锆合金产品上溅射耐锈蚀薄膜保护层的离子等离子体方法技术

一种使用离子等离子体方法在锆合金产品上溅射耐锈蚀薄膜保护层，该方法包括将产品放置到行星立式机械里，用水冷非平衡磁控管对产品进行加热，离子浸蚀处理和表面活化，用气离子发生器对产品表层进行补充活化，处理期间的加速电压5000V以内，产品被给偏电压，溅射保护层时同时使用剩余磁场强度0.03至0.1T的平衡磁控管和非平衡磁控管，同时溅射保护层的产品以竖直的方式放置行星立式机械中，溅射保护层时产品被加热到150℃～600℃，同时加热器位于产品全长。该方法在锆合金产品外层表层上获得均匀厚度耐锈蚀薄膜保护层，通过产品的全长均匀加热提高所制作的薄膜保护层质量，同时通过增加磁控管电击功率密度提高产能。增加磁控管电击功率密度提高产能。增加磁控管电击功率密度提高产能。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】锆合金产品上溅射耐锈蚀薄膜保护层的离子等离子体方法


[0001]本专利技术所属的领域是用离子等离子体磁控溅射方式成形不同的保护层，该方式下将汽相材料通过电击以原子形式或离子形式沉淀在底层层面上。该专利技术可以使用在电器、电子技术、原子能、光学等工业里。

技术介绍

[0002]离子等离子体磁控溅射方法是制造薄膜保护层最有效的方法之一。这个方法允许在成本较低的条件下获得与底层联结力较强的并与其在分子层面发生联结的各种保护层。目前这个技术在科学和工业研究当中获得了广发使用，便于创造新一代耐锈蚀耐用产品。
[0003]目前已知的是用封闭式磁场通过离子等离子体方式制造多组分保护层的方法以及由Teer Coatings LTD公司创造的进行相关实现装置(Patent US No.5556519，1996年发布)。这个方法基于外磁极和内磁极形式的磁控管，其磁极方向相反，其中至少一个磁控管是非平衡性的，隔壁磁控管安装方式尽量保持相反极性，同时底层所放置的沉淀区主要由相邻磁控管外磁极产生的磁场的封闭式磁力线围绕，同时底层电位有所偏移，底层即为吸引正电荷离本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种在锆合金产品上溅射耐锈蚀保护层的方法，包括将产品放置行星立式机械中，将产品加热，用水冷非平衡磁控管对产品进行离子浸蚀处理和表面活化处理，在加速电压在5000V内以及向产品给偏电压条件下用气离子发生器对于表面进行补充活化，采用剩余磁场强度0.03至0.1T通过使用非平衡磁控管和平衡磁控管同时用于溅射保护层，该方法的特征在于，被溅射保护层的产品以竖直方式放置在行星立式机械中并在溅射过程当中受到加热到150
°
С～600
°
С，同时加热器布置在产品的整个长度上。2....

【专利技术属性】
技术研发人员：弗拉迪斯拉夫，
申请(专利权)人：TVEL股份公司，
类型：发明
国别省市：