一种液体管理系统，适于配置在使用液体瓶的工艺设备中，包括： 主机，该主机中建立有液体数据库； 数据读取工具，连接至该主机，该数据读取工具是用来读取该液体瓶的数据； 系统控制器，连接至该主机；以及 瓶身锁定装置，连接至该系统控制器，该瓶身锁定装置配置于该液体瓶上，该瓶身锁定装置包括可滑动的卡掣件，其中该主机接收该数据读取工具传送的该液体瓶的数据，并将该液体瓶的数据与该液体数据库做比对，该系统控制器会根据该主机传送的信号驱动该瓶身锁定装置，当该瓶身锁定装置处于锁定状态时，该卡掣件固定于该液体瓶的扣环，当该瓶身锁定装置处于解除状态时，该卡掣件释放该液体瓶的扣环。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种工艺设备的管理系统及其方法，且特别是涉及一种液体 管理系统及其方法。
技术介绍
在半导体工艺中，经常会使甩各种不同的液体来进行工艺。以光刻工艺 为例，光致抗蚀剂涂布是将液态的光致抗蚀剂旋涂于芯片表面上，而所选用 的光致抗蚀剂种类常会因工艺条件的不同而有不同的需求。当工艺机台中的光致抗蚀剂使用完毕，通常是以手动的方式进行登记比 对，并由工作者的判定来控制新光致抗蚀剂的更换补充。更进一步而言，在 发现机台中某一光致抗蚀剂使用完毕后，机台会发出信号提醒工作者补充新 光致抗蚀剂，使得生产线不致发生中断。接着，工作者会去领取相同的新光 致抗蚀剂瓶来取代使用完的光致抗蚀剂瓶。之后，工作者会至电脑端以手动 的方式消除使用完的光致抗蚀剂瓶数据，再输入新光致抗蚀剂瓶的数据并进并换上新光致抗蚀剂并瓦，^吏机台重新运作。在上述过程中，将新光致抗蚀剂瓶的数据与电脑中建立的数据库做比对 以判断所取用的新光致抗蚀剂瓶是否正确，并不具有强制性的控管。由于光 致抗蚀剂的种类繁多，且部分光致抗蚀剂的名称相近，常常容易因人为疏忽 造成取用错误的情况。若是工作者未执行比对程序，或是不理会比对错误的 信息即擅自更换光致抗蚀剂瓶，极有可能会发生更换错误的问题，进而影响 整个产品的成品率及成本。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术^是供一种液体管理系统，可有效地管理液体^L的更换 及取用。本专利技术提供一种液体管理方法，能够提高比对正确性，以避免更换错误的情况发生。本专利技术提供一种瓶身锁定装置，用以锁定具有扣环的液体瓶，有助于禁 止工作者任意更换液体瓶。本专利技术提出 一种液体管理系统，适于配置在使用液体瓶的工艺设备中。 此系统包括主机、数据读取工具、系统控制器以及瓶身锁定装置。主机中建 立有液体数据库。数据读取工具连接至主机。数据读取工具是用来读取液体 瓶的数据。系统控制器连接至主机。而瓶身锁定装置连接至系统控制器。瓶 身锁定装置配置于液体瓶上，其中瓶身锁定装置包括可滑动的卡掣件。主机 会接收数据读取工具传送的液体瓶的数据，并将液体瓶的数据与液体数据库 做比对。而系统控制器会根据主机传送的信号驱动瓶身锁定装置。当瓶身锁 定装置处于锁定状态时，卡掣件会固定于液体瓶的扣环。当瓶身锁定装置处 于解除状态时，卡掣件释放液体瓶的扣环。在本专利技术的一实施例中，上述的卡掣件包括凹陷部。在本专利技术的一实施例中，当瓶身锁定装置处于锁定状态时，凹陷部会卡 合于液体并瓦的扣环。在本专利技术的一实施例中，还包括液位感应器，连接至主机，用以侦测液 体并瓦内的液体^f立置。在本专利技术的一实施例中，上述的数据读取工具例如是条码扫描器。在本专利技术的一实施例中，上述的系统控制器包括流体供给装置，用以推 移卡掣件。在本专利技术的一实施例中，上述的流体供给装置例如是气压供给装置。在本专利技术的一实施例中，上述的气压供给装置的驱动压力介于1 kg/cm2 至7 kg/cm2。在本专利技术的一实施例中，上述的卡掣件的最大出力为6.78kg/cm2。 