一种高精度数控多晶硅双端面磨床制造技术

本发明专利技术公开了一种高精度数控多晶硅双端面磨床，涉及多晶硅加工技术领域，包括底板与输送带，所述底板的顶部设置有两块固定板，所述固定板之间转动连接有第一转辊，所述固定板之间且位于第一转辊的一端转动连接有第二转辊，该高精度数控多晶硅双端面磨床，通过设置有输送带、安装板与立板，将多晶硅放置在顶柱的顶部，然后电动伸缩杆的伸缩端推动夹板移动，将多晶硅夹住，然后伺服电机的输出端带动第二转辊转动，使得第二转辊通过输送带带动第一转辊转动，使得输送带带动多晶硅移动至第一个打磨机构的下方，然后伺服电机关闭，此时第一个打磨机构对多晶硅端面进行打磨，同时进液机构进行喷液降温，使得一次加工数量增多，提高了效率。高了效率。高了效率。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度数控多晶硅双端面磨床


[0001]本专利技术涉及多晶硅加工
，具体为一种高精度数控多晶硅双端面磨床。

技术介绍

[0002]多晶硅的表面要求很高，经过磨削可以提高硅片的加工成品率。但是现有的多晶硅磨床只能够对多晶硅单端面进行加工，需要对多晶硅另一端面进行加工时，需要人工调整多晶硅端面位置，使得加工效率降低，同时现有的磨床在进行打磨的时候，只能一次上一个原料进行打磨，这样加工效率低下。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种高精度数控多晶硅双端面磨床，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种高精度数控多晶硅双端面磨床，包括底板与输送带，所述底板的顶部设置有两块固定板，所述固定板之间转动连接有第一转辊，所述固定板之间且位于第一转辊的一端转动连接有第二转辊，所述第一转辊与第二转辊通过输送带传动连接，所述输送带的工作面设置有若干个传动箱，所述传动箱的远离输送带的一端均设置有收集箱，所述收集箱内腔设置有限位板，所述限位板的顶部且位于收集箱的外侧设置有安装板，所述安装板的顶部均设置有两块立板，所述立板的一侧均转动连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩端均设置有夹板，所述立板的另一侧均设置有连接箱，所述立板的另一侧且位于连接箱内部均转动连接有连接杆，所述连接杆的一端均与电动伸缩杆的一端相连接，所述连接杆位于连接箱内部的一端均套设有第一锥齿轮，所述连接箱内腔的另一侧均转动连接有传动杆，所述传动杆的外侧均套设有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮均与第一锥齿轮啮合连接，所述传动杆的一端均延伸至连接箱的外侧并设置有第三传动齿轮，所述安装板的一端且位于两块立板之间均设置有升降箱，所述升降箱内腔的顶部均转动连接有往复丝杆，所述往复丝杆的底端均延伸至安装板内部，所述往复丝杆的外侧均螺纹连接有推块，所述推块的一端均设置有顶柱，所述顶柱的一端均延伸至升降箱的外侧，所述安装板内腔的一侧均转动连接有传动轴，所述传动轴的外侧均套设有第四锥齿轮，所述往复丝杆的底端均设置有第三锥齿轮，所述第三锥齿轮均与第四锥齿轮啮合连接，所述传动轴的一端均延伸至安装板的外侧并套设有第一传动齿轮。
[0005]可选的，一块所述固定板的顶部设置有齿条板，所述齿条板一侧的上方设置有第一齿条，所述齿条板一侧的中部设置有第二齿条，所述齿条板一侧的中部且位于第二齿条的一端设置有第三齿条，所述齿条板一侧的下方设置有第四齿条。
