一种高纯度有机溶剂的制备方法技术

本发明专利技术公开的一种高纯度有机溶剂的制备方法，包括如下步骤：步骤1：使被处理有机溶剂接触H型螯合阳离子交换体得到第一处理液；其中被处理有机溶剂以恒定流速流经H型阳离子交换体；步骤2：将第一处理液通过用以吸附剂吸附得到第二处理液；步骤3：将第二处理液依次接触阴离子交换体及H型强酸性阳离子交换体得到高纯度有机溶剂。本发明专利技术可对有机溶剂中的1价及多价两种金属进行去除，得到高纯度的有机溶剂。剂。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯度有机溶剂的制备方法


[0001]本专利技术涉及有机溶剂的制备方法，特别涉及一种高纯度有机溶剂的制备方法。

技术介绍

[0002]在半导体制程中，冲洗使用的异丙醇(IPA)中含有的金属不纯物对晶圆产生不良影响的可能性高，因此必须将异丙醇(IPA)制备过程中的不纯物含量减少至ppt程度。
[0003]去除有机溶剂中的金属不纯物而精制有机溶剂的方法以使用离子交换体之方法为例，且借由离子交换树脂及离子吸附膜等具有强酸性阳离子交换基的离子交换体，可将有机溶剂中的金属不纯物减少至ppt程度是现有的。
[0004]例如，日本特表2003
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535836号公报揭示金属不纯物小于1ppb且含水量小于100ppm之高纯度异丙醇的制造方法，该方法包含以下步骤：
[0005](a)将供给物流供给至分离塔，该供给物流包含至少99.9wt％的异丙醇且包含200至500ppm的有机不纯物并且含水量为100ppm以下；
[0006](b)将步骤(a)供给物流分离成由分离塔上部收集且包含沸点比异丙醇低的浓缩成分的头部流本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯度有机溶剂的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：使被处理有机溶剂接触H型螯合阳离子交换体得到第一处理液；其中被处理有机溶剂以恒定流速流经H型阳离子交换体；步骤2：将第一处理液通过用以吸附剂吸附得到第二处理液；步骤3：将第二处理液依次接触阴离子交换体及H型强酸性阳离子交换体得到高纯度有机溶剂。2.如权利要求1所述的一种高纯度有机溶剂的制备方法，其特征在于，所述被处理的有机溶剂为粗制异丙醇。3.如权利要求1所述的一种高纯度有机溶剂的制备方法，其特征在于，所述H型螯合交换体的官能基为亚胺二乙酸基、胺甲磷酸基或亚胺丙酸基。4.如权利要求1所述的一种高纯度有机溶剂的制备方法，其特征在于，所述阴离子交换体的体积与所述H型螯合交换体的体积比为0.1至99.0体积％。5.如权利要求1所述的一种高纯度有机溶剂的制备方法，其特征在于，所述H型强酸性阳离子交换体的体积与所述H型螯合交换体的体积比为0.1至99.0体积％。6.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：王伟，王永旗，吕明，支建江，
申请(专利权)人：太仓沪试试剂有限公司，
类型：发明
国别省市：