放射线检测器制造技术

本发明专利技术涉及一种能够在抑制共通电极的高电阻化的同时防止共通电极的剥落的放射线检测器。放射线检测器具有信号读出基板。信号读出基板由具有像素电极的像素单元在基板的前面上排列成二维矩阵状而构成。在信号读出基板的前面上，形成有具有结晶性的光导电层。在光导电层的前面上，形成有具有导电性的接触辅助层。在该接触辅助层的前面上，形成有共通电极。接触辅助层的前面的单位区域的表面积小于光导电层的前面的单位区域的表面积。此外，接触辅助层被形成为，从前方看包含共通电极且被光导电层的前面包含。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于检测X射线、Y射线等放射线的放射线检测器。
技术介绍
以往，检测放射线的方法有间接变换方式和直接变换方式。在间 接变换方式中，先将放射线暂时变换为光，再将光变换为电信号，而 在直接变化方式中，将放射线直接变换为电信号。所以，与有可能因 光散射而导致解析度降低的间接变换方式相比，直接变换方式具有解 析度高的特点。因此，近年来基于直接变换方式的放射线检测器备受作为基于直接变换方式的放射线检测器，巳知有一种包括信号 读出基板，具有基板、以及在该基板的前面(放射线入射侧的面)上 一维或二维地排列的多个像素电极；光导电层，在信号读出基板的前 面上形成；以及共通电极，在光导电层的前面上形成(例如，参照日 本国特开2003-209238号公报)。
技术实现思路
然而，如图10所示，在如上所述的放射线检测器中，如果光导电 层47具有结晶性，则在光导电层47的前面47a上就存在着凹凸，因 而，在前面47a的凸部分上容易形成共通电极48，而在凹部分难以形 成共通电极48。所以，共通电极48不连续地形成，存在着共通电极 48高电阻化的可能性。在此，为了抑制共通电极48的高电阻化，考虑 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于检测放射线的放射线检测器，其特征在于，　　　　包括：　　　　信号读出基板，具有基板、以及在该基板的一个主面侧上一维或二维地排列的多个像素电极；　　　　结晶性光导电层，形成在所述信号读出基板的一个主面侧；　　　　导电性中间层，形成在所述结晶性光导电层的一个主面侧；　　　　共通电极，形成在所述导电性中间层的一个主面侧，　　　　其中，　　　　所述导电性中间层的一个主面的单位区域的表面积小于所述结晶性光导电层的一个主面的单位区域的表面积，　　　　所述导电性中间层被形成为，从一侧看时包含所述共通电极且被所述结晶性光导电层的一个主面包含。

【技术特征摘要】
JP 2006-12-18 2006-3403181.一种用于检测放射线的放射线检测器，其特征在于，包括信号读出基板，具有基板、以及在该基板的一个主面侧上一维或二维地排列的多个像素电极；结晶性光导电层，形成在所述信号读出基板的一个主面侧；导电性中间层，形成在所述结晶性光导电层的一个主面侧；共通电极，形成在所述导电性中间层的一个主面侧，其中，所述导电性中间层的一个主面的单位区域的表面积小于所述结晶性光导电层的一个主面的单位区域的...

【专利技术属性】
技术研发人员：木下治久，金原正典，中田道笃，榑林章仁，铃木英之，河合敏昭，
申请(专利权)人：国立大学法人静冈大学，浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]