旋转接头制造技术

旋转接头(1)的各机械密封装置(7)具有：第一轴侧密封环(71)及第二轴侧密封环(72)，它们安装于轴体(5)；以及第一壳体侧密封环(73)及第二壳体侧密封环(74)，它们安装于壳体(2)。第一轴侧密封环(71)和第二轴侧密封环(72具有彼此在轴向上相对且接触的接触面(71b、72b)，在两个接触面(71b、72b)形成有用于构成将第二外侧流路(32)和第二内侧流路(62)连结的第二连通流路(42)的槽(421c、421d)。421d)。421d)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】旋转接头


[0001]本专利技术涉及一种旋转接头。

技术介绍

[0002]旋转接头用于将固定侧部件的流路和旋转侧部件的流路连接。例如，在用于进行半导体晶圆的表面研磨处理的CMP装置(Chemical Mechanical Polishing装置)中，研磨液、加压用空气、清洗水、纯水、喷气用空气、研磨残渣液等作为被密封流体而在旋转侧部件(旋转台或顶环)与对其进行支撑的固定侧部件(CMP装置主体)之间流动。为了使这种被密封流体不混合而在所述旋转侧部件与所述固定侧部件之间流动，需要在将上述部件之间连接的接头部设置多个独立的流体通路。因此，作为这种接头部，例如使用专利文献1公开的多端口式的旋转接头。
[0003]专利文献1的旋转接头具有：筒形的壳体；旋转体，其在壳体内设置为能够旋转；以及多个机械密封件，它们在壳体与旋转体之间的环状空间，在轴向上排列设置。在壳体形成有沿径向贯通的多个壳体侧通路。在旋转体以在旋转体的外周侧开口的方式形成有与壳体侧通路相同数量的旋转体侧通路。
[0004]各机械密封件具有：静止密封环，其安装于壳体；以及旋转密本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种旋转接头，其中，所述旋转接头具有：筒形的壳体，在其内周侧开口而形成有供被密封流体流动的多个外侧流路；轴体，其以能够相对旋转的方式设置于所述壳体内，在外周侧开口而形成有供被密封流体流动的多个内侧流路；以及多个机械密封装置，它们在轴向上排列配置于在所述壳体与所述轴体之间形成的环状空间中，所述各机械密封装置具有：第一壳体侧密封环，其安装于所述壳体；第一轴侧密封环，其以与所述第一壳体侧密封环的轴向一侧相邻的方式安装于所述轴体，相对于所述第一壳体侧密封环而相对地滑动；第二轴侧密封环，其以与所述第一轴侧密封环的所述轴向一侧相邻的方式安装于所述轴体；以及第二壳体侧密封环，其以与所述第二轴侧密封环的所述轴向一侧相邻的方式安装于所述壳体，相对于所述第二轴侧密封环而相对地滑动，所述第一轴侧密封环以及所述第二轴侧密封环具有彼此在轴向上相对且接触的接触面...

【专利技术属性】
技术研发人员：石岛政直，铃木理，奥西泰之，松居修平，
申请(专利权)人：日本皮拉工业株式会社，
类型：发明
国别省市：