[0006]可选的，所述传动箱内部均设置有抽液缸，所述抽液缸内部均滑动连接有活塞杆，所述活塞杆的一端均延伸至抽液缸的外侧并设置有推板，所述抽液缸的一端且位于活塞杆的两侧均设置有复位弹簧，所述复位弹簧的一端均与推板的一侧相连接，所述传动箱内腔且位于推板的一侧均转动连接有转动轴，所述转动轴的外侧均套设有凸轮，所述转动轴的
外侧而且位于凸轮的下方均套设有第五锥齿轮，所述传动箱内腔的一侧均转动连接有连接轴，所述连接轴的一端均套设有第六锥齿轮，所述第六锥齿轮均与第五锥齿轮啮合连接，所述连接轴的另一端均延伸至抽液缸的外侧并设置有第二传动齿轮，所述抽液缸的一端均设置有吸管，所述吸管的一端均延伸至收集箱内部。
[0007]可选的，所述抽液缸的一侧均设置有排管，所述排管的一端均延伸至传动箱的外侧，所述排管与吸管位于抽液缸内部的一端均设置有单向阀。
[0008]可选的，所述底板的顶部设置有工作台，所述工作台的顶部设置有磨磨液箱，所述工作台顶部的下方设置有两个打磨机构，所述磨磨液箱的一侧设置有两个进液机构，所述进液机构的一端均与打磨机构相连接。
[0009]可选的，所述固定板的一侧均设置有支撑架，一个所述支撑架的顶部设置有废液箱。
[0010]可选的，一块所述固定板的一侧设置有伺服电机，所述伺服电机的输出端与第二转辊的一端相连接。
[0011]本专利技术提供了一种高精度数控多晶硅双端面磨床，具备以下有益效果：1、该高精度数控多晶硅双端面磨床，通过设置有输送带、安装板与立板，将多晶硅放置在顶柱的顶部，然后电动伸缩杆的伸缩端推动夹板移动，将多晶硅夹住，然后伺服电机的输出端带动第二转辊转动，使得第二转辊通过输送带带动第一转辊转动，使得输送带带动多晶硅移动至第一个打磨机构的下方，然后伺服电机关闭，此时第一个打磨机构对多晶硅端面进行打磨，同时进液机构进行喷液降温，使得一次加工数量增多，提高了效率。
[0012]2、该高精度数控多晶硅双端面磨床，通过设置有连接杆、顶柱与第三锥齿轮，输送带带动多晶硅继续移动，首先第一传动齿轮与第二齿条接触，第二齿条带动第一传动齿轮转动，使得推块带动顶柱下移，当第二齿条与第一传动齿轮脱离接触时，顶柱下移至适当位置，当第三传动齿轮与第一齿条接触时，第一齿条带动第三传动齿轮转动，使得连接杆带动电动伸缩杆转动，进而带动多晶硅进行转动，当第三传动齿轮与第一齿条脱离接触时，多晶硅的另一端面转动至工作位置，当第一传动齿轮与第三齿条接触时，第三齿条带动第一传动齿轮转动，使得推块带动顶柱上移，当第一传动齿轮与第三齿条脱离接触时，顶柱的顶部与多晶硅的底部接触，从而使得本磨床能够自动对多晶硅的端面进行调整，从而无需工作人员进行调整，提高了加工效率。
[0013]3、该高精度数控多晶硅双端面磨床，通过设置有凸轮、第二传动齿轮与转动轴，在多晶硅移动时，第四齿条带动第二传动齿轮转动，使得连接轴带动第六锥齿轮转动，使得第五锥齿轮带动转动轴转动，使得凸轮转动，使得凸轮的圆面端向推板方向转动时，复位弹簧推动推板复位，使得收集箱内部的废液通过吸管进入至抽液缸内部，当凸轮的凸面端向推板方向转动时，推板推动活塞杆移动，使得抽液缸内部的废液通过排管将其排入至废液箱内部，通过废液箱对废液进行收集处理，使得废液不会洒落在输送带上，影响本磨床正常使用，同时方便对废液进行收集。
附图说明
[0014]图1为本专利技术内部结构示意图；图2为本专利技术侧视结构示意图；
图3为本专利技术图1的部分结构示意图；图4为本专利技术图2的部分结构示意图；图5为本专利技术齿条板结构示意图；图6为本专利技术图3的A处放大图；图7为本专利技术图3的B处放大意图；图8为本专利技术图4的C处放大图。