在本专利技术的一实施例中，上迷的卡掣件的移动速度介于50 mm/sec至500 mm/sec。在本专利技术的一实施例中，上述的工艺设备例如是光致抗蚀剂涂布显影机在本专利技术的一实施例中，上述的液体瓶例如是光致抗蚀剂弁瓦。 本专利技术另提出一种液体管理方法，适用于使用液体瓶的工艺设备，其中 液体瓶上配置有处于锁定状态的瓶身锁定装置。首先，当需要更换液体瓶时，取出新液体瓶并读取新液体瓶的数据。接着，比对新液体瓶的数据与液体瓶 的数据是否相符。当新液体瓶的数据与液体瓶的数据相符时，则驱动瓶身锁 定装置切换至解除状态。然后，换上新液体瓶。在本专利技术的一实施例中，读取新液体瓶的数据例如是以条码扫描器读取 新液体瓶上的条码。在本专利技术的一实施例中，当新液体瓶的数据与液体瓶的数据不相符时， 瓶身锁定装置则维持锁定状态。上述的工艺设备例如是光致抗蚀剂涂布显影机上述的液体瓶例如是光致抗蚀剂瓶。 上述的新液体瓶例如是新光致抗蚀剂瓶。 本专利技术又提出一种瓶身锁定装置，适用于具有扣环的液体瓶。此装置包 括本体、固定部、缸体、活塞、驱动杆以及卡掣件。固定部连接于本体的一 侧，用以将此装置固定于液体瓶上。缸体嵌设于本体内，且缸体的流体入口 突出自本体。活塞配置于缸体中。驱动杆可滑动地配置于缸体中，且驱动杆 的一端连接活塞。卡掣件连接于驱动杆的另一端，其中卡掣件具有凹陷部。 当活塞经由流体入口受到流体压力时，活塞会驱使驱动杆将卡掣件沿着移动 轴线自释放位置移动至卡合位置，以使得凹陷部与扣环相卡合。在本专利技术的一实施例中，瓶身锁定装置还包括弹性件，配置于活塞与缸 体的内壁之间，用以相对于缸体施加弹力至活塞，以使驱动杆将卡掣件由卡 合位置移动至释放位置。在本专利技术的一实施例中，上述的弹性件例如是螺旋弹簧，套设于驱动杆上。在本专利技术的一实施例中，瓶身锁定装置还包括两个导杆，分别配置于驱 动杆的两侧，以让卡掣件承靠并确保卡掣件实质上沿着移动轴线来滑动。 在本专利技术的一实施例中，上述的本体包括容纳槽。在本专利技术的一实施例中，上述的卡掣件可滑动地配置于容纳槽中。 在本专利技术的一实施例中，瓶身锁定装置还包括流体供给装置，连接至流 体入口 。在本专利技术的一实施例中，上述的流体供给装置例如是气压供给装置。 基于上述，本专利技术的液体管理系统因采用瓶身锁定装置将使用中的液体在本专利技术的一实施例中，在本专利技术的一实施例中， 在本专利技术的一实施例中， 瓶锁定，使液体瓶无法被任意置换。而系统控制器会根据主机比对数据后的 结果，来驱动瓶身锁定装置的状态切换。因此，可以有效地进行液体瓶的比 对及管理，并避免工作者擅自更换。本专利技术的液体管理方法利用^(瓦身锁定装置在使用时是处于锁定状态，只 有当取用的新液体瓶与原先使用的液体瓶数据比对相符时，瓶身锁定装置才 会切换至解除状态，以更换新液体瓶。本专利技术的液体管理方法因而可以提高 取用液体的正确性。本专利技术的瓶身锁定装置因配置有可滑动的卡掣件，通过流体供给系统的 驱动，可以使卡掣件从释放位置移动至卡合位置，并与液体瓶的扣环相卡合。 如此一来，液体瓶就不能任意地被更换。为让本专利技术之上述特征和优点能更明显易懂，下文特举优选实施例，并 配合所附图示，作详细说明如下。附图说明图1是依照本专利技术一实施例的瓶身锁定装置的立体图。图2A与图2B是图1的瓶身锁定装置作动时的本体剖面示意图。 图3是依照本专利技术一实施例的液体管理系统的配置示意图。 图4为依照本专利技术一实施例的液体管理方法的步骤流程图。