【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种光学设备，包括：具有多个通道的相干性去除器；和将辐射束转化成多个辐射束的均化器，以便该多个辐射束的每个相应的辐射束通过所述相干性去除器的多个通道的每个相应的通道。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：H威瑟，JFF克林卡默，L里齐科夫，S科斯顿，A祖比尔，HJP文克，YK施马里夫，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，ASML控股有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]
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