激光加工装置制造方法及图纸

提供一种在显示面板形成贯通孔时即使利用倾斜的激光束对显示面板进行加工也可以实现均匀的激光束聚焦(focus)于显示面板的斑点的大小的激光加工装置。一实施例中，激光加工装置包括：激光束产生部，生成并输出激光束；光束扫描器，调整所述激光束的输出方向；扫描透镜部，将从所述光束扫描器输出的激光束聚焦至预定位置；以及倾斜提供部，配置在所述光束扫描器与所述扫描透镜部之间，使得所述扫描透镜部的垂直光轴相对于所述光束扫描器的垂直光轴倾斜第一角度。轴倾斜第一角度。轴倾斜第一角度。

【技术实现步骤摘要】
激光加工装置


[0001]本专利技术涉及激光装置以及包括其的激光加工装置。

技术介绍

[0002]随着信息化社会的发展，对于用来显示图像的显示装置的要求正在以各种形态增加。例如，显示装置被适用于如智能电话、数码相机、笔记本电脑、导航仪以及智能电视机这样的各种电子设备中。显示装置可以包括如液晶显示装置(Liquid Crystal Display Device)、场发射显示装置(Field Emission Display Device)、发光显示装置(Light Emitting Display Device)等显示装置。
[0003]随着显示装置被适用于各种电子设备，正在要求具有各种功能以及设计的显示装置。例如，发布了如下的显示装置，即，为了扩展显示区域，在显示面板的显示区域配置贯通孔，且在贯通孔配置如相机传感器、红外线传感器这样的光学传感器。
[0004]显示面板的贯通孔可以利用输出激光束的激光加工装置来形成。激光加工装置的激光束在形成显示面板的贯通孔时可能会受到由显示面板产生的杂质的影响。

