物品供给装置制造方法及图纸

本发明专利技术为一种将物品从收容多个物品的容器中取出而向处理装置供给的装置。桥式吊车（２２）在与容器暂存区（１６）之间传递容器（１８），并通过带有移载装置（２８）的台车（２６），在容器暂存区（１６）与装载口（１４、１５）之间交接容器（１８）。从装载口（１４、１５），通过分类器（４、６）将晶圆从容器（１８）取出放入，并由暂存区（８、９）保管等待处理或处理结束的晶圆。使处理装置不空闲，且适当变更晶圆的处理顺序或向容器的组合。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种将半导体晶圆等物品向处理装置供给的装置。技术背景申请人提出了一种将液晶基板或等离子显示器基板等收容在托盘中并向处理装置供给的装置(专利文献1:日本特开2004-168483)。 在该装置中，通过传送带输送托盘，在处理装置前存储并将基板从托 盘取出而向处理装置供给。但是，在将半导体晶圆等供给到处理装置时，多个晶圆被收容在 l个容器中而被输送。此处，当没有时机良好地将晶圆供给到处理装 置时，处理装置的效率降低。尤其是在容器的收容个数与由处理装置 一起处理的个数不同的情况下，还需要向处理装置供给需要个数的晶 圆。并且，为了应付容器到达的顺序和由处理装置处理晶圆的优先度 不同的情况，需要将向处理装置供给晶圆的顺序根据容器的到达顺序 变更的结构。并且，需要将容器内的晶圆的组合与下一处理装置配合 而进行变更，因此，在将处理结束的晶圆向容器供给时，需要变更晶 圆的组合的结构。因此，专利技术人为了解决上述的问题而进行了本专利技术。专利文献l:日本特开2004-16848
技术实现思路
本专利技术的课题为，即使在由处理装置一起处理的物品的数量比收 容在容器中的物品的数量多的情况下，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物品供给装置，将物品从收容多个物品的容器中取出而向处理装置供给，其特征为，具有：　　　　　容器保管架，用于保管上述容器；　　　　物品保管架，用于保管从上述容器中取出的物品；　　　　移载单元，用于从上述容器取出放入上述物品，而将上述物品在上述容器与上述物品保管架之间进行输送；　　　　输送单元，用于在上述移载单元和上述容器保管架之间输送上述容器；以及　　　　供给单元，用于从上述物品保管架取出需要的上述物品并向上述处理装置供给，并且将来自上述处理装置的上述物品向上述物品保管架供给。

【技术特征摘要】
JP 2007-1-12 004462/20071、一种物品供给装置，将物品从收容多个物品的容器中取出而向处理装置供给，其特征为，具有容器保管架，用于保管上述容器；物品保管架，用于保管从上述容器中取出的物品；移载单元，用于从上述容器取出放入上述物品，而将上述物品在上述容器与上述物品保管架之间进行输送；输送单元，用于在上述移载单元和上述容器保管...

【专利技术属性】
技术研发人员：山本真，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]