本发明专利技术的目的在于提供可以充分应对静电的有源矩阵基板及其制造方法，电光装置及其制造方法、电子设备。其包括：基板（２０）；多个像素部；对多个像素部进行开关的薄膜晶体管；与有机薄膜晶体管（１０ａ）电连接的多根源线（３３ａ）和多根栅线（３４ａ）；以及将多根源线（３３ａ）和多根栅线（３４ａ）连接的导通布线（３６），在制造有源矩阵基板（１０）之后，使导通部（３６）的导电性消失。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及有源矩阵基板及其制造方法、电光装置及其制造方法、电 子设备。
技术介绍
目前，有机晶体管采用可降低成本的液层工艺，釆用以喷墨法为代表 的印刷法、或旋涂法，形成有机半导体层、栅绝缘层。这样的有机晶体管 的制造方法在比如，专利文献l中记载。专利文献l: JP特开2006—041180号文献但是，在形成有机薄膜晶体管的基板采用特别是具有柔性的塑料^L 的场合，具有因在制造步骤中产生的静电，有机薄膜晶体管元件产生静电 破坏，无法用作有机薄膜晶体管元件的问题。即，对于多用于柔性基板的塑料材料而言，优良的绝缘性相反容易带 有静电。由此，由于在元件上外加伴随该静电的高电压，产生静电破坏(绝 缘破坏)。另夕卜，在有机薄膜晶体管中，栅绝缘层的材料釆用聚合物，由 此，与无机物相比较，绝缘耐压低，这一点也构成其原因。
技术实现思路
本专利技术是针对上述已有技术的问题所在而提出的，本专利技术的目的在于 提供能充分应对静电的有源矩阵M及其制造方法，电光装置及其制造方 法、电子i殳备。为了解决上述问题，本专利技术的有源矩阵基板的制造方法涉及下述的有 源矩阵m的制造方法，该有源矩阵141包括M;多个4象素部；对多个像素部进行开关的薄膜晶体管；以及与薄膜晶体管电连接的多根源线和 多才|*线，该方法包括第1步骤，其中，与源线和栅线中的任意一方的 形成同时，通过有机导电性材料，形成使源线和栅线导通的导通部；和断 开上述导通部的导通的第2步骤。按照本专利技术的有源矩阵基板的制造方法，由于经由导通部，使源线和 栅线为等电位，故在它们之间不产生电场，可防止在源线和栅线之间由静 电造成的绝缘破坏。另外，在不产生由静电造成的影响的状态下，将源线 和栅线的导通断开，由此，可获得作为有源矩阵M的所需的功能。另外，具体的内容在后面说明，通过有机导电性材料形成导通部，由 此，除了通过以物理方式断开的方法之外，还可通过化学方式的方法，使 该导通部的导通状态断开。于是，可简单并且可靠地断开源线和栅线的导 通状态。此外，最好，在上述第l步骤中，通过印刷法，形成导通部。 按照这样的制造方法，通过借助印刷法形成导通部，可降低成本。 还有，最好，在上述第2步骤，通过有机溶剂，溶解而去除上述导通部 中的至少一部分。按照这样的制造方法，通过采用有机溶剂，溶解而去除导通部中的至 少一部分，不损伤基板等，可简单而容易地断开源线和栅线的导通。最好，本专利技术的有源矩阵基板的制造方法涉及下述的有源矩阵基板的 制造方法，该有源矩阵基板包括基板；多个像素部；对上述多个像素部 进行开关的薄膜晶体管；以及与上述薄膜晶体管电连接的多根源线和多根 栅线，该方法包括在具有导电部的基板上，形成绝缘层的第3步骤；在 上述绝缘层上形成上述源线和上述栅线的第4步骤；使上述源线和上述栅 线，经由接触部而与上述导电部导通的第5步骤；以及将上述源线和上述 栅线的导通断开的第6步骤。按照本专利技术的有源矩阵基板的制造方法，通过使源线和栅线，与基板 上的导通部导通，可使该源线和栅线为等电位。由此，由于在源线和栅线 之间不产生电场，可在源线和栅线之间防止由静电造成的绝缘破坏。另夕卜，在作为有源矩阵M的构成部件的M设置导电部，由此，可不在M上 引绕布线等地，容易将源线和栅线导通。另外，在不用担心静电对像素部的影响的状态，通过断开源线和栅线 的导通，可获得作为有源矩阵g的所需的功能。此外，可通过有机导电 性材料构成导通部，除了以物理方式断开的方法，还可以通过化学方式的 方法断开源线和栅线的导通状态，关于这一点的具体的内容在后面描述。 于是，可简单而可靠地断开源线和栅线的导通状态。本专利技术的有源矩阵基板的特征在于，其包括基板；多个像素部；对 多个像素部进行开关的薄膜晶体管；与薄膜晶体管电连接的多根源线和多 根栅线；以及将多根源线和多根栅线连接的连接部，连接部为已将具有导 电性的部分变为具有绝缘性的部分的部分。按照本专利技术的有源矩阵基板，由于具有使源线和栅线导通的连接部， 故可在使该源线和栅线为等电位的状态制造。即，由于在制造步骤中，在 源线和栅线之间不产生电场，故可防止在源线和栅线之间的由静电造成的 绝缘破坏。在形成状态，连接部变化为绝缘性，源线和栅线的导通断开。本专利技术的有源矩阵基板的特征在于，其包括基板；多个像素部；对 多个像素部进行开关的薄膜晶体管；与薄膜晶体管电连接的多根源线和多 根栅线；以及使多根源线和多根栅线导通的导通部，在上述导通部中，设 置有切断多根源线和多根栅线的导通的切断部。按照本专利技术的有源矩阵基板，由于具有使源线和栅线导通的导通部， 故可使这些源线和栅线为等电位。由此，由于在制造步骤中，源线和栅线 之间不产生电场，故可在源线和栅线之间防止由静电造成的绝缘破坏。