垂直搬运装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种垂直搬运装置，该垂直搬运装置中，升降输送机（５）包括回转平台（１７）与滚筒式传送带（１８）。滚筒式传送带（１８）支撑在回转平台（１７）上，并通过回转平台控制器（７）旋转回转平台（１７），使滚筒式传送带（１８）与接收物品或者移交物品的传送轨道的搬运方向一致，然后驱动传送轨道与滚筒式传送带（１８），从而接收或者移交ＦＯＵＰ（８）。升降输送机（５）用缆索支撑（２０）的结合构件（２０ｂ）支撑于升降空间（９）内所设置的缆索（２０ａ），并用升降控制器４，借助缆索支撑（２０）使其在垂直方向往返循环，跟随缆索支撑（２０）的移动而联动，从而升降自如地停留在各楼层所设置的小舟（２１）上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种与多个楼层上铺设的多条搬运轨道衔接，并沿垂 直方向搬运被搬运物品的垂直搬运装置。
技术介绍
在半导体制造厂、液晶显示板制造厂等制造厂中，通过使用搬运传送带、OHT、 OHS等搬运系统，按照工艺流程，搬运收纳了制造过 程中器件(例如，在半导体制造厂中，为半导体衬底或液晶显示装置 用玻璃衬底、光掩模用玻璃衬底、光盘用衬底等处理对象物)的搬运 器。在使用了搬运系统的制造厂中，随着生产规模的扩大、制造厂的 大规模化得到实现，也要增加制造装置台数、扩大搬运系统的规模， 使得制造工序构成往往横跨多个楼层。在那种情况下，施行垂直方向 楼层之间的搬运与水平方向同一楼层内的搬运。因此，在采用传送带搬运方式于楼层之间搬运负荷的搬运系统方 面，作为垂直方向进行搬运的现有技术，已有例如专利文献1以及专 利文献2所记载的具有传送功能的升降器等垂直搬运装置。专利文献1 公开一种带传送功能的升降器，升降式传送带设置于与一、二层部分 的立体循环搬运装置的水平部相邻的卸物处，在一、二楼层之间进行 升降并实施滚筒式搬运。另外，专利文献2公开一种具有与专利文献1 相似功能的带升降器的进库出库链式传送带。而且，在使用传送带搬运方式以外的搬运方式于楼层之间搬运负 荷的搬运系统方面，作为垂直方向进行搬运的现有技术，已有装备了 堆垛升降器、转载装置的升降、架式的升降装置等垂直搬运装置。日本专利文献l:特开平6—239416号公报 日本专利文献2:特开平5—262407号公报因此，近年来，对提高生产效率的要求更加强烈，从而要求搬运 系统方面提高搬运效率(例如，縮短搬运时间)。特别是，在使用了 搬运能力高且可达成高生产效率的传送带搬运方式的搬运系统中，就 楼层之间搬运物品的垂直搬运装置，协调其搬运能力来说，对楼层之 间可高效地进行搬运也渐渐重要起来。但是，作为先行技术的一例， 在有关上述的专利文献1以及专利文献2的具有传送功能的升降器， 无论何种场合下，装备于升降器的传送带搬运方向始终固定，且沿接 收物品的楼层上铺设的传送带的传送搬运方向与沿移交物品的楼层上 铺设的传送带搬运方向始终一致地固定，在考虑传送搬运方向方面， 存在未全部按统一的规格加以设定与未能构建搬运传送轨道线路的问 题。即，先行技术所涉及的升降器，无法适用于使用具有各种搬运方 向的搬运传送轨道的传送带搬运方式的搬运系统，而且，还存在无法 适应伴随搬运系统规模扩大而搬运传送轨道的搬运方向改变的问题。 另外，通过把用于转载物品的转载机(转载机器人等)组装于垂直搬运装 置，虽然可以适应多个楼层间具有各种搬运方向的搬运传送轨道的搬 运系统，但由于转载机的搬运能力较低，无法与传送带搬运方式所具 有的高搬运能力进行协调，从而存在变成低效搬运系统的问题。另外，在采用传送带搬运方式以外的搬运方式于楼层之间搬运物 品的搬运系统中，例如，存在架式升降装置的升降高度具有限制，导 致无法适应多个楼层组成的搬运系统的问题。另外，堆垛升降器虽然 是不受高度方向限制的升降自如的搬运装置，但物品的转载需要转载 机器人等转载机，从而存在转载机的转载时间成为楼层之间搬运效率 降低的原因的问题。进而，在现有技术的垂直搬运装置中，装备有转 载装置的升降器中使用转载装置，因物品的转载需要时间，所以无法 提高楼层之间搬运效率。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于，提供一种在多个楼层上铺设有各种搬 运方向的搬运轨道的搬运系统中，可以提高楼层之间搬运效率的垂直 搬运装置。本专利技术第一方面所涉及的垂直搬运装置，为一种与多个楼层上敷 设的多条搬运轨道衔接，并沿垂直方向搬运被搬运物品的垂直搬运装 置，其特征在于具有，具备可装载从任一条上述搬运轨道搬运来的 被搬运物品，而且可把该被搬运物品搬运至任一条上述搬运轨道的搬 运传送带，和调合上述搬运轨道的搬运方向并旋转该搬运传送带的旋 转装置的搬运方向设定装置；在上述多个楼层的搬运轨道之间，沿垂 直方向升降上述搬运方向设定装置的升降装置；以及根据针对被搬运 物品的搬运命令，控制上述搬运方向设定装置与上述升降装置的垂直 搬运控制装置。