半导体的结构制造技术

技术编号:3178743 阅读:159 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种半导体的结构,包括:半导体基底;栅极迭层,在该半导体基底上;应力源,其至少一部分在该半导体基底中且邻接该栅极迭层,其中该应力源包括第一导电型的掺杂质;以及一部分的该半导体基底,邻接该应力源,且该部分的该半导体基底与该栅极迭层分别位于该应力源的两侧,其中该部分的该半导体基底被掺杂该第一导电型的掺杂质。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种半导体的结构,包括:半导体基底;栅极迭层,在该半导体基底上;应力源,其至少一部分在该半导体基底中且邻接该栅极迭层,其中该应力源包括第一导电型的掺杂质;以及部分的该半导体基底,邻接该应力源,且该部分的该半导体基底与该栅极迭层分别位于该应力源的两侧,其中该部分的该半导体基底被掺杂该第一导电型的掺杂质。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:莊学理郑光茗孙元成
申请(专利权)人:台湾积体电路制造股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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