一种用于硅片检测的组合光源制造技术

技术编号:31850328 阅读:9 留言:0更新日期:2022-01-12 13:34
本实用新型专利技术涉及一种用于硅片检测的组合光源,包括底座,底座上可旋转设置有多个光源装置,光源装置内设置有发光源,发光源采用三色线偏振光源。本实用新型专利技术所述的一种用于硅片检测的组合光源,三色线偏振光源实现了三种颜色的独立控制,这样颜色实现了自由组合和256灰度等级调节,避免了人工频繁更换测试环境;并且光源装置实现了旋转调节,因此实现了光域大小的调节,很好的兼容了不同规格太阳能硅片的缺陷检测,大大提高了产线的检测效率。大大提高了产线的检测效率。大大提高了产线的检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片检测的组合光源


[0001]本技术涉及筛选光源
,尤其是指一种用于硅片检测的组合光源。

技术介绍

[0002]在产品的制作过程中,有的产品在出厂时需要对产品的尺寸及表面缺陷等方面进行相关检测,这就对光源提出了较高的要求。对不同的产品检测需要使用不同颜色的光源,硅片的产品呈多样化需求,现有技术的光源一般只能检测其中一两款产品,检测效率低下。

技术实现思路

[0003]为此,本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中人工频繁更换测试环境导致的检测效率低下的问题,可以针对不同类型的产品做到快速配光,可以避免人工频繁更换测试环境问题的发生,可以提高硅片的检测效率。
[0004]为了解决上述技术问题,本技术提供了一种用于硅片检测的组合光源,包括底座,所述底座上可旋转设置有多个光源装置,所述光源装置内设置有发光源,所述发光源采用三色线偏振光源。
[0005]在本技术的一个实施例中,所述光源装置呈长方体形。
[0006]在本技术的一个实施例中,所述光源装置其中一个较长的侧面上设置有线偏振镜片,所述发光源所发出的光线穿过所述线偏振镜片。
[0007]在本技术的一个实施例中,所述底座呈矩形,所述底座的四周均安装一个所述光源装置,所述线偏振镜片位于所述光源装置的底面。
[0008]在本技术的一个实施例中,所述光源装置的两端均通过连接板与所述底座相连接。
[0009]在本技术的一个实施例中,所述连接板包括底板,所述底板下连接有侧板,所述侧板和所述光源装置相连接,所述底板和底座相连接。
[0010]在本技术的一个实施例中,所述侧板上设置有通孔,所述光源装置上均设置有转轴,所述转轴穿设在所述通孔内。
[0011]在本技术的一个实施例中,所述侧板上还设置有滑槽,所述光源装置上还均设置有螺纹孔,所述螺纹孔中安装有螺钉,所述螺钉可滑动地安装在所述滑槽内。
[0012]在本技术的一个实施例中,多个所述光源装置之间所发出的光线形成交叉光域。
[0013]在本技术的一个实施例中,所述光源装置包括铝架,所述发光源上连接有插头,所述插头固定在所述铝架上。
[0014]本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点:
[0015]本技术所述的一种用于硅片检测的组合光源,三色线偏振光源实现了三种颜色的独立控制,这样颜色实现了自由组合和256灰度等级调节,避免了人工频繁更换测试环境;并且光源装置实现了旋转调节,因此实现了光域大小的调节,很好的兼容了不同规格太
阳能硅片的缺陷检测,大大提高了产线的检测效率。
附图说明
[0016]为了使本技术的内容更容易被清楚的理解,下面根据本技术的具体实施例并结合附图,对本技术作进一步详细的说明,其中
[0017]图1是本技术的用于硅片检测的组合光源一实施例的结构示意图;
[0018]图2是图1中A处的局部放大示意图;
[0019]图3是本技术中用于硅片检测的组合光源光源装置一实施例的爆炸结构示意图。
[0020]说明书附图标记说明:1、底座;2、光源装置;3、发光源;4、线偏振镜片;5、连接板;6、侧板;7、底板;8、通孔;9、转轴;10、滑槽;11、螺纹孔;12、螺钉;13、插头;14、铝架。
具体实施方式
[0021]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明,以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施,但所举实施例不作为对本技术的限定。