另外，在本专利技术中，由于导通部具有切断源线和栅线的导通的切断部， 故它们实现电分离，可分别将图像信号、扫描信号供给源线和栅线。其结 果是，可获得作为有源矩阵基&的所需的功能。像这样，可获得可防止由 静电造成的绝缘破坏的、可靠性优良的有源矩阵基板。此外，最好，上述导通部由有机导电性材料形成。按照本专利技术的有源矩阵基板，由于导通部由有机导电性材料形成，故比如，可进行通过有机溶剂溶解导通部等的处理，容易形成切断部。可通 过这样的方法形成的切断部，能实现用于可靠切断源线和栅线的导通的功 能，能可靠确保有源矩阵基板上的源线和栅线的作用。本专利技术的有源矩阵基板的特征在于，其包括具有导电部的基板；形 成于a上的绝缘层；形成于绝缘层上的多个像素部；对像素部进行开关 的薄膜晶体管；形成于绝缘层上，与薄膜晶体管电连接的多根源线和多根 栅线；接触部，该接触部设置于绝缘层，用于经由导电部使多根源线和多 根栅线导通；以及切断部，该切断部切断多根源线和多根栅线的导通。按照本专利技术的有源矩阵基板，可通过经由具有导电部的基板和接触部 使源线和栅线导通，使这些源线和栅线为等电位。由此，由于在制造步骤 中，源线和栅线之间不产生电场，故可在源线和栅线之间防止由静电造成 的绝缘破坏。另外，由于为具有导电部的基板，不必在M上引绕用于使源线和栅 线导通的布线，故可简化构成。此外，在本专利技术中，由于具备切断源线和栅线的导通的切断部，故能 可靠切断源线和栅线的导通。于是，可分别将图像信号、扫描信号供向源 线和栅线，可获得作为有源矩阵基板的所需的功能。像这样，可获得能防 止由静电造成的绝缘破坏的、可靠性优良的有源矩阵基板。本专利技术的电光装置的制造方法的特征在于，该方法包括在通过上述 有源矩阵a的制造方法获得的有源矩阵基敗和对向M之间，夹持电光 材料的步骤。按照本专利技术的电光装置的制造方法，由于采用多根源线和多根栅线的 导通被预先断开的有源矩阵基板，故可在组装显示元件之后，省去断开多 根源线和多根栅线的导通的操作。即，具有在组装显示元件之后断开源线 和栅线的导通的作业困难的情况，但是，通过在基板状态断开源线和多根 栅线的导通，该作业容易，合格率提高。本专利技术的电光装置的制造方法涉及按照在有源矩阵基板和对向基板之 间夹持电光材料的方式构成的电光装置的制造方法，其特征在于，依次进4于/^/^/1^yT、仲WP-yrt、训^^工WY《叩 J TT《^Wh'V W、7^,T必和对向皿之间夹持有电光材料而成的显示元件本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种有源矩阵基板的制造方法，该有源矩阵基板包括：基板；多个像素部；对上述多个像素部进行开关的薄膜晶体管；以及与上述薄膜晶体管电连接的多根源线和多根栅线，该方法的特征在于，包括： 第１步骤，其中，在形成上述源线和上述栅线中的任意一方的同时，通过有机导电性材料，形成使上述源线和上述栅线导通的导通部；和 断开上述导通部的导通的第２步骤。
【技术特征摘要】
JP 2007-4-25 115391/20071.一种有源矩阵基板的制造方法，该有源矩阵基板包括基板；多个像素部；对上述多个像素部进行开关的薄膜晶体管；以及与上述薄膜晶体管电连接的多根源线和多根栅线，该方法的特征在于，包括第1步骤，其中，在形成上述源线和上述栅线中的任意一方的同时，通过有机导电性材料，形成使上述源线和上述栅线导通的导通部；和断开上述导通部的导通的第2步骤。2. 根据权利要求1所述的有源矩阵基板的制造方法，其特征在于，在上 述第1步骤中，通过印刷法形成上述导通部。3. 根据权利要求1或2所述的有源矩阵基板的制造方法，其特征在于， 在上述第2步骤中，通过有机溶剂溶解而去除上述导通部的至少一部分。4. 一种有源矩阵基板的制造方法，该有源矩阵基板包括基H;多个像 素部；对上述多个像素部进行开关的薄膜晶体管；以及与上述薄膜晶体管 电连接的多根源线和多根栅线，该方法的特征在于，包括在具有导电部的皿上，形成绝缘层的第3步骤； 在上述绝缘层上形成上述源线和上述栅线的第4步骤； 使上述源线和上述栅线，经由接触部与上述导电部导通的第5步骤；以及将上述源线和上述栅线的导通断开的第6步骤。5. —种有源矩阵基板，其特征在于，包括 基板；多个像素部；对上述多个像素部进行开关的薄膜晶体管； 与上述薄膜晶体管电连接的多根源线和多根栅线；以及 将上述多根源线和上述多根栅线连接的连接部； 上述连接部是已将具有导电性的部分变为具有绝缘性的部分的部分,6. —种有源矩阵基板，其特征在于，包括基板；多个《象素部；对上述多个像素部进行开关的薄膜晶体管； 与上述薄膜晶体管电连接的多根源线和多根栅线；以及 使上述多根源线和上述多根栅线导通的导通部； 在上述导通部中，设置有切断上述多根源线和上述多根栅线的导通的 切断部。7. 根据权利要求6所述的有源矩阵基板，其特征在于，上述导通部由有 机导电性材料形成...
【专利技术属性】
技术研发人员：守谷壮一，川濑健夫，宫本勉，中村洁，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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