感光性树脂组合物及感光性组件制造技术

本发明专利技术为提供一种感光性树脂组合物，其含有（ａ）酚醛清漆型酚树脂的酚式羟基与多元酸酐反应所得的化合物与（ｂ）１，２－重氮醌化合物。上述感光性树脂组合物是在酚醛清漆型酚树脂所有的酚式羟基与多元酸酐反应的形成的（ａ）成分上，再含有１，２－重氮醌化合物所形成的（ｂ）成分，从而可得到极优良的光感度、图像对比度、分辨率及密着性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术为有关感光性树脂组合物及感光性组件
技术介绍
半导体集成电路、液晶显示元件、印刷电路板等形成图案所使用的图像形成方法中，已知多为利用酚醛清漆型酚树脂与1,2-重氮醌化合物组合所得的正 型光阻的方法。该正型光阻为，未曝光部份为碱不溶性，曝光部份为碱可溶性，在碱显影 时，曝光部份的光阻被去除。此时，上述未曝光部份中的1,2-重氮醌化合物会 引起与酚醛清漆型酚树脂的相互作用，而形成具有溶解阻碍剂的作用，进而形 成石威不溶性。又，曝光部份中，1，2-重氮醌化合物因紫外线的照射而分解，即引起所谓 Wolff移转而形成茚烯酮(,yf、y亇亍y)。又，此茚烯酮与水反应而形成茚 羧酸。此茚羧酸因为酸性，而残留的酚醛清漆型酚树脂亦具有酚式羟基，故为 弱酸性。因此，上述曝光部份对氢氧化四曱基铵的强碱水溶液为可溶。但是，使用氢氧化四曱基铵等强碱水溶液进行显影时，常会使未曝光部份 易产生剥离的情形。如此，上述正型光阻则不能具有充分的分辨率。又，使用 强碱水溶液时，在安全性或废液处理等环境面上也存在问题。因此，即使使用弱碱水溶液，也要求可充分显影的感光性树脂组合物。相对于前述要求，则需寻求对感光性树脂组合物的特性进行改善。例如， 已有提案一种含有在酚醛清漆型环氧化合物与不饱和一元酸所得的反应生成 物上附加酸酐而得到的化合物的感光性树脂组合物(例如，参考专利文献1~ 5)。又，例如另有揭示一种含有具羧基的感光性树脂的热硬化性、光硬化性组 合物(例如，参考专利文献6),其中的具羧基的感光性树脂是通过酚醛清漆 型酚树脂与环氧化物的反应生成物与不饱和一元酸反应，使所得的反应生成物 再与酸酐反应而得到的。又，亦有提出一种使用醇式羟基的酚醛清漆型酚树脂的醇式羟基与酸酐反应所得的酚醛清漆型酚树脂的正型感光性树脂组合物(例 如，参考专利文献7)。专利文献1:特开昭61 - 243869号7>报 专利文献2:特开平3 - 253093号公报 专利文献3:特开平6- 192387号公报 专利文献4:特开平7-41716号公报 专利文献5:特开平9 — 136942号公报 专利文献6:国际公开第02/024774号小册子 专利文献7:特开2001 - 114853号公报
技术实现思路
本专利技术者们，由上述专利文献1 7所记载的感光性树脂组合物开始，对 以往的感光性树脂组合物进行详细的研究。其结果，本专利技术者发现前述以往的 感光性树脂组合物，几乎不能完全满足优良光感度、图像对比度、分辨.率及密 着性等全部特性。即，上述专利文献1~5所记载的感光性树脂组合物，因使用酚醛清漆型 环氧树脂，其与使用酚醛清漆型酚树脂的情形相比较时，在耐碱性、基板与光 阻的密着性等则有劣化的倾向。又，专利文献6所记载的感光性树脂组合物，虽使用酚醛清漆型酴树脂， 但并不使用l，2-重氮醌(quinonediazide)化合物。因此，该感光性树脂组合物并 不具有正型光阻的机能。又，专利文献6记载的酚醛清漆型酚树脂，并不具有 酚式羟基。其结果，将会使该感光性树脂组合物，例如即使含有重氮醌化合物 的情形下，造成该酚醛清漆型酚树脂与重氮醌化合物的相互作用并不充分，未 曝光部份则会有未能充分形成碱不溶性的倾向。因此，上述专利文献6记载的 感光性树脂组合物，会有无法得到良好图像对比度的倾向。专利文献7所记载的感光性树脂组合物，使用了酚醛清漆型酚树脂及1,2-重氮醌化合物。但是，该酚醛清漆型酚树脂的合成步骤更为繁杂，故会有不容 易提升产量的倾向。本专利技术就是鉴于上述以往技术产生的问题而提出的，以提供一种即使于弱 碱水溶液中亦可充分显影，具有极为优良光感度、图像对比度、分辨率及密着其中，式(A)中，R为羧酸酐残基。上述(b)成分，以具有羟基及/或胺基的有机化合物与具有磺基及/或 磺酰氯基的1，2-重氮醌化合物反应所得的化合物为佳。此情形中，感光性树脂 组合物具有提升光感度的优点。又，具有上述羟基及/或胺基的有机化合物，以下述式(l) ~ (3)中任 一所示的化合物为佳。此情形中，对于光照射前与光照射后的显影液，因可增 大感光性树脂组合物的溶解度差，感光性树脂组合物具有可使图像对比度更佳性的感光性树脂组合物及感光性组件为目的。