技术实现思路

[0005]本专利技术要解决的课题是提供一种激光装置，其在显示面板形成贯通孔时即便利用倾斜的激光束加工显示面板也可以实现将激光束聚焦(focus)于显示面板的斑点大小的均匀。
[0006]本专利技术要解决的其他课题是提供一种激光加工装置，其在显示面板形成贯通孔时即便利用倾斜的激光束加工显示面板也可以实现将激光束聚焦(focus)于显示面板的斑点大小的均匀。
[0007]本专利技术的课题并不限于以上所提及的课题，通过以下的记载，本领域技术人员应当可以理解未提及的其他技术课题。
[0008]在用于解决所述的课题的一实施例中，激光装置包括：激光束产生部，生成并输出激光束；光束扫描器，调整所述激光束的输出方向；扫描透镜部，将从所述光束扫描器输出的激光束聚焦至预定位置；以及倾斜提供部，配置在所述光束扫描器与所述扫描透镜部之间，使得所述扫描透镜部的垂直光轴相对于所述光束扫描器的垂直光轴倾斜第一角度。
[0009]用于解决所述的课题的其他实施例涉及的激光加工装置具备：腔体，包括使激光束透过的光透过部；工作台，配置在所述腔体的内部且在其上配置被加工体；以及激光装置，通过所述光透过部向所述被加工体照射所述激光束。所述激光装置包括：激光束产生部，生成并输出激光束；光束扫描器，调整所述激光束的输出方向；扫描透镜部，将从所述光束扫描器输出的激光束聚焦至预定位置；以及倾斜提供部，配置在所述光束扫描器与所述扫描透镜部之间，使得所述光束扫描器的垂直光轴相对于所述扫描透镜部的垂直光轴倾斜第一角度。
[0010]其他实施例的具体事项包括于详细的说明及附图中。
[0011](专利技术效果)
[0012]根据各实施例涉及的激光装置以及包括其的激光加工装置，通过在光束扫描器与扫描透镜部之间配置倾斜提供部，从而光束扫描器的垂直光轴可以相对于被加工体的垂直线倾斜第一角度，但是扫描透镜部相对于被加工体的垂直线不会倾斜第一角度。由此，通过扫描透镜部的各透镜形成的焦点面实质上可以与被加工体相同。因此，被加工体的第一位置和第二位置都与焦点面一致，因而激光束可以在第一位置和第二位置处被聚焦。由此，在第一位置与第二位置可以使激光束的斑点的大小均匀，因此在第一位置和第二位置可以利用激光装置的激光束来对被加工体进行微细加工。即，即使在激光装置向被加工体以预定的入射角度倾斜地提供激光束的情况下，也可以对被加工体进行微细加工。
[0013]各实施例涉及的效果并不限于以上例示的内容，在本说明书内包括更多的效果。
附图说明
[0014]图1是表示一实施例涉及的激光加工装置的一例示图。
[0015]图2是表示又一实施例涉及的激光加工装置的一例示图。
[0016]图3是表示根据入射至一实施例涉及的被加工体的激光束的入射角度的颗粒的密度的图表。
[0017]图4是表示一实施例涉及的激光装置和被加工体的一例示图。
[0018]图5是详细表示图4的光束扫描器的一例示图。
[0019]图6是在图4的被加工体的第一位置和第二位置表示激光斑点的大小的一例示图。
[0020]图7是表示又一实施例涉及的激光装置和被加工体的一例示图。
[0021]图8是详细表示图6的扫描透镜部的一例示图。
[0022]图9是在图6的显示面板的第一位置和第二位置表示激光斑点的大小的一例示图。
[0023]图10是在被加工体为显示面板的情况下表示用于形成贯通孔的激光斑点的位置的一例示图。
[0024]图11是表示包括一实施例涉及的显示面板的显示装置的分解立体图。
[0025](符号说明)
[0026]1000：激光加工装置；1100：激光装置；1110：激光束产生部；1120：光束扫描器；1121a：第一反射镜；1121b：第二反射镜；1130：扫描透镜部；1131：第一凸透镜；1132：凹透镜；1133：第二凸透镜；1134：第三凸透镜；1140：倾斜提供部；1141：第一面；1142：第二面；1143：第三面；1200：腔体；1210：光透过部；1220：工作台；1230：保护窗部；OB：被加工体。
具体实施方式
[0027]参照与附图一起详细后述的各实施例，本专利技术的优点、特征以及达成这些优点和特征的方法会变得明确。但是，本专利技术并不限于以下公开的各实施例，可以以互相不同的形式实现，各实施例仅仅使本专利技术的公开变得完整，并且是为了向本领域技术人员完整地告知专利技术的范畴而提供的，应仅由权利要求书的范围定义本专利技术。
[0028]元件(elements)或者层位于其他元件或者层上(on)的情况不仅包括直接位于其他元件上的情况，还包括其间存在其他层或其他元件的情况。在整个说明书中，同一符号指代同一构成要素。在用于说明各实施例的附图中公开的形状、大小、比率、角度、个数等是例
示，本专利技术并不限于图示的情况。
[0029]虽然为了叙述各构成要素而使用第一、第二等，但是各构成要素当然不限于这些用语。这些用语仅用作使一个构成要素区别于其他构成要素的目的。因此，在本专利技术的技术思想内，以下提及的第一构成要素当然可以是第二构成要素。
[0030]可以部分地或整体地彼此结合或组合本专利技术的各实施例的各个特征，在技术上各种连动以及驱动是可能的，并且各实施例相对于彼此可以独立地被实施也可以以关联关系一起被实施。
[0031]以下，参照附图说明具体的各实施例。
[0032]图1是表示一实施例涉及的激光加工装置的一例示图。
[0033]参照图1，一实施例涉及的激光加工装置1000是利用激光束LB来加工被加工体OB的装置。例如，激光加工装置1000可以是利用激光束LB在被加工体OB形成贯通孔、或对被加工体OB进行热处理、或切断被加工体OB、或在被加工体OB形成槽、或在被加工体OB形成预定的结构物等对被加工体OB进行加工的装置。
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光加工装置，包括：腔体，包括使激光束透过的光透过部；工作台，配置在所述腔体的内部且在其上配置被加工体；以及激光装置，通过所述光透过部向所述被加工体照射所述激光束，所述激光装置包括：激光束产生部，生成并输出所述激光束；光束扫描器，调整所述激光束的输出方向；扫描透镜部，将从所述光束扫描器输出的激光束聚焦至所述被加工体的预定位置；以及倾斜提供部，配置在所述光束扫描器与所述扫描透镜部之间，使得所述光束扫描器的垂直光轴与所述扫描透镜部的垂直光轴倾斜第一角度。2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，由所述激光束进行加工的所述被加工体的加工区域与所述光透过部在所述被加工体的厚度方向上彼此不重叠。3.根据权利要求2所述的激光加工装置，还具备：保护窗部，配置在所述被加工体与所述光透过部之间，且使所述激光束透过，所述保护窗部在所述被加工体的厚度方向上与所述被加工体的加工区域及所述光透过部重叠。4.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，在向所述被加工体输出所述激光装置的所述激光束的期间，所述腔体的内部具有真空状态，所述激光束向所...

【专利技术属性】
技术研发人员：沃罗诺夫，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：