【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种设置在真空处理装置的处理容器内部的遮护体,其特征在于,包括:露出于所述处理容器内部的被减压的处理空间的外壁结构;形成在所述外壁结构的内部、与所述处理空间隔绝的内部空间;和设置在所述内部空间、对所述外壁结构进行加热 的加热单元,所述内部空间与所述真空处理容器的外部连通,所述加热单元形成为以片状在所述内部空间内延伸。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:野泽俊久,汤浅珠树,
申请(专利权)人:东京毅力科创株式会社,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。