公开一种从喷出头向基板喷出含有图案形成材料的液滴，并在该基板上形成图案的图案形成方法。所述喷出头具有沿所述基板的一面排列的多个喷出口。在使所述基板相对于所述喷出头移动的同时，沿着相对于所述基板的法线倾斜的喷出方向从所述喷出口喷出含有所述图案形成材料的液滴。该液滴的喷出在使所述喷出口的排列方向相对于所述基板的移动方向倾斜的状态下进行。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及图案形成方法、液滴喷出装置、电光装置、取向膜形成方法、取向膜形成装置及液晶显示装置。
技术介绍
显示装置或半导体装置的制造工序中含有大量的图案形成工序，该图案形成工序将在基板上堆积的膜图案化为希望的形状从而形成膜图案。近年来，在这种图案形成工序中，为了提高生产率而利用喷墨法，该喷墨法通过使向基板上喷出的液滴固化而形成膜图案。喷墨法由于能够在基板上形成与液滴形状对应的膜图案，所以不需要形成用于图案化的掩模。其结果是，能够削减图案形成工序的工序数。但是，在利用喷墨法来形成膜图案的情况下，若着落在基板上的液滴在该基板表面上不润湿扩散，则因为由该多个液滴形成的凹凸形状反映在膜图案的图案形状上，从而存在有损膜图案的平坦性或膜厚的均匀性之患。因此，在这样的喷墨法中，提出了使着落在基板上的液滴的润湿扩散性提高的方法。在日本特开2005-131498号公报中，公开了通过使液滴的喷出方向相对于基板的法线倾斜，来对喷出的液滴赋予沿基板表面的方向的速度分量的方法。由此，能够使着落的液滴沿着基板的切线方向润湿扩散基板的法线方向和液滴的喷出方向所呈的角度(倾斜角)量。在上述的喷墨法中，在形成不同膜厚的膜图案的情况下，改变液滴的每单位面积的喷出量。此时，如图11所示，在将各液滴Fb的容量维持为一定的状态下，使喷出液滴Fb的间隔、即喷出间距W增减。例如，在形成薄膜的膜图案FP的情况下，将每一滴的液滴容量维持为一定，在该状态下，通过使液滴喷出喷嘴和基板Sb的相对速度增加，或延长喷出动作的动作周期，来使液滴Fb的喷出间距W增加。由此，可实现液滴喷出动作的稳定化，可确保喷出量的再现性、即薄膜图案的膜厚再现性。但是，在液滴Fb的喷出方向A相对于基板Sb的法线方向(Z方向)倾斜的情况下，着落的各液滴Fb的形状成为近似椭圆形状，该近似椭圆形状具有沿着与该法线方向正交的方向(X方向)延伸的长径、和沿着喷嘴N的排列方向(Y方向)的短径。其结果是，产生以下的问题。呈椭圆形状的各液滴Fb由于其厚度小，所以流动性下降。其结果是，在液滴Fb的短径方向(Y方向)上邻接的液滴Fb彼此的接合部分的厚度变小，在与邻接的喷嘴N之间相对的基板Sb上的区域，形成没有液滴Fb的部分(凹部B)。其结果是，在膜图案FP上，由于与凹部B对应的区域的膜厚极小，所以其膜厚均匀性被显著破坏。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种能够使由液滴构成的图案的膜厚均匀性提高的图案形成方法、液滴喷出装置、电光装置、取向膜形成方法、取向膜形成装置及液晶显示装置。为了达成上述目的，在本专利技术的第一方式中，提供一种从喷出头向基板喷出含有图案形成材料的液滴，并在该基板上形成图案的图案形成方法。该图案形成方法包括使所述喷出头及所述基板中的至少一方相对于另一方移动的步骤，其中，所述喷出头具有沿着所述基板的一面排列的多个喷出口；使所述喷出口的排列方向相对于所述相对移动的方向倾斜的步骤；在进行所述相对移动的同时，沿着相对于所述基板的法线倾斜的喷出方向从所述喷出口喷出含有所述图案形成材料的液滴的步骤。在本专利技术的第二方式中，提供一种向基板喷出含有图案形成材料的液滴，并在该基板上形成图案的液滴喷出装置。该液滴喷出装置具有喷出头、移动机构、倾动机构、转动机构。喷出头具有沿一方向排列且向所述基板喷出所述液滴的多个喷出口。移动机构使所述喷出头及所述基板中的至少一方相对于另一方移动。倾动机构以沿着喷出口的排列方向延伸的倾动轴为中心使所述喷出头倾动，使得来自所述喷出口的液滴的喷出方向相对于所述基板的法线倾斜。转动机构以沿着所述基板的法线延伸的转动轴为转动中心使所述喷出头转动，使得所述喷出口的排列方向相对于所述相对移动的方向倾斜。在本专利技术的第三方式中，提供一种具备具有由第二方式的液滴喷出装置形成的图案的基板的电光装置。在本专利技术的第四方式中，提供一种从喷出头向基板喷出含有取向膜形成材料的液滴，并在该基板上形成取向膜的取向膜形成方法。该取向膜形成方法包括使所述喷出头及所述基板中的至少一方相对于另一方移动的步骤，其中，所述喷出头具有沿着所述基板的一面排列的多个喷出口；使所述喷出口的排列方向相对于所述相对移动的方向倾斜的步骤；在进行所述相对移动的同时，沿着相对于所述基板的法线倾斜的喷出方向从所述喷出口喷出含有所述取向膜形成材料的液滴的步骤。在本专利技术的第五方式中，提供一种向基板喷出含有取向膜形成材料的液滴，并在该基板上形成取向膜的取向膜形成装置。该取向膜形成装置具有喷出头、移动机构、倾动机构、转动机构。喷出头具有沿一方向排列且向所述基板喷出所述液滴的多个喷出口。移动机构使所述喷出头及所述基板中的至少一方相对于另一方移动。