一种新型热式气体质量流量控制器制造技术

本实用新型专利技术一种新型热式气体质量流量控制器，包括直管道、滤网、传感器模组、测量及控制电路、电磁阀、气路开闭部件、外部接口和控制系统，直管道内侧水平铺设有滤网，传感器模组安装于直管道顶部，电磁阀安装于直管道外侧顶部位于传感器模组右侧，传感器模组输出端和测量及控制电路输入端信号连接，测量及控制电路输出端分别和气路开闭部件、电磁阀输入端信号连接，测量及控制电路通过外部接口与控制系统相连，本实用新型专利技术装置控制单元采用电磁阀驱动金属动件打开或闭合，实现对管路气流的线性调节。节。节。

【技术实现步骤摘要】
一种新型热式气体质量流量控制器


[0001]本技术涉及气体质量流量控制领域，具体涉及一种新型热式气体质量流量控制器。

技术介绍

[0002]传统热式气体质量流量计/控制器多采用旁路线绕测温原理，气路结构复杂、测量一致性差、生产和维护成本高。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技术中存在的上述问题，提供一种新型热式气体质量流量控制器。
[0004]为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本技术是通过以下技术方案实现：
[0005]一种新型热式气体质量流量控制器，包括直管道、滤网、传感器模组、测量及控制电路、电磁阀、气路开闭部件、外部接口和控制系统，所述直管道内侧水平铺设有滤网，所述传感器模组安装于直管道顶部，所述电磁阀安装于直管道外侧顶部位于传感器模组右侧，所述传感器模组输出端和测量及控制电路输入端信号连接，所述测量及控制电路输出端分别和气路开闭部件、电磁阀输入端信号连接，所述测量及控制电路通过外部接口与控制系统相连。
[0006]优选地，所述传感器模组包括传感器芯片、金属引出棒、绑定金丝、传感器固定件和金属基座，所述传感器芯片通过固定件安装固定在金属基座底部表面，所述传感器芯片通过绑定金丝焊接绑定到引出金属引出棒上。
[0007]优选地，所述传感器芯片和测量及控制电路信号连接。
[0008]优选地，所述传感器芯片型号为采用市场上商用或定制的微小芯片的MEMS热式气体质量流量传感器芯片。
[0009]优选地，所述测量及控制电路采用低功耗、高集成度的电路设计，同时提供整机精度和灵敏度的位微处理器系统。
[0010]有益效果：
[0011]气路结构简单，并通过将表贴封装的MEMS热式气体流量传感器直插并密封于气路直管道中，实现对管道气体流速的直接测量；此外控制单元采用电磁阀驱动金属动件打开或闭合，实现对管路气流的线性调节，测量和控制电路采用32位微处理器系统，具有较高精度和灵敏度。
[0012]当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上的所有优点。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，
对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1本技术热式气体质量流量计/控制器结构图示意图；
[0015]图2本技术基于MEMS芯片的热式气体质量流量计传感器模组结构示意图；
[0016]附图中标号如下：
[0017]1‑
直管道，2
‑
滤网，4
‑
传感器模组，401
‑
传感器芯片，402
‑
金属引出棒，403
‑
绑定金丝，404
‑
传感器固定件，405
‑
金属基座，5
‑
测量及控制电路，6
‑
电磁阀，7
‑
气路开闭部件，8
‑
外部接口，9
‑
控制系统。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]实施例1：
[0020]如图1
‑
2所示，本技术为一种新型热式气体质量流量控制器，包括直管道1、滤网2、传感器模组4、测量及控制电路5、电磁阀6、气路开闭部件7、外部接口8和控制系统9，直管道1内侧水平铺设有滤网2，传感器模组4安装于直管道1顶部，电磁阀6安装于直管道1 外侧顶部位于传感器模组4右侧，传感器模组4输出端和测量及控制电路5输入端信号连接，测量及控制电路5输出端分别和气路开闭部件7、电磁阀6输入端信号连接，测量及控制电路5通过外部接口8与控制系统9相连。
[0021]本实施例的一个具体应用为：被测气体在直管道1内经滤网2过滤后，直接流经传感器模组4表面，使得传感器模组4的输出发生改变，经过测量及控制电路5完成信号处理后，驱动电磁阀6以及气路开闭部件7动作，实现对管道气流的控制，测量及控制电路5可通过外部接口8与控制系统9相连，实现远程测量和控制，通过改变直管道1的内径，可满足不同气体流速量程需要。
[0022]实施例2：
[0023]其中，传感器模组4包括传感器芯片401、金属引出棒402、绑定金丝403、传感器固定件404和金属基座405，传感器芯片401通过固定件安装固定在金属基座405底部表面，传感器芯片401通过绑定金丝403焊接绑定到引出金属引出棒402上，传感器芯片401和测量及控制电路5信号连接，传感器芯片401型号为采用市场上商用或定制的微小芯片的MEMS热式气体质量流量传感器芯片，测量及控制电路 5采用低功耗、高集成度的电路设计，同时提供整机精度和灵敏度的32 位微处理器系统。
[0024]本实施例的具体应用为：其中MEMS热式气体质量流量传感器芯片401采用市场上商用或定制的微小芯片，采用硅、陶瓷或特种材料作为基板，将加热电阻丝和测温电阻丝通过薄膜工艺镀于基板之上；传感器芯片401通过传感器固定件404安装固定在金属基座405底部表面，固定方式包括且不限于焊接、粘合、嵌套等；固定于基座1上的传感器芯片401通过绑定金丝403焊接绑定到引出金属引出棒402 上，进而实现与图2中测量和测量及控制电路5的连接。
[0025]在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料过着特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0026]以上公开的本技术优选实施例只是用于帮助阐述本技术。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该技术仅为所述的具体实施方式，显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本技术的原理和实际应用，从而使所属
技术人员能很好地理解和利用本技术。本技术仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型热式气体质量流量控制器，其特征在于：包括直管道(1)、滤网(2)、传感器模组(4)、测量及控制电路(5)、电磁阀(6)、气路开闭部件(7)、外部接口(8)和控制系统(9)，所述直管道(1)内侧水平铺设有滤网(2)，所述传感器模组(4)安装于直管道(1)顶部，所述电磁阀(6)安装于直管道(1)外侧顶部位于传感器模组(4)右侧，所述传感器模组(4)输出端和测量及控制电路(5)输入端信号连接，所述测量及控制电路(5)输出端分别和气路开闭部件(7)、电磁阀(6)输入端信号连接，所述测量及控制电路(5)通过外部接口(8)与控制系统(9)相连。2.根据权利要求1所述的一种新型热式气体质量流量控制器，其特征在于：所述传感器模组(4)包括传感器芯片(401)、金属引出棒(402)、绑定金丝(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵胜义，王骏，
申请(专利权)人：上海斗蕴自动化仪表有限公司，
类型：新型
国别省市：