显示面板检查装置制造方法及图纸

显示面板检查装置包括：腔体；工作台，配置在腔体内，并且支承显示面板；以及多个探针，配置在腔体内，并且测量显示面板的电特性，多个探针分别包括：探针定位器，长度方向上的长度能够延伸；探针尖端，与显示面板接触；以及旋转部件，连接探针定位器和探针尖端，探针尖端能够通过旋转部件旋转。够通过旋转部件旋转。够通过旋转部件旋转。

【技术实现步骤摘要】
显示面板检查装置


[0001]本专利技术涉及显示面板检查装置，更详细而言涉及包括多个探针的显示面板检查装置。

技术介绍

[0002]显示面板被用于各种领域。例如，所述显示面板被用于智能电话、台式机、笔记本电脑、TV等各种设备。近几年，正在进行对所述显示面板中的柔性显示面板的研究。随着所述研究的进行，研发出了可以弯曲的可弯曲显示面板、可以卷曲的可卷曲显示面板等。
[0003]但是，随着所述显示面板的形态发生变形，所述显示面板的元件特性可能会发生变化。在所述显示面板受到张力或被弯曲的情况下，所述显示面板可能无法正常工作。对此，有必要检查在所述显示面板受到张力或被弯曲的情况下是否也正常工作。
[0004]这样的检查可以通过探针进行。但是，在现有技术中，探针只有在原位置(In
‑
Situ)的情况下才能确认所述显示面板的元件特性。因此，有必要开发出在所述显示面板受到张力或者被弯曲的情况下也可以检查所述显示面板的元件特性的探针。