进而，本专利技术第二方面所涉及的垂直搬运装置也可以为，上述垂 直搬运控制装置，在接收被搬运物品之际，控制上述升降装置升降至 铺设有接收上述搬运方向设定装置的搬运传送带的楼层，同时控制上 述旋转装置使上述搬运传送带与接收物品的上述搬运轨道的搬运方向 一致；在移交被搬运物品之际，控制上述升降装置升降至铺设有移交 上述搬运方向设定装置的搬运传送带的楼层，同时控制上述旋转装置 使上述搬运传送带与移交物品的上述搬运轨道的搬运方向一致。另外，本专利技术第三方面所涉及的垂直搬运装置也可以为，上述升 降装置包括，横跨铺设有上述搬运轨道的多个楼层且沿垂直方向设置 的升降轨道；和将上述搬运方向设定装置支撑于上述升降轨道的支撑 构件，通过驱动上述升降轨道或者上述支撑构件中任一方，使上述搬 运方向设定装置升降。进而，本专利技术第四方面所涉及的垂直搬运装置也可以为，上述搬运轨道为，在由多个楼层组成的制造厂中铺设的，上述搬运轨道以及 上述搬运传送带由滚筒式传送带构成。根据上述本专利技术的第一方面，可以根据主搬运系统针对被搬运物 品发出的搬运命令，用旋转装置使搬运传送带与接收物品的搬运轨道 及移交物品的搬运轨道的搬运方向一致，同时用升降装置使搬运方向 设定装置从铺设有接收物品搬运轨道的楼层升降至铺设有移交物品搬 运轨道的楼层，因此，对于多个楼层上铺设有各种搬运方向搬运轨道 的搬运系统，可以提高楼层之间的搬运效率。根据本专利技术的第二方面所涉及的垂直搬运控制装置，可以根据主 搬运系统针对被搬运物发出的搬运命令，自动地用旋转装置使搬运传 送带与接收物品搬运轨道以及移交物品搬运轨道的搬运方向的一致， 同时用升降装置使搬运方向设定装置从铺设有接收物品搬运轨道的楼 层升降至铺设有移交物品搬运轨道的楼层，因此，对于多个楼层上铺 设有各种搬运方向搬运轨道的搬运系统，可以进一步提高楼层之间的 搬运效率。根据本专利技术的第三方面，可以以简单的结构实现升降装置，因此， 对于多个楼层上铺设有各种搬运方向的搬运轨道的搬运系统，也可以 容易地实现楼层之间垂直方向的搬运，特别是多个楼层之间垂直方向 的搬运。根据本专利技术的第四方面，特别是谋求生产规模的扩大、制造厂的 大规模化，随之，实施制造装置台数的增加、搬运系统的规模扩大， 对于采用制造工序横跨多个楼层而构成的搬运系统的制造厂而言，通 过把本专利技术的垂直搬运装置应用于使用了对楼层之间可高效搬运很重 要的滚筒式传送带搬运方式的楼层之间搬运物品的搬运系统，可以实 现楼层之间搬运效率的提高。而且，在本专利技术中，所谓搬运轨道，除了采用传送带搬运方式的搬运系统的搬运传送带以外，还包含采用OHS、 OHT等搬运方式 的搬运系统的搬运轨道。另外，所谓搬运传送带，除了滚筒式传 送带、链式传送带以外，还包含皮带式传送带等。附图说明图1为表示本实施方式所涉及的垂直搬运装置的立体图。图2为包含表示本实施方式所涉及的装载有FOUP的垂直搬运装 置的回转平台的局部剖面的主视图。图3为说明本实施方式所涉及的垂直搬运装置的回转平台的旋转 定位驱动原理的A—A '剖视图。图4为说明本实施方式所涉及的垂直搬运装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种与多个楼层上敷设的多条搬运轨道衔接，并沿垂直方向搬运被搬运物品的垂直搬运装置，其特征在于具有：搬运方向设定装置；升降装置；以及垂直搬运控制装置，　该搬运方向设定装置可装载从任一所述搬运轨道搬运的被搬运物品，而且具备可把该被搬运物品搬运到任一所述搬运轨道的搬运传送带，和调合所述搬运轨道的搬运方向并且旋转该搬运传送带的旋转装置，　该升降装置在所述多个楼层的搬运轨道之间，沿垂直方向升降所述搬运方向设定装置，　该垂直搬运控制装置根据针对被搬运物品的搬运命令，控制所述搬运方向设定装置与所述升降装置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2005-12-16 362757/20051.一种与多个楼层上敷设的多条搬运轨道衔接，并沿垂直方向搬运被搬运物品的垂直搬运装置，其特征在于具有搬运方向设定装置；升降装置；以及垂直搬运控制装置，该搬运方向设定装置可装载从任一所述搬运轨道搬运的被搬运物品，而且具备可把该被搬运物品搬运到任一所述搬运轨道的搬运传送带，和调合所述搬运轨道的搬运方向并且旋转该搬运传送带的旋转装置，该升降装置在所述多个楼层的搬运轨道之间，沿垂直方向升降所述搬运方向设定装置，该垂直搬运控制装置根据针对被搬运物品的搬运命令，控制所述搬运方向设定装置与所述升降装置。2. 如权利要求1所述的垂直搬运控制装置，其特征在于 所述垂直搬运装置为，当接收被搬运物品时，控制所述升降装置升降至铺设有接收所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：大岛宗训，
申请(专利权)人：日本亚仕帝科技株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]