超声波探头制造技术

本发明专利技术的用于生物体的超声波诊断装置的超声波探头具有由多个积层型振动元件构成的振子阵列。通过跨过邻接的两个振动元件，形成特定结构（对置结构）。在各振动元件中，接地用第一垂直电极层与顶面电极层和内部电极层连接，信号用第二垂直电极层与底面电极层和内部电极层连接。当形成特定结构时，反复进行在积层体上形成槽和填充该槽等的工序。最终，通过形成多个分离槽，将积层体分割为多个振动元件。另一方面，沿水平方向对各振动元件进行复合处理。该复合处理可在特定结构的形成之前、形成之中和形成之后的任何阶段进行。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及超声波探头及其制造方法，本专利技术特别涉及用于生物 体的超声波诊断的积层型振子阵列的结构及其制造方法。
技术介绍
作为排列有多个振动元件的振子阵列，已知有2D振子阵列(包括 稀疏型2D振子阵列)，1.5D振子阵列。在这样的振子阵列中，构成这 种振子阵列的各振动元件的尺寸非常小。因此，各振动元件的电阻抗 极高，在各振动元件与电缆(或装置主体)之间，无法获得电阻抗匹配。 其结果是导致显著的灵敏度损失的问题。于是，人们提出使各振动元件形成积层型的技术。如果采用这种 技术，则各振动元件构成以规定顺序将多个压电层和多个电极层积层 的积层体。具体来说，在该积层体的底面，设有底面电极层，在该积 层体的顶面，设有顶面电极层，在邻接的两个压电层之间，则设有内 部电极层。因此，该多个电极层中的第奇数个电极层用作比如，信号 电极层，而第偶数个电极层用作比如，接地电极层。在多个信号电极 层和多个接地电极层之间，施加电压信号。按照该方案，可减小振动 元件的电阻抗。如上所述的积层型振动元件，在多个电极层的电连接方面会出现 问题。特别是，问题在于如何将导线或电极层与多个内部电极层连接。 作为1个已本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声波探头，其特征在于，包括具有多个振动元件的振子阵列，所述各振动元件具有：沿水平方向连接的至少１个压电部和至少１个树脂部；所述至少１个压电部具有沿垂直方向按照规定顺序积层的多个压电部和多个水平电极层，以及以规定 的连接关系与所述多个水平电极层实现电连接的一对垂直电极层；所述至少１个树脂部构成沿垂直方向具有连续性的填充层；所述各振动元件沿垂直方向积层，并且沿水平方向复合。

【技术特征摘要】
JP 2002-7-19 2002-210891;JP 2003-6-13 2003-169658;1.一种超声波探头，其特征在于，包括具有多个振动元件的振子阵列，所述各振动元件具有沿水平方向连接的至少1个压电部和至少1个树脂部；所述至少1个压电部具有沿垂直方向按照规定顺序积层的多个压电部和多个水平电极层，以及以规定的连接关系与所述多个水平电极层实现电连接的一对垂直电极层；所述至少...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤正平，
申请(专利权)人：阿洛卡株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]