技术实现思路

[0005]本专利技术的技术课题鉴于以上情况，本专利技术的目的在于提供一种包括多个探针的显示面板检查装置。
[0006]但是，本专利技术的课题并不限于如上所述的课题，在不超出本专利技术的思想以及领域的范围内可以进行各种扩展。
[0007]用于实现所述的本专利技术的目的的各实施例涉及的显示面板检查装置包括：腔体；工作台，配置在所述腔体内，并且支承显示面板；以及多个探针，配置在所述腔体内，并且测量所述显示面板的电特性。所述多个探针分别可以包括：探针定位器，长度方向上的长度能够延伸；探针尖端，与所述显示面板接触；以及旋转部件，连接所述探针定位器和所述探针尖端。所述探针尖端能够通过所述旋转部件旋转。
[0008]在各实施例中，可以是，所述多个探针配置在所述腔体的上部壁上。
[0009]在各实施例中，可以是，所述多个探针包括两个探针，所述两个探针测量所述显示面板的布线的电特性。
[0010]在各实施例中，可以是，所述多个探针包括三个探针，所述三个探针测量所述显示面板的晶体管的电特性。
[0011]在各实施例中，可以是，所述多个探针配置在所述腔体的侧壁。
[0012]在各实施例中，可以是，所述多个探针包括两个探针，所述两个探针测量所述显示面板的布线的电特性。
[0013]在各实施例中，可以是，所述多个探针包括三个探针，所述三个探针测量所述显示面板的晶体管的电特性。
[0014]在各实施例中，可以是，所述探针尖端具有一定的厚度，所述厚度在100nm以下。
[0015]在各实施例中，可以是，所述探针尖端包括：第一端部，与所述旋转部件接触；以及第二端部，与所述第一端部对置，所述探针尖端的厚度从所述第一端部朝向所述第二端部越变越薄，所述第二端部的厚度在100nm以下。
[0016]在各实施例中，可以是，所述探针尖端包括从含有钨、铂、金、钻石的组中选择的至少一种。
[0017]在各实施例中，可以是，还包括：光学显微镜，配置在所述腔体内。
[0018]在各实施例中，可以是，还包括：扫描电子显微镜，配置在所述腔体内。
[0019]在各实施例中，可以是，所述腔体被维持为真空状态。
[0020]在各实施例中，可以是，所述探针定位器包括：支承部件，配置在所述腔体上，并且在内部具有空的空间；以及延伸部件，配置在所述空的空间中，并且一端部在所述支承部件的外部露出，所述延伸部件能够在所述空的空间中沿着所述探针定位器的所述长度方向移动。
[0021]在各实施例中，可以是，所述显示面板是柔性显示面板。
[0022]在各实施例中，可以是，所述多个探针彼此独立地工作。
[0023](专利技术效果)
[0024]本专利技术的各实施例涉及的显示面板检查装置可以包括多个探针。所述多个探针分别可以包括长度方向上的长度可延伸的探针定位器以及具有纳米尺寸的探针尖端。所述探针尖端通过旋转部件与所述探针定位器连接并可以旋转。
[0025]由此，所述显示面板检查装置即使在所述显示面板的形态发生变形的情况(例如，被弯曲或扭曲的情况等)下也可以检查所述显示面板的元件特性。
[0026]但是，本专利技术的效果并不限于所述的效果，在不超出本专利技术的思想以及领域的范围内可以进行各种扩展。
附图说明
[0027]图1是表示本专利技术的一实施例涉及的显示面板的平面图。
[0028]图2是表示沿着图1的I
‑
I
’
线截取的一实施例的剖视图。
[0029]图3是表示本专利技术的一实施例涉及的显示面板检查装置的图。
[0030]图4是表示图3的显示面板检查装置的探针定位器延伸的一实施例的图。
[0031]图5是表示在图4的显示面板检查装置的工作台配置的检查对象的形态发生变形的一实施例的图。
[0032]图6是表示本专利技术的其他实施例涉及的显示面板检查装置的图。
[0033]图7是表示图6的显示面板检查装置的探针定位器延伸的一实施例的图。
[0034]图8是表示本专利技术的又一实施例涉及的显示面板检查装置的图。
[0035]图9是表示图8的显示面板检查装置的探针定位器延伸的一实施例的图。
[0036]图10是表示在图8的显示面板检查装置的工作台配置的检查对象的形态发生变形的一实施例的图。
[0037](符号说明)
[0038]300：腔体；310：工作台；320：检查对象；
[0039]330a、330b、330c：第一探针定位器至第三探针定位器；
[0040]333a、333b、333c：第一支承部件至第三支承部件；
[0041]335a、335b、335c：第一延伸部件至第三延伸部件；
[0042]340a、340b、340c：第一旋转部件至第三旋转部件；
[0043]350a、350b、350c：第一探针尖端至第三探针尖端；
[0044]360：显微镜；370：固定部件。
具体实施方式
[0045]以下，参照附图，更详细地说明本专利技术的各实施例。对于图上的相同的构成要素使用相同的符号，并省略对相同的构成要素的重复说明。
[0046]图1是表示本专利技术的一实施例涉及的显示面板的平面图。
[0047]参照图1，所述显示面板可以包括显示区域DA以及非显示区域NDA。所述非显示区域NDA可以包围所述显示区域DA。
[0048]在各实施例中，在所述显示区域DA可以配置像素PX。可以在整个所述显示区域DA配置所述像素PX。在各实施例中，所述像素PX可以以矩阵形态排列在所述显示区域DA中。但是，这是例示，排列所述像素PX的方式并不限于此。
[0049]在所述非显示区域NDA可以配置焊盘部110、栅极驱动部120、发光控制驱动部130等。图示了所述栅极驱动部120和所述发光控制驱动部130分别配置在所述显示区域DA的两侧的情本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示面板检查装置，其特征在于，包括：腔体；工作台，配置在所述腔体内，并且支承显示面板；以及多个探针，配置在所述腔体内，并且测量所述显示面板的电特性，所述多个探针分别包括：探针定位器，长度方向上的长度能够延伸；探针尖端，与所述显示面板接触；以及旋转部件，连接所述探针定位器和所述探针尖端，所述探针尖端能够通过所述旋转部件旋转。2.根据权利要求1所述的显示面板检查装置，其特征在于，所述多个探针配置在所述腔体的上部壁上。3.根据权利要求2所述的显示面板检查装置，其特征在于，所述多个探针包括两个探针，所述两个探针测量所述显示面板的布线的电特性。4.根据权利要求2所述的显示面板检查装置，其特征在于，所述多个探针包括三个探针，所述三个探针测量所述显示面板的晶体管的电特性。5.根据权利要求1所述的显示面板检查装置，其特征在于，所述多个探针配置在所述腔体的侧壁。6.根据权利要求5所述的显示面板检查装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔根赫，金基铉，朴英吉，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：