薄膜图案层制造方法及紫外光源装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种薄膜图案层制造方法，其包括以下步骤：提供一基板，其表面具有多个分隔墙，该多个分隔墙间形成多个收容空间，该收容空间排列于基板上；提供一紫外光线，利用该紫外光线照射该多个分隔墙，该紫外光线的照射方向与该分隔墙顶部表面的夹角θ范围如下：０°＜θ＜９０°；填充墨水至该多个收容空间内；及固化墨水以形成薄膜图案层。该紫外光线与分隔墙的顶部表面的夹角使墨水与分隔墙顶部的润湿性能降低，从而减少相邻收容空间内墨水的混色。本发明专利技术还涉及一种提供所述紫外光线的紫外光源装置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种薄膜图案层制造方法及紫外光源装置。
技术介绍
目前制造薄膜图案层的方法主要包括光微影法及喷墨法。光微影法通过在预备涂敷所需薄膜的基板结构上，涂敷光阻材料，将 具有预定图案的光罩设于光阻材料上，进行曝光及显影，或加上蚀刻制程， 而形成具有预设图案的薄膜图案层。该光微影法需要复杂的制程，并且，材 料的使用效率较低而造成制造成本高。喷墨法此处以制备彩色滤光片为例说明，包括以下步骤如图l(a)所 示，提供一基板42与设置于基板42上的多个分隔墙44，该多个分隔墙44限定 多个收容空间46，提供一紫外光线48,该紫外光线48垂直于所述分隔墙44的 顶部表面照射；如图l(b)、 (c)所示，使用一喷墨装置50,由喷墨装置50上多 个喷墨孔52(此处以垂直于纸面的 一 列收容空间46用于形成同种颜色，该多个 喷墨孔52成一列设置，故图1中只看到其中的一个喷墨孔52)，将形成薄膜材 料的墨水54R、 54G、 54B喷入该多个收容空间46内(喷射不同颜色的墨水需 不同的喷墨孔，此处为便于说明，只画出其中一个)，墨水54R、 54G、 54B 被固化后于该基板42上形成预定的薄膜图案层，其中，墨水54R、 54G、 54B 分别为红、绿、蓝色墨水。由于提供的该基板42往往大于该多个喷墨孔52所 直接涵盖的面积，因此，喷墨装置50尚须提供该多个喷墨孔52与该基板42行 列相对运动，然后该喷墨法就能够一次形成薄膜图案层。由于制程大量简化， 材料使用经济，因此成本大幅降低。图l(a)中的紫外光线48可以使空气中的新增臭氧或原有的臭氧分离出活 性氧，使表面上附着的较不亲水性的污染物质分解去除，而使基板表面与墨 水54R、 54G、 54B之间的润湿性提升；另外，当基板42或分隔墙44为有机系 材料时，紫外光线48还可以破坏有机材料表面的不饱和键，而使亲水性的官能性加入，使其与墨水54R、 54G、 54B之间的润湿性更强。由于该紫外光线48垂直于所述分隔墙44的顶部表面照射，使得分隔墙44 的顶部表面与墨水54R、 54G、 54B润湿性能较强，而分隔墙44的侧面与墨水 54R、 54G、 54B的润湿性能相对较弱。当某一收容空间42内的墨水喷出量过 大而使液面高出分隔墙44的顶部时，比如54R、 54G的液面高出分隔墙44的顶 部，可能会因墨水54R、 54G与分隔墙44的润湿性过强而使墨水54R沿着分隔 墙44顶部向与墨水54R相邻的墨水54G方向流动与墨水54G发生混色，影响所 述薄膜图案层的质量。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种可提高薄膜图案层质量的薄膜图案层制造方 法及紫外光源装置。一种薄膜图案层制造方法，包括以下步骤提供一基板，其表面具有多 个分隔墙，该多个分隔墙间形成多个收容空间，该收容空间排列于基板上； 提供一紫外光线，利用该紫外光线照射该多个分隔墙，该紫外光线的照射方 向与该分隔墙的顶部表面的夹角e范围如下0°<0<90°;填充墨水至该多个收 容空间内；及固化墨水以形成薄膜图案层。一种紫外光源装置，用于提供上述紫外光线，所述紫外光源装置包括至 少一个紫外光源及至少一个反射板，所述至少一个反射板用于反射从所述至 少一个紫外光源发出的光线至所述分隔墙并使反射至分隔墙的光线与所述分 隔墙顶部表面的夹角为上述夹角0。所述的薄膜图案层制造方法中该紫外光线与分隔墙顶部表面呈锐角夹 角地照射，可以使墨水与分隔墙顶部的润湿性能降低，减少了当某一收容空 间内的墨水溢出至分隔墙顶部时向与该收容空间相邻的另 一 收容空间流动的 趋势，从而减少相邻收容空间内墨水的混色，提高薄膜图案层的质量。所述紫外光源装置发出的光线与所述分隔墙顶部表面的夹角为e，使墨水与分隔墙顶部的润湿性能降低从而减少相邻收容空间内墨水的混色，提高 薄膜图案层的质量。附图说明图l是现有技术的一种薄膜图案层制造方法的流程示意图。图2(a)至图2(f)是本专利技术第一实施例提供的一种薄膜图案层制造方法的 示意图。图3是根据图2所示的分隔墙的制造方法另一实施方式的截面示意图。 图4至图6是形成图2(d)所示的与分隔墙成一角度的紫外光线的紫外光源装置三种实施方式的截面示意图。图7是根据图2所示的薄膜图案层制造方法所制造的薄膜图案层的截面示意图。