一种微波激励紫外光源制造技术

本实用新型专利技术公开一种微波激励紫外光源，它由磁控管１、微波波导２、微波馈能口３、微波谐振腔４、紫外灯５、微波屏蔽网６、灯座７、风扇８、基座９等组成，其特征是紫外灯５内抽真空后可以填充惰性气体、汞蒸气、或金属卤化物蒸气以及上述气体的混合物。该光源由微波激发灯体内的特定气体电离产生等离子体发出紫外线光，能够实施对气体、液体、固体的消毒、灭菌以及通过紫外线实施对化学物质的光化学合成和对电子材料和器件进行紫外刻蚀、紫外信息擦除等，该微波激励紫外光源具有无电极、无镇流器，功率大、启辉迅速、寿命长、能耗低、效率高等特点。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于电子
，它特别涉及紫外线光源。
技术介绍
传统的紫外线灯由电源、电极、镇流器、启辉器和灯管(泡)等组成。传统的紫外线灯，一般功率不大，效率不高，镇流器和启辉器易损坏，紫外灯内的电极随着时间的延长会出现电极劣化、电极打火和电极损耗等现象，因而灯管易变黑不启辉，寿命不长。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种微波激励紫外光源，它具有无需电极，无需镇流器，无需启辉器，功率大(几十瓦到几十千瓦)、启辉迅速、寿命长(无电极劣化、无电极损耗)、能耗低、效率高(光效大于1001m/W)等特点。本技术是这样实现的(如图1所示)，它由磁控管1、微波波导2、微波馈能口3、微波谐振腔4、紫外灯5、微波屏蔽网6、灯座7、风扇8、基座9等组成，紫外灯5置于微波谐振腔4内的灯座7上，其特征是紫外灯5内抽真空后可以填充惰性气体，可以填充汞蒸气，也可以填充金属卤化物蒸气，还可以填充上述惰性气体、汞蒸气、金属卤化物蒸气的混合物。需要说明的是本技术的紫外灯5外壳为石英玻璃或硼玻璃等耐高温的玻璃，将无电极的紫外灯5置于微波谐振腔4内的灯座7上，由微波激发灯内的气体电离产生等离子体发出紫外光；紫外灯5无电极，它可以做成各种形状，如管状、球状、环状、锥体、平板状等任意形状；微波谐振腔4根据紫外灯5的形状可以做成矩形腔、圆柱腔、球形腔、喇叭形、平板形等形状；微波频率为300～3000MHz；微波谐振腔4的腔体部分除了和波导口连接处留微波馈能口3外，其它腔壁可以全部做成金属网状腔壁，也可以部分做成金属网状腔壁6(如图1所示)，网孔孔径小于3毫米，使微波辐射符合国家标准，冷却风扇8安装在波导2外表，风扇8对磁控管1和紫外灯5进行降温，上述各部件安置在基座9上。本技术的工作过程 由磁控管1(由微波发生器电源控制)产生微波，微波经波导2传输至微波谐振腔4，紫外灯5安置于微波谐振腔4内的灯座7上，微波谐振腔4内的微波透过紫外灯5的玻璃外壳作用于灯内的气体，使气体电离产生等离子体发出紫外光。本技术的实质使用微波激发紫外灯5内的特定气体电离产生等离子体发出紫外光。本技术为一种微波激励紫外光源的装置，本技术将先进的微波技术和等离子体技术结合起来，通过微波激发灯内的气体电离产生等离子体发出紫外线光，适用于对气体、液体、固体(如空气、水、食品、衣被等)的消毒、灭菌以及通过紫外线实施对化学物质的光化学合成和对电子材料和器件进行紫外刻蚀、紫外信息擦除等。该装置由磁控管1、微波波导2、微波馈能口3、微波谐振腔4、紫外灯5、微波屏蔽网6、灯座7、风扇8、基座9等组成，由磁控管1产生微波，微波经波导2传输至微波谐振腔4，紫外灯5安置于微波谐振腔4内的灯座7上，微波谐振腔4内的微波透过紫外灯5的外壳玻璃作用于灯内的气体，使气体电离产生等离子体发光，风扇8可以对磁控管1和紫外灯5进行降温。微波谐振腔4根据紫外灯5的形状可以做成矩形腔、圆柱腔、球形腔、喇叭形、平板形等形状，微波谐振腔4的腔体部分除了和波导口连接处留微波馈能口3外，其它腔壁可以全部做成金属网状腔壁，也可以部分做成金属网状腔壁6，网孔孔径小于3毫米，使微波辐射符合国家标准，上述各部件安置在基座9上。本技术的微波激励紫外光源使用微波激发紫外灯5内的气体电离产生等离子体发出紫外线光，它具有无需电极，无需镇流器，功率大(几十瓦到几十千瓦)、启辉迅速、寿命长(无电极劣化、无电极损耗)、能耗低、效率高(光效大于1001m/W)等特点。能够实施对气体、液体、固体(如空气、水、食品、衣被等)的消毒、灭菌以及通过紫外线实施对化学物质的光化学合成和对电子材料和器件进行紫外刻蚀、紫外信息擦除等。附图及附图说明图1为本技术的剖面示意图其中1磁控管，2波导，3微波馈能口，4微波谐振腔，5紫外灯，6微波屏蔽网，7灯座，8风扇和9基座。具体实施方式无电极微波激励紫外线灯 1kW/2450MHz(50～1000W可调)的微波磁控管1产生50～1000W的微波功率，微波经波导2传输至微波谐振腔4，紫外灯5安置于微波谐振腔4内的灯座7上，微波谐振腔4内的微波透过紫外灯5外壳玻璃作用于灯内的气体，使气体电离产生等离子体发出紫外光，紫外灯5外壳由石英玻璃制成，紫外灯5尺寸为φ50mm左右的球形灯泡，内抽真空至10-3Pa后充入汞和氩气，汞的充入量为1～10克，氩气的充入量满足灯内工作气压约50～200Pa。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微波激励紫外光源，它由磁控管１、微波波导２、微波馈能口３、微波谐振腔４、紫外灯５、微波屏蔽网６、灯座７、风扇８、基座９组成，紫外灯５安置于微波谐振腔４内的灯座７上，其特征是紫外灯５内抽真空后可以填充惰性气体，可以填充汞蒸气，也可以填充金属卤化物蒸气，还可以填充上述惰性气体、汞蒸气、金属卤化物蒸气的混合物。

【技术特征摘要】
1.一种微波激励紫外光源，它由磁控管1、微波波导2、微波馈能口3、微波谐振腔4、紫外灯5、微波屏蔽网6、灯座7、风扇8、基座9组成，紫外灯5安置于微波谐振腔4内的灯座7上，其特征是紫外灯5内抽真空后可以填充惰性气体，可以填充汞蒸气，也可以填充金属卤化物蒸气，还可以填充上述惰性气体、汞蒸气、金属卤化物蒸气的混合物。2.根据权利要求1所述的一种微波...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢扩军，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：实用新型
国别省市：90[中国|成都]