一种高纯乙硅烷的分析装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种高纯乙硅烷的分析装置。所述分析装置包括：进样系统；第一分离系统，其与进样系统通过管路连通，并且用于分离出第一类杂质和第二类杂质；第二分离系统，其与进样系统通过管路连通，并且用于分离出第三类杂质；第一分析系统，其与第一分离系统通过管路连通，并且用于检测第一类杂质和第二类中的各组分的含量；和第二分析系统，其与第二分离系统通过管路连通，并且用于检测第三类杂质中的各组分的含量。使用本实用新型专利技术所述的分析装置，可以一次进样即可实现乙硅烷中杂质的全分析，具有检测限低、分离效果好、分析速度快的优点。优点。优点。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯乙硅烷的分析装置


[0001]本技术属于气体分析领域，具体而言，涉及一种用于分析高纯乙硅烷中的杂质的分析装置。

技术介绍

[0002]乙硅烷作为电子行业的重要基础原材料，电子器件的成品率、质量的优劣很大程度上取决于其纯度，气体纯度一般要求为4.8N以上，这时要求对电子气中杂质分析的灵敏度将是ppb级。
[0003]高灵敏度分析仪器和分析方法是检测杂质的重要手段，在国内的文献尚未有公开有关于乙硅烷完整分析方法的报道，现有国家标准中有关乙硅烷的分析更是空白。
[0004]随着电子工业的发展，对乙硅烷的需求量越来越高。因此，亟需能够快且全面地分析乙硅烷中的杂质的系统。

技术实现思路

[0005]针对现有技术中存在的上述问题，本技术提供一种高纯乙硅烷的分析装置。
[0006]根据本技术，提供了一种高纯乙硅烷的分析装置，其包括：
[0007]进样系统；
[0008]第一分离系统，其与进样系统通过管路连通，并且用于分离出包含选自二氧化碳、甲硅烷、乙烷、丙烷和硅醚中的一种或多种的第一类杂质和包含选自本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯乙硅烷的分析装置，其特征在于，所述分析装置包括：进样系统；第一分离系统，其与进样系统通过管路连通，并且用于分离出包含选自二氧化碳、甲硅烷、乙烷、丙烷和硅醚中的一种或多种的第一类杂质和包含选自异丁烷、乙基硅烷和丙硅烷中的一种或多种的第二类杂质；第二分离系统，其与进样系统通过管路连通，并且用于分离出包含选自氢气、氧气、氩气、氮气、甲烷和一氧化碳中的一种或多种的第三类杂质；第一分析系统，其与第一分离系统通过管路连通，并且用于检测第一类杂质和第二类中的各组分的含量；和第二分析系统，其与第二分离系统通过管路连通，并且用于检测第三类杂质中的各组分的含量。2.根据权利要求1所述的高纯乙硅烷的分析装置，其特征在于，所述进样系统包括：进样口；与进料口通过管路连通的阀门；与阀门通过管路连通的第一定量管和第二定量管，其中，第一定量管和第二定量管的一端通过管路分别与阀门连通，另一端通过管路分别与第一分离系统和第二分离系统连通。3.根据权利要求1或2所述的高纯乙硅烷的分析装置，其特征在于，所述第一分离系统包括：通过管路经由阀门串联连接的至少第一分离柱和第二分离柱，阀门为具有用于放空和引入载气的多个接口的多通阀门，其中，通过第一分离柱的预分离，根据流出的先后顺序依次为第三类杂质、第一类杂质、乙硅烷、第二类杂质；通过控制阀门，排出第三类杂质和大部分乙硅烷，并使第一类杂质、少量乙硅烷和第二类杂质进入第二分离柱。4.根据权利要求1或2所述的高纯乙硅烷的分析装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩雪，付乾坤，吕坤，
申请(专利权)人：烟台万华电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：