基板传输装置制造方法及图纸

技术编号:3178590 阅读:150 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术为一种基板传输装置,包括一腔体、一设置在腔体外部的旋转轮、一设置在旋转轮上的第一磁铁、一设置在腔体内部的承载板、以及一设置在承载板上的第二磁铁。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基板传输装置,包括:    一腔体;    一旋转轮,该旋转轮设置在该腔体的外部;    一第一磁铁,该第一磁铁设置在该旋转轮上;    一承载板,该承载板设置在该腔体的内部;    一第二磁铁,该第二磁铁设置在该承载板上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:钟允升董福庆黄信纮
申请(专利权)人:财团法人工业技术研究院
类型:发明
国别省市:71[]

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