[0015]图中：1、底板；2、支撑架；3、固定板；4、第一转辊；5、第二转辊；6、输送带；7、传动箱；8、收集箱；9、限位板；10、安装板；11、立板；12、电动伸缩杆；13、夹板；14、连接箱；15、第一锥齿轮；16、传动杆；17、第二锥齿轮；18、升降箱；19、往复丝杆；20、推块；21、顶柱；22、传动轴；23、第三锥齿轮；24、第四锥齿轮；25、第一传动齿轮；26、抽液缸；27、活塞杆；28、推板；29、复位弹簧；30、转动轴；31、凸轮；32、第五锥齿轮；33、连接轴；34、第六锥齿轮；35、第二传动齿轮；36、排管；37、吸管；38、齿条板；39、第一齿条；40、第二齿条；41、第三齿条；42、第四齿条；43、废液箱；44、工作台；45、磨液箱；46、进液机构；47、打磨机构；4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度数控多晶硅双端面磨床，包括底板（1）与输送带（6），其特征在于：所述底板（1）的顶部设置有两块固定板（3），所述固定板（3）之间转动连接有第一转辊（4），所述固定板（3）之间且位于第一转辊（4）的一端转动连接有第二转辊（5），所述第一转辊（4）与第二转辊（5）通过输送带（6）传动连接，所述输送带（6）的工作面设置有若干个传动箱（7），所述传动箱（7）的远离输送带（6）的一端均设置有收集箱（8），所述收集箱（8）内腔设置有限位板（9），所述限位板（9）的顶部且位于收集箱（8）的外侧设置有安装板（10），所述安装板（10）的顶部均设置有两块立板（11），所述立板（11）的一侧均转动连接有电动伸缩杆（12），所述电动伸缩杆（12）的伸缩端均设置有夹板（13），所述立板（11）的另一侧均设置有连接箱（14），所述立板（11）的另一侧且位于连接箱（14）内部均转动连接有连接杆（51），所述连接杆（51）的一端均与电动伸缩杆（12）的一端相连接，所述连接杆（51）位于连接箱（14）内部的一端均套设有第一锥齿轮（15），所述连接箱（14）内腔的另一侧均转动连接有传动杆（16），所述传动杆（16）的外侧均套设有第二锥齿轮（17），所述第二锥齿轮（17）均与第一锥齿轮（15）啮合连接，所述传动杆（16）的一端均延伸至连接箱（14）的外侧并设置有第三传动齿轮（50），所述安装板（10）的一端且位于两块立板（11）之间均设置有升降箱（18），所述升降箱（18）内腔的顶部均转动连接有往复丝杆（19），所述往复丝杆（19）的底端均延伸至安装板（10）内部，所述往复丝杆（19）的外侧均螺纹连接有推块（20），所述推块（20）的一端均设置有顶柱（21），所述顶柱（21）的一端均延伸至升降箱（18）的外侧，所述安装板（10）内腔的一侧均转动连接有传动轴（22），所述传动轴（22）的外侧均套设有第四锥齿轮（24），所述往复丝杆（19）的底端均设置有第三锥齿轮（23），所述第三锥齿轮（23）均与第四锥齿轮（24）啮合连接，所述传动轴（22）的一端均延伸至安装板（10）的外侧并套设有第一传动齿轮（25）。2.根据权利要求1所述的一种高精度数控多晶硅双端面磨床，其特征在于：一块所述固定板（3）的顶部设置有齿条板（38），所述齿条板（38）一侧的上方设置有第一齿条（39），所述齿条板（3...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈怡，
申请(专利权)人：陈怡，
类型：发明
国别省市：