倾动机构以沿着喷出口的排列方向延伸的倾动轴为中心使所述喷出头倾动，使得来自所述喷出口的液滴的喷出方向相对于所述基板的法线倾斜。转动机构以沿着所述基板的法线延伸的转动轴为转动中心使所述喷出头转动，使得所述喷出口的排列方向相对于所述相对移动的方向倾斜。在本专利技术的第六方式中，提供一种具备具有由第五方式的取向膜形成装置形成的取向膜的基板的液晶显示装置。附图说明图1是表示液晶显示装置的立体图；图2是沿图1的2-2线的剖面图；图3是表示图2的液滴喷出装置的立体图；图4是表示图2的液滴喷出装置的液滴喷出头的立体图；图5是表示图4的液滴喷出头的俯视图；图6是表示图4的液滴喷出头的侧视图； 图7是表示图4的液滴喷出头的局部剖面图；图8是说明图4的液滴喷出头的动作的说明图；图9是说明图2的液滴喷出装置的液滴喷出动作的说明图；图10是表示图2的液滴喷出装置的电结构的框图；图11是表示现有的液滴喷出装置的概略侧视图。具体实施例方式以下，结合图1～图10说明将本专利技术具体化的一实施方式。首先，说明作为具有由本专利技术的图案形成方法形成的取向膜27的电光装置的液晶显示装置10。图1是液晶显示装置1的立体图，图2是图1的2-2线剖面图。在图1中，在液晶显示装置10的下侧具备边缘照明(edge light)型的背光灯12，该背光灯12具有LED等光源11，并呈为四角板状。在背光灯12的上方具备四角板状的液晶面板13，该液晶面板13具有与该背光灯12大致相同的尺寸。从光源11射出的光朝向液晶面板13照射。液晶面板13具有元件基板14和与该元件基板14相对置的对置基板15。元件基板14和对置基板15，如图2所示，经由由光固化性树脂构成的四角框状的密封材16而贴合在一起。在元件基板14和对置基板15之间的间隙，封入有液晶17。在元件基板14的下表面、即与背光灯12对置的一侧的面上，贴合有偏振光片或相位差板等光学基板18。光学基板18对来自背光灯12的光进行直线偏振光并向液晶17射出。在元件基板14的上表面、即与对置基板15对置的面(元件形成面14a)上，排列有沿一方向、即X方向延伸的多个扫描线Lx。各扫描线Lx相对于在元件基板14上配置的扫描线驱动电路19电连接，来自扫描线驱动电路19的扫描信号在规定的时刻被输入到各扫描线Lx。另外，在元件形成面14a上排列有沿Y方向延伸的多个数据线Ly。各数据线Ly相对于在元件基板14上配置的数据线驱动电路21电连接。从数据线驱动电路21在规定的时刻向各数据线Ly输入基于显示数据的数据信号。在元件形成本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种图案形成方法，其从喷出头向基板喷出含有图案形成材料的液滴，并在该基板上形成图案，其中，包括：使所述喷出头及所述基板中的至少一方相对于另一方移动的步骤，其中，所述喷出头具有沿着所述基板的一面排列的多个喷出口；使所述喷出口的排列方向相对于所述相对移动的方向倾斜的步骤；在进行所述相对移动的同时，沿着相对于所述基板的法线倾斜的喷出方向从所述喷出口喷出含有所述图案形成材料的液滴的步骤。
【技术特征摘要】
JP 2007-1-10 2007-002546;JP 2006-2-22 2006-0448581.一种图案形成方法，其从喷出头向基板喷出含有图案形成材料的液滴，并在该基板上形成图案，其中，包括使所述喷出头及所述基板中的至少一方相对于另一方移动的步骤，其中，所述喷出头具有沿着所述基板的一面排列的多个喷出口；使所述喷出口的排列方向相对于所述相对移动的方向倾斜的步骤；在进行所述相对移动的同时，沿着相对于所述基板的法线倾斜的喷出方向从所述喷出口喷出含有所述图案形成材料的液滴的步骤。2.如权利要求1所述的图案形成方法，其中，还包括设定所述相对移动的方向，使得从所述基板的法线方向观察，所述相对移动的方向具有沿着所述喷出方向的方向分量的步骤。3.如权利要求1或2所述的图案形成方法，其中，还包括为了使所述喷出口的排列方向相对于所述相对移动的方向倾斜，而以沿着所述基板的法线延伸的转动轴为中心使所述喷出头转动的步骤。4.如权利要求1或2所述的图案形成方法，其中，还包括为了设定所述喷出方向，而以沿着所述基板的一面延伸的倾动轴为中心使所述喷出头倾动的步骤。5.一种液滴喷出装置，其向基板喷出含有图案形成材料的液滴，并在该基板上形成图案，其中，具有喷出头，其具有沿一方向排列且向所述基板喷出所述液滴的多个喷出口；移动机构，其使所述喷出头及所述基板中的至少一方相对于另一方移动；倾动机构，其以沿着喷出口的排列方向延伸的倾动轴为中心使所述喷出头倾动，使得来自所述喷出口的液滴的喷出方向相对于所述基板的法线倾斜；转动机构，其以沿着所述基板的法线延伸的转动轴为转动中心使所述喷出头转动，使得所述喷出口的排列方向相对于所述相对移动的方向倾斜。6.如权利要求5所述的液滴喷出装置，其中，所述倾动机构使所述喷出头倾动，使得从所述基板的法线方向观察，所述喷出方向具有沿所述相对移动的方向的方向分量。7.如权利要求5所述的液滴...
【专利技术属性】
技术研发人员：岩田裕二，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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