图8是本专利技术第二实施例提供的 一种基板结构的截面示意图。具体实施例方式下面将结合附图对本专利技术实施例作进一步的详细说明。请一并参阅图2(a)至图2(f),本专利技术第 一实施例提供一种薄膜图案层制造方法。所述薄膜图案层制造方法包括以下步骤(1) 如图2(a)所示，提供一基板12，利用干膜法(dry film lamination)、湿 式旋转法(wet spin coating)或湿式裂缝式涂布法(wet slit coating)在该基板102 表面涂布一正型光阻材料层103。(2) 如图2(b)所示，将具有预设分隔墙图案的光罩200设于该光阻材料层 103与一曝光机光源(图未示)间，并利用该曝光机光源发出的光线105曝光该 光阻材料层103。 一般地，所述光线105为紫外光线。(3) 如图2(c)所示，利用显影方式，将曝光处的正型光阻材料层去除，形 成设于基板102上表面的多个分隔墙104，该多个分隔墙104限定多个收容空间 107,该多个收容空间107通常成矩阵式排列。可以理解，该该多个收容空间 107还可以马赛克方式或不规则方式排列等，并不限于本实施例。(4) 如图2(d)所示，提供一紫外光源(图未示)，该紫外光源发出一紫外光 线109照射该多个分隔墙104,该紫外光线109的照射方向与分隔墙104的上表 面成一夹角0，该夹角的范围如下0。<0<90°，优选该夹角的范围如下 5。<0<80。。(5) 如图2(e)与(f)所示，利用一喷墨装置300将所需薄膜材料的墨水108 填充至收容空间107内以形成墨水层110,其中，该喷墨装置300包括至少一个喷墨头302与设置于该喷墨头302的至少喷墨孔304，墨水108通过该喷墨孔304 喷出；利用一固化装置(图未示)对该多个墨水层110加以固化，以形成薄膜图 案层。该固化装置可为一加热装置或一紫外线曝光装置或一抽真空装置或上 述装置的其中任意两种或三种的组合。本实施例的墨水层1 IO以间隔排列的红 色墨水层110R、绿色墨水层11 OG与蓝色墨水层11OB为例进行说明。该基板102的材料可以选自玻璃、石英玻璃、硅晶片(wafer)、金属和塑料， 本实施例中，该基板102是一玻璃基板。该喷墨装置300可以为热泡式喷墨装 置或压电式喷墨装置等。如图3(b)(c)所示，本专利技术还提供形成分隔墙的另一种实施方式，其步骤 与图2(b)、 (c)的所对应的步骤(即步骤(2)、 (3))基本相同，不同之处在于图3(b) 中的光罩201的图案的透光区与光罩200的遮光区相同，图3(b)中基板102表面 的光阻材料层203为负型光阻材料，图3(c)中形成的分隔墙206是显影并去除 光阻材料层203的未曝光部分所留下的。请参阅图4，本专利技术提供第二实施例的一种用以发出如图2(d)的与分隔墙 104夹角为0的紫外光线1O9的紫外光源装置6O。所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜图案层制造方法，包括以下步骤：　　　　提供一基板，其表面具有多个分隔墙，该多个分隔墙间形成多个收容空间，该收容空间排列于基板上；　　　　提供一紫外光线，利用该紫外光线照射该多个分隔墙，该紫外光线的照射方向与该分隔墙的顶部表面的夹角θ范围如下：０°＜θ＜９０°；　　　　填充墨水至该多个收容空间内；及　　　　固化墨水以形成薄膜图案层。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜图案层制造方法，包括以下步骤提供一基板，其表面具有多个分隔墙，该多个分隔墙间形成多个收容空间，该收容空间排列于基板上；提供一紫外光线，利用该紫外光线照射该多个分隔墙，该紫外光线的照射方向与该分隔墙的顶部表面的夹角θ范围如下0°＜θ＜90°；填充墨水至该多个收容空间内；及固化墨水以形成薄膜图案层。2. 如权利要求1所述的薄膜图案层制造方法，其特征在于，所述夹角e的 范围如下5。<e<80。。3. 如权利要求1所述的薄膜图案层制造方法，其特征在于，所述多个分隔 墙通过以下步骤形成在该基板上表面涂布一光阻材料层；将具有预定分隔墙图案的光罩设于该光阻材料层与一曝光机光源间，并 曝光该光阻材料层；利用显影方式将非分隔墙图案部分的光阻材料层去除，形成设于基板上 表面的多个分隔墙。4. 如权利要求1所述的薄膜图案层制造方法，其特征在于，所述多个分隔 墙通过以下步骤形成提供一射出成型机及一具有预定分隔墙图案的模具； 利用射出成型机将基板材料射出至该模具中； 脱模，得到该表面具有多个分隔墙的基板。5. 如权利要求1所述的薄膜图案层制造方法，其特征在于，所述基板材料 选自玻璃、石英玻璃、金属和塑料。6. 如权利要求1所述的薄膜图案层制造方法，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宇宁，
申请(专利权)人：ICF科技有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]