【技术实现步骤摘要】
一种低温烧结改性NiO
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Ta2O5基微波介质陶瓷材料及其制备方法
[0001]本专利技术属于电子陶瓷及其制造领域,涉及一种低温烧结改性NiO
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Ta2O5基微波介质陶瓷材料及其制备方法。
技术介绍
[0002]随着移动通讯不断向高频化方向发展,电子元器件诸如介质滤波器、介质谐振器天线、介质波导等的重要性凸显,而微波介质陶瓷能够在300MHz~300GHz范围内发挥功能性,是目前被广泛用于制备上述电子元器件的关键基础性材料。
[0003]传统的微波设备重量大且昂贵,通讯行业发展至今,要求电路系统所占空间要尽可能小。作为一种新型的三维集成封装互联技术,低温共烧陶瓷(LTCC)技术因其满足高频应用,为制备内嵌电极的陶瓷模块或整体电路提供了可靠的解决方案,因此开发应用于LTCC技术的陶瓷体系成为该领域研究的重点。
[0004]具有四方Tri
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rutile晶体结构的NiO
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Ta2O5陶瓷材料在1400℃下的微波介电性能为:ε
r
=25,Q
×
f=31200GHz,τ
f
=26ppm/℃,但由于过高的烧结温度导致无法与LTCC技术中的Ag或Cu电极共烧(与Ag电极共烧需不超过950℃;与Cu电极共烧需不超过1000℃且在还原气氛下进行),且谐振频率温度系数τ
f
值也较大(τ
f
值介于
±
10ppm/℃代表温度稳定性优异)。截至目前 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种低温烧结改性NiO
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Ta2O5基微波介质陶瓷材料,其特征在于,所述低温烧结改性NiO
‑
Ta2O5基微波介质陶瓷材料化学通式为:(1.587y
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0.198xy)ZnO
‑
(2.597y
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0.324xy)CuO
‑
(1
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x)NiO
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(1.855y
‑
0.231xy)B2O3‑
3xSnO2‑
(1
‑
x)Ta2O5‑
(0.284y
‑
0.035xy)V2O5;其中0.1≤x≤0.2;0.03≤y≤0.09;经由固相法制备获得;晶体类型为NiTa2O6结构;该微波介质陶瓷材料的烧结温度为875~950℃,850~900℃大气气氛中预烧;介电常数为17~21,品质因数Q
×
f值为14000~23000GHz,谐振频率温度系数为5~10ppm/℃。2.根据权利要求1所述的一种低温烧结改性NiO
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Ta2O5基微波介质陶瓷材料,其特征在于:当x=0.15且y=0.06时,在925℃烧结温度下材料的介电常数为20.2,品质因数Q
×
f值为22417GHz,谐振频率温度系数为8.7ppm/℃。3.一种低温烧结改性NiO
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技术研发人员:邢孟江,曲明山,杨鸿宇,孙成礼,
申请(专利权)人:电子科技大学,
类型:发明
国别省市:
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