力源驱动所述丝杆绕其轴心线转动，所述第二滑块内设有与所述丝杆相匹配的螺纹，所述第二滑块与所述第二底座连接。4.根据权利要求3所述的一种硅片传输装置，其特征在于：所述动力源为第一驱动电机，所述第一驱动电机与所述丝杆同轴设置。5.根据权利要求2所述的一种硅片传输装置，其特征在于：所述移动组件包括设置在所述第一底座上的气缸...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，朱方松，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：