【技术实现步骤摘要】
液滴释放装置和位置调整方法
[0001]本专利技术涉及液滴释放装置和位置调整方法。
技术介绍
[0002]已知有液滴释放装置，其能够对被运送的基片以喷墨方式进行涂敷液的液滴的涂敷。
[0003]另一方面，在专利文献1中，作为喷墨头的制造技术，公开了通过将多个头部高精度地配置在一个承载器上，来组装长条的喷墨头的组装装置。在液滴释放装置中，搭载有例如用上述组装装置组装成的喷墨头。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2001
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162892号公报
技术实现思路
[0007]专利技术要解决的技术问题
[0008]本专利技术提供能够在液滴释放装置中进行头部的位置调整的技术。
[0009]用于解决技术问题的技术手段
[0010]本专利技术的一个方式的液滴释放装置包括释放单元、运送单元和调整单元。释放单元具有：形成有多个开口部的承载器；多个头部，其以覆盖开口部的方式设置在承载器，能够释放功能液的液滴；和能...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种液滴释放装置，其特征在于，包括：释放单元，其具有：形成有多个开口部的承载器；多个头部，其以覆盖所述开口部的方式设置在所述承载器，能够释放功能液的液滴；和多个固定部，其能够相对于所述承载器对所述头部进行固定和固定解除；运送单元，其配置在所述释放单元的下方，能够沿水平方向运送基片；和调整单元，其从所述释放单元的下方进行访问以调整所述头部的位置。2.如权利要求1所述的液滴释放装置，其特征在于：所述调整单元从所述释放单元的下方访问所述头部以调整所述头部相对于所述开口部的位置。3.如权利要求2所述的液滴释放装置，其特征在于：所述运送单元包括：能够载置所述基片的工作台；和使所述工作台沿第一水平方向移动的第一移动机构，所述调整单元包括：第二移动机构，其设置在所述工作台的侧面，能够沿与所述第一水平方向交叉的第二水平方向移动；和第三移动机构，其设置在所述第二移动机构，能够从下方支承所述头部以使之移动。4.如权利要求3所述的液滴释放装置，其特征在于：所述调整单元包括拍摄部，所述拍摄部设置在所述第三移动机构，对所述头部的下表面进行拍摄，液滴释放装置还包括控制部，所述控制部执行以下处理：控制所述第一移动机构和所述第二移动机构中的至少一者以使所述第三移动机构移动到所述头部的下方的处理；控制所述拍摄部拍摄所述头部的下表面，基于拍摄到的图像计算所述头部的移动量的处理；基于计算出的移动量控制所述第三移动机构以使所述头部移动的处理；和在移动了所述头部之后，控制所述固定部以将所述头部固定在所述承载器的处理。5.如权利要求4所述的液滴释放装置，其特征在于：所述控制部执行以下处理：在将所述头部固定在所述承载器的处理结束后，控制所述释放单元以从所述头部释放所述液滴的处理；和基于所述液滴的释放位置，控制所述第三移动机构以对所述头部的位置进行再调整的处理。6.如权利要求4或5所述的液滴释放装置，其特征在于：所述第三移动机构包括：从下方支承所述头部的支承部件；和移动部，其具有设置有所述支承部件的移动台，能够使所述移动台移动，所述调整单元包括距离测量部，所述距离测量部设置在所述移动台，能够测量至所述头部的下表面为止的距离，
所述控制部执行以下处理：在计算所述头部的移动量的处理之前，一边控制所述第二移动机构使所述距离测量部沿所述第二水平方向移动一边用所述距离测量部进行测量的处理；和基于所述距离测量...
【专利技术属性】
技术研发人员：太田义治，宫崎一仁，宫，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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