为解决上述问题，本专利技术则提供一种含有(a)酚醛清漆型酚树脂的酚式 羟基与多元酸酐反应所得的化合物，与(b) 1，2-重氮醌化合物的感光性树脂组 合物。上述感光性树脂组合物，在酚醛清漆型酚树脂所有的酚式羟基与多元酸酐 反应所得的(a)成分中，进一步含有由1,2-重氮醌化合物所形成的(b)成分。 如此，可使上述感光性树脂组合物显出更为优良的光感度、图像对比度、分辨 率及密着性。又，上述感光性树脂组合物作为光阻膜使用时，在曝光部份中，因(a) 成分为酸性，故例如显影液为弱碱性时，亦可使上述曝光部份溶解于该显影液 中。因此，在碱显影时，使曝光部份溶解于弱碱水溶液，而可使光阻容易地由 基材剥离。又，未曝光部中，因1，2-重氮醌化合物与不会与(a)成分的多元 酸酐产生反应的酚式羟基会引起强烈的相互作用而可形成碱不溶性。因此，依本专利技术的内容，可提供一种即使于弱碱水溶液中亦可充分显影， 且具有极优良的光感度、图像对比度、分辨率及密着性的感光性树脂组合物。 上述(a)成份，优选分子内至少具有1个下述式(A)所示2价的基。此 时，即使于弱碱水溶液中，亦可充分进行显影。<formula>formula see original document page 7</formula>其中，式(1) ~ (3)中，R1、 R2、 R3、 R4、 R5、 R6、 R7、 R8、 R9、 R10、 R及R12，分别独立为氢原子、取代或未取代的碳原子数1~5的烷基，或取 代或未取代的碳原子数1 5的烷氧基，X为单键、氧原子或亚苯基。上述感光性树脂组合物中，(a)成分的酸价以30 ~ 150mgKOH / g为佳。 此时，上述感光性树脂组合物可得到优良的耐碱性与显影性的平衡性。上述感光性树脂组合物中，相对于(a)成分及(b)成分的总量为100质 量份，(a)成分的添加比例以50 ~ 95质量^f分，(b )成分的添加比例以5 ~ 50 质量份为佳。此时，感光性树脂组合物具有提升涂膜性的优点。又，本专利技术为提供一种，具备有支撑体与在该支撑体上所形成的请求项1 ~ 3中任一项记载的感光性树脂组合物所得的感光层的感光性组件。该感光性组件，因具备可达成上述效果的本专利技术感光性树脂组合物作为感 光层，故于弱碱性下亦显示出极佳的显影性。于此同时，此感旋光性组件亦为显示出极优良之光感度、图像对比、分辨率及密着性之物。其结果可使光阻图 型形成具有充分分辨率之图型。前述感旋光性组件，极适合用于制造具有才及优 良光感度、图像对比、分辨率及密着性之半导体集成电i 各、液晶显示组件及印 刷电路板等。本专利技术可提供一种即使于弱碱水溶液下亦可充分显影，且具有极优良的光 感度、图像对比度、分辨率及密着性的感光性树脂组合物及感光性组件。 附图说明图1为本专利技术的感光性组件中，较佳实施形态模式的截面图。 符号说明1:感光性组件 10:支撑体 14:感光层具体实施方式以下，必要时将参照附图，对本专利技术的较佳实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性组合物，其特征为，含有（ａ）由酚醛清漆型酚树脂的酚式羟基与多元酸酐反应所得的化合物，与（ｂ）１，２－重氮醌化合物。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2005-8-30 250086/20051.一种感光性组合物，其特征为，含有(a)由酚醛清漆型酚树脂的酚式羟基与多元酸酐反应所得的化合物，与(b)1，2-重氮醌化合物。2. 如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述(a)成分在分子 内至少具有1个下述式(A)所示的2价的基，[化l] <formula>formula see original document page 2</formula>式(A)中，R为羧酸酐残基。3. 如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(b)成分为 具有羟基及/或胺基的有机化合物与具有磺基及/或磺酰氯基的1，2-重氮醌 化合物反应所得的化合物。4. 如权利要求3所述的感光性树脂组合物，其中，所述具有羟基及/或胺 基的有机化合物为下述式(1) ~ (3)中任一所示的化合物，[化2] <formula>formula see original document ...

【专利技术属性】
技术研发人员：泽边贤，野尻刚，
申请(专利权)人：日立化成工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]