一种基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器制造技术

本实用新型专利技术公开一种基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器，包括光纤、石英套管、高纯石英压力敏感元；石英套管内设有通孔，所述通孔内插入所述光纤；石英压力敏感元与石英套管连接。本实用新型专利技术采用全石英材料，能够适用于除氢氟酸和150℃以上的热磷酸以外的耐腐蚀等恶劣环境，因生物组织对石英材料不排斥所以也适用于颅内压的监测等应用；石英压力敏感元与石英套管端面的固定通过激光热熔方式免胶固定，能够提高稳定、可靠性和适用范围；石英压力敏感元的厚度由光学冷加工工艺控制，无需化学腐蚀等工艺，提高光纤传感头的稳定性、可靠性和寿命。寿命。寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器


[0001]本技术涉及光纤技术、法布里
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珀罗干涉和高纯石英材料激光热熔的交叉领域，特别是涉及一种基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器。

技术介绍

[0002]光纤传感器具有电绝缘、抗电磁干扰、灵敏度高、耐高温耐腐蚀、传感器端无源因而本质安全，无需信号转换和放大器即可远距离传输，以及体积小、重量轻，因而在通信、土木工程、石油化工、航空航天等领域都有广泛的应用前景，法布里
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珀罗光纤干涉中低压传感器因为压力敏感元可以感知非常微小的压力，因而在中低压应用场合具有巨大潜力。近年来，随着这种光纤低压传感器的深入研究和应用，寻找制作简单、快捷、安全可靠、稳定性好以及满足各种恶劣环境下使用的光纤低压传感器成为人们的一个关注点。
[0003]法布里
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珀罗光纤干涉中低压传感器，利用粘结剂或者某种化学材料自身的粘性是构筑和固定传感器压力敏感元的常用方法，在毛细管的锥形口端面固定硅片或者某种化学材料的压力敏感元等等，但是存在以下缺点：(1)采用环氧树脂等粘结剂固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器，其特征在于：包括光纤、石英套管、高纯石英压力敏感元；所述石英套管内设有通孔，所述通孔内插入所述光纤；所述石英压力敏感元的厚度为15微米
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150微米，与所述石英套管连接。2.根据权利要求1所述的基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器，其特征在于：所述石英套管内...

【专利技术属性】
技术研发人员：王文华，吴伟娜，师文庆，熊正烨，付东洋，田秀云，谢玉萍，罗元政，赖学辉，费贤翔，
申请(专利权)人：广东海洋大学，
类型：新型
国别省市：