[0022]参照图1所示,本技术的用于硅片检测的组合光源,包括底座1,底座1上可旋转设置有多个光源装置2,光源装置2内设置有发光源3,发光源3采用三色线偏振光源。通过三色线偏振光源实现三种颜色独立控制,这样可以做到颜色自由组合且实现256灰度等级,可以实现不同产品的检测。并且光源装置2可以旋转,因此光域的大小可以调节,可以很好的兼容不同规格太阳能硅片的缺陷检测,可以大大提高产线效率,避免了人工频繁更换测试环境。
[0023]在其中一个实施方式中,光源装置2呈长方体形。光源装置2需要有一个固定平面,因此光源装置2的截面可以是三角形、长方形等等,因为光源装置2内部还要安装发光源3和线路等结构件,因此光源装置2的截面优选长方形,也就是光源装置2选择长方体形,这样在方便光源装置2固定的前提下,还能拥有充足的空间。
[0024]在其中一个实施方式中,光源装置2其中一个较长的侧面上设置有线偏振镜片4,发光源3所发出的光线穿过线偏振镜片4。线偏振镜片4可以有效地排除和滤除光束中的散射光线,并且将发光源3所发出的万向光转换成线偏振平行光,使得光线能够均匀的打亮被检测物体的缺陷,提高成像质量。
[0025]在其中一个实施方式中,底座1呈矩形,底座1的四周均安装一个光源装置2,线偏振镜片4位于光源装置2的底面。底座1呈矩形,这样底座1的四周安装四个光源装置2,光源装置2发出的光线经过线偏振镜片4,由于线偏振镜片4位于源装置2的底面,所以穿过线偏振镜片4发出的光线向下,这样光源装置2下方可以形成一个矩形的发光区域,当产品经过此区域时,产品完成检测。
[0026]在其中一个实施方式中,光源装置2的两端均通过连接板5与底座1相连接。连接板5用于将发光装置和底座1连接起来,光源装置2在底座1上可以旋转调节,这样可以调节四个发光装置所形成的照射光域的大小,进而可以很好的兼容不同规格太阳能硅片的缺陷检测。
[0027]在其中一个实施方式中,连接板5包括底板7,底板7下连接有侧板6,侧板6和光源
装置2相连接,底板7和底座1相连接。底板7用于将光源装置2与底座1连接起来,侧板6用于实现光源装置2的可旋转连接。
[0028]在其中一个实施方式中,侧板6上设置有通孔8,光源装置2上均设置有转轴9,转轴9穿设在通孔8内。通过转轴9与通孔8的配合实现光源装置2的旋转动作。
[0029]在其中一个实施方式中,侧板6上还设置有滑槽10,光源装置2上还均设置有螺纹孔11,螺纹孔11中安装有螺钉12,当光源装置2相对于底板7旋转时,螺钉12可滑动地安装在滑槽10内。光源装置2通过转轴9与通孔8的配合实现旋转动作,通过螺钉12实现光源装置2的定位动作。当需要对光源装置2进行旋转调节时,可以将螺钉12逆时针旋转,螺钉12向外移动,然后将光源装置2调节至需要的角度,调节完毕后,顺时针旋转螺钉12,螺钉12向光源装置2的方向移动,螺钉12将光源装置2与连接板5的侧板6拧紧,使得光源装置2实现定位功能。
[0030]在其中一个实施方式中,多个光源装置2之间所发出的光线形成交叉光域。该交叉光域实现对产品的照射检测。
[0031]在其中一个实施方式中,光源装置2包括铝架14,发光源3上连接有插头13,插头13固定在铝架14上。铝架14是光源装置2的支架,采用铝制的支架可以减轻光源装置2的重量,这本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片检测的组合光源,其特征在于:包括底座(1),所述底座(1)上可旋转设置有多个光源装置(2),所述光源装置(2)内设置有发光源(3),所述发光源(3)采用三色线偏振光源。2.根据权利要求1所述的用于硅片检测的组合光源,其特征在于:所述光源装置(2)呈长方体形。3.根据权利要求2所述的用于硅片检测的组合光源,其特征在于:所述光源装置(2)其中一个较长的侧面上设置有线偏振镜片(4),所述发光源(3)所发出的光线穿过所述线偏振镜片(4)。4.根据权利要求3所述的用于硅片检测的组合光源,其特征在于:所述底座(1)呈矩形,所述底座(1)的四周均安装一个所述光源装置(2),所述线偏振镜片(4)位于所述光源装置(2)的底面。5.根据权利要求4所述的用于硅片检测的组合光源,其特征在于:所述光源装置(2)的两端均通过连接板(5)与所述底座(1)相连接。6.根据权利要求5所述的用于硅片检测的组合光源,其特征在于:所述连接板(5)...

【专利技术属性】
技术研发人员:薛攀
申请(专利权)人:浙江华周智能装备有限公司
类型:新型
国别省市:

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