附图标记说明100:瓶身锁定装置 102:本体 102a:容纳槽 104:固定部 110:缸体 110a:开口 112:流体入口 120:活塞 130:驱动杆 130a、 130b: —端 140:导杆150卡掣件150a:凹陷部160弹性件170移动轴线180流体压力300液体管理系统310主机320数据读取工具330系统控制器340流体供给装置350液位感应器360液体瓶362扣环370新液体并瓦374标签PI:释放位置P2:卡合位置S400 S460:步骤具体实施例方式图1是依照本专利技术一实施例的瓶身锁定装置的立体图。图2A与图2B 是图1的瓶身锁定装置作动时的本体剖面示意图。请同时参照图1、图2A，瓶身锁定装置100适用于具有扣环的液体本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种液体管理系统，适于配置在使用液体瓶的工艺设备中，包括： 主机，该主机中建立有液体数据库； 数据读取工具，连接至该主机，该数据读取工具是用来读取该液体瓶的数据； 系统控制器，连接至该主机；以及 瓶身锁定装置，连接至该系统控制器，该瓶身锁定装置配置于该液体瓶上，该瓶身锁定装置包括可滑动的卡掣件，其中该主机接收该数据读取工具传送的该液体瓶的数据，并将该液体瓶的数据与该液体数据库做比对，该系统控制器会根据该主机传送的信号驱动该瓶身锁定装置，当该瓶身锁定装置处于锁定状态时，该卡掣件固定于该液体瓶的扣环，当该瓶身锁定装置处于解除状态时，该卡掣件释放该液体瓶的扣环。
【技术特征摘要】
1.一种液体管理系统，适于配置在使用液体瓶的工艺设备中，包括主机，该主机中建立有液体数据库；数据读取工具，连接至该主机，该数据读取工具是用来读取该液体瓶的数据；系统控制器，连接至该主机；以及瓶身锁定装置，连接至该系统控制器，该瓶身锁定装置配置于该液体瓶上，该瓶身锁定装置包括可滑动的卡掣件，其中该主机接收该数据读取工具传送的该液体瓶的数据，并将该液体瓶的数据与该液体数据库做比对，该系统控制器会根据该主机传送的信号驱动该瓶身锁定装置，当该瓶身锁定装置处于锁定状态时，该卡掣件固定于该液体瓶的扣环，当该瓶身锁定装置处于解除状态时，该卡掣件释放该液体瓶的扣环。2. 如权利要求1所述的液体管理系统，其中该卡掣件包括凹陷部。3. 如权利要求2所述的液体管理系统，其中当该瓶身锁定装置处于该锁 定状态时，该凹陷部卡合于该液体并瓦的扣环。4. 如权利要求1所述的液体管理系统，还包括液位感应器，连接至该主 才几，用以侦测该液体弁瓦内的液体位置。5. 如权利要求1所述的液体管理系统，其中该数据读取工具包括条码扫 描器。6. 如权利要求1所述的液体管理系统，其中该系统控制器包括流体供给 装置，用以推移该卡掣件。7. 如权利要求6所述的液体管理系统，其中该流体供给装置包括气压供 给装置。8. 如权利要求7所述的液体管理系统，其中该气压供给装置的驱动压力 介于1 kg/cm2至7 kg/cm2。9. 如权利要求7所述的液体管理系统，其中该卡掣件的最大出力为6.78 kg/cm2。10. 如权利要求7所述的液体管理系统，其中该卡掣件的移动速度介于 50 mm/sec至500 mm/sec。11. 如权利要求1所述的液体管理系统，其中该工艺设备包括光致抗蚀 剂涂布显影机台。12. 如权利要求11所述的液体管理系统，其中该液体瓶包括光致抗蚀剂瓶。13. —种液体管理方法，适用于使用液体瓶的工艺设备，该液体瓶上配 置有锁定状态的瓶身锁定装置，包括当需要更换该液体瓶时，取出新液体瓶，并读取该新液体瓶的数据； 比对该新液体瓶的数据与该液体瓶的数据是否相符...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈彦良，苏裕翔，谢寿镛，
申请(专利权)人：力晶半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71
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