用于成像器的椭面无间隙微透镜制造技术

椭圆形微透镜将光聚焦在不平衡感光区域上，为无间隙微透镜布局增大区域覆盖范围，并允许成对或另外单独地偏移所述微透镜以考虑不对称像素和像素布局结构。所述微透镜可成组地制造，其中一组的定向不同于另一组的定向，且可用各种图案（例如，以棋盘形图案或放射状图案）来排列所述微透镜。至少一组所述微透镜可大体为椭圆形。为制造第一组微透镜，在载体上图案化第一组微透镜材料，在第一回流条件下将其回流，并固化。为制造第二组微透镜，在所述载体上图案化第二组微透镜材料，在可不同于所述第一回流条件的第二回流条件下将其回流，并固化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术大体上涉及使用微透镜的基于半导体的成像器装置的领域，且更具体来说涉 及微透镜阵列的制造。
技术介绍
半导体工业近来使用不同类型的基于半导体的成像器，例如电荷耦合装置(CCD)、 CMOS主动像素传感器(APS)、光电二极管阵列、电荷注入装置和其中使用微透镜阵列 的混合式焦平面阵列。还在研发使用微透镜的基于半导体的显示器。通过使用微透镜从较大集光区域收集光并将所收集的光聚焦在光传感器的较小感光 区域上极大地改善了成像装置的感光性。随着成像器阵列和像素感光区域的尺寸不断减 小，越加难以提供一种能够将入射光线聚焦在像素的感光区域上的微透镜。此问题部分 是由于越加难以为越来越小的成像装置构造具有最佳焦点特征的微透镜。在制造期间微 透镜成形对于最优化微透镜焦点是重要的。这接着为下方像素阵列增加量子效率。利用 球面形微透镜更利于将入射光聚焦在窄焦点上，其允许所需的光传感器尺寸的减小。然 而，球面微透镜存在不合需要的间隙问题(以下描述)。可经由减成工艺或加成工艺形成微透镜。在加成工艺中，透镜材料在衬底上形成并 随后形成为微透镜形状。在常规加成微透镜制造中，在衬底上沉积中间材料，并使用回本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微透镜阵列，其包含：多个第一微透镜；以及多个椭圆形第二微透镜，其中所述多个第一微透镜和所述多个第二微透镜彼此相邻排列。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2005-8-30 11/213,8161.一种微透镜阵列，其包含多个第一微透镜；以及多个椭圆形第二微透镜，其中所述多个第一微透镜和所述多个第二微透镜彼此相邻排列。2. 根据权利要求l所述的微透镜阵列，其中所述微透镜阵列是大体上无间隙的。3. 根据权利要求l所述的微透镜阵列，其中所述第二微透镜具有纵向轴，所述纵向轴 以一角度偏离所述微透镜阵列的垂直轴。4. 根据权利要求l所述的微透镜阵列，其中所述多个第一微透镜的每一者具有与所述 多个第二微透镜的每一者不同的形状。5. 根据权利要求1所述的微透镜阵列，其中所述多个第一微透镜的每一者具有椭圆形 形状。6. 根据权利要求5所述的微透镜阵列，其中所述多个第一微透镜的每一者具有纵向轴， 所述纵向轴以一相同角度偏离所述微透镜阵列的所述垂直轴，如同所述多个第二微 透镜的每一者的纵向轴。7. 根据权利要求5所述的微透镜阵列，其中所述多个第一微透镜的每一者具有纵向轴， 所述纵向轴以一不同角度偏离所述微透镜阵列的所述垂直轴，如同所述多个第二微 透镜的每一者的纵向轴。8. 根据权利要求l所述的微透镜阵列，其进一步包含多个第三微透镜。9. 根据权利要求8所述的微透镜阵列，其中所述第三微透镜为椭圆形。10. 根据权利要求8所述的微透镜阵列，其中所述第一微透镜、所述第二微透镜和所述第三微透镜是以放射状配置排列于中心点四周。11. 一种成像器，其包含形成于衬底中的像素阵列，所述像素阵列具有至少第一和第二感光区域的阵列； 以及在所述像素阵列上的第一组微透镜，所述第一组微透镜具有第一焦距和第二焦 距。12. 根据权利要求ll所述的成像器，其中所述第一组微透镜为椭圆形。13. 根据权利要求12所述的成像器，其中所述椭圆形微透镜具有纵向轴，所述纵向轴 以一角度偏离所述第一微透镜阵列的垂直轴。14. 根据权利要求11所述的成像器，其进一步包含第二组微透镜。15. 根据权利要求14所述的成像器，其中所述第二组微透镜大体上为正方形。16. 根据权利要求14所述的成像器，其中所述第二组微透镜的每一微透镜位于所述第 一组微透镜的两个微透镜之间。17. 根据权利要求ll所述的成像器，其中至少所述第一感光区域是不对称的。18. 根据权利要求14所述的成像器，其中所述微透镜阵列是以...

【专利技术属性】
技术研发人员：乌尔里希C伯蒂格，李劲，
申请(专利权)人：美光科技公司，
类型：发明
国别省市：US[]