一种镀膜蒸发料的分拣装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种镀膜蒸发料的分拣装置，所述分拣装置包括依次连接的振动盘、称重分拣机以及磁选装置，所述振动盘为螺旋振动盘，螺旋振动盘中设置有输送柱状料的滑道。本实用新型专利技术所述分拣装置能够区分成分不同但颜色相同的同规格蒸发料，防止蒸发料的混料；而且采用称重分拣机进行分拣，节约了人力输出，提高了效率；同时，所述分拣装置结构简单，成本较低，便于工业化应用。便于工业化应用。便于工业化应用。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜蒸发料的分拣装置


[0001]本技术属于半导体
，涉及一种蒸发料的处理装置，尤其涉及一种镀膜蒸发料的分拣装置。

技术介绍

[0002]随着集成电路产业的快速发展，半导体电子器件的需求量也日益增加，镀膜材料是半导体电子器件制造的重要材料，而镀膜材料的重要制备方法之一是物理气象沉积法(PVD)。物理气相沉积是一种在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材及其反应物沉积在工件上。目前，物理气相沉积法是半导体芯片制造业、太阳能行业、液晶显示屏制造业等多种行业的核心技术。PVD主要包括磁控溅射和蒸发镀膜，其中后者常用的原料为蒸发料，由于蒸发镀膜技术具有污染程度小的优点，应用范围越发广泛。
[0003]CN 111394697A公开了一种金属蒸发料的表面处理方法，所述表面处理方法包括如下步骤：将金属蒸发料采用有机溶剂进行超声波清洗；将超声波清洗后的金属蒸发料进行酸洗，酸洗所用酸洗液为无机混合酸；将酸洗后的金属蒸发料再次进行超声波清洗后干燥处理。通过对金属蒸发料依次进行超声波清洗、酸洗，可有效去除蒸发料表面的杂质和氧化层，提高蒸发料的结晶度以及纯度。
[0004]CN 112872077A公开了一种高纯银蒸发料的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)将高纯银锭和挤压磨具经预热后进行挤压作业，得到直径为8
‑
10mm的中间料；(2)将中间料进行拉拔处理，得到直径为3
‑
6mm的高纯银蒸发料。所述制备方法采用将挤压和拉拔处理相结合，控制挤压作业产品的直径，以保证拉拔时具有特定的进料直径，并控制最终高纯银蒸发料产品的直径实现了高性能银蒸发料的制备。
[0005]CN 108754183A公开了一种钛蒸发料的制备方法和钛蒸发料，其制备方法包括如下步骤：对原料钛进行预处理；将预处理后的钛在清洗油中超声波振荡10
‑
20min，然后在蒸汽干燥系统中超声波振荡5
‑
15min；再酸洗3
‑
6min；然后在水中超声波振荡5
‑
10min，再进行干燥；将得到的钛放入离心研磨机中，加入清洗剂和水进行离心研磨；所述清洗剂用量为30
‑
50mL，研磨转速为180
‑
200r/min，研磨时间为10
‑
20min；对得到的钛进行后处理，得到钛蒸发料。
[0006]上述方法能够得到纯度较高的蒸发料。但在蒸发镀膜
，在蒸发料使用之前需要对蒸发料进行区分。但金属蒸发料存在筛分困难的问题，例如铝蒸发料中混入银蒸发料，钛蒸发料中混入镍蒸发料，会对使用带来巨大的隐患。
[0007]因此，需要提供一种对镀膜蒸发料进行分拣的装置。

技术实现思路

[0008]本技术的目的在于提供一种镀膜蒸发料的分拣装置，所述分拣装置能够区分成分不同但颜色相同的同规格蒸发料，防止蒸发料的混料；而且采用称重分拣机进行分拣，节约了人力输出，提高了效率；同时，所述分拣装置结构简单，成本较低，便于工业化应用。
[0009]为达到此技术目的，本技术采用以下技术方案：
[0010]第一方面，本技术提供了一种镀膜蒸发料的分拣装置，所述分拣装置包括依次连接的振动盘、称重分拣机以及磁选装置。
[0011]所述振动盘为螺旋振动盘，螺旋振动盘中设置有输送柱状料的滑道。
[0012]本技术所述分拣装置能够区分成分不同但颜色相同的同规格蒸发料，防止蒸发料的混料；而且采用称重分拣机进行分拣，节约了人力输出，提高了效率；同时，所述分拣装置结构简单，成本较低，便于工业化应用。
[0013]以铝蒸发料与银蒸发料为例，铝的密度为2.7g/cm3，银的密度为10.5g/cm3，对于相同规格的蒸发料，银的重量为铝重量的3.9倍。本技术通过结合振动盘与称重分拣机对铝蒸发料以及银蒸发料进行分拣，能够有效区分颜色相同的铝蒸发料与银蒸发料，从而提高分拣效率。
[0014]本技术通过在螺旋振动盘中设置有输送柱状料的滑道，使所述分拣装置特别适用于分拣棒状蒸发料。使用本技术所述分拣装置时，将待分拣蒸发料倒入振动盘，棒状蒸发料在螺旋振动盘的输送下进入称重分拣机，称重分拣机根据重量区分异常产品与目标产品，从而实现对目标蒸发料的高效分拣。
[0015]优选地，所述柱状料的直径为3
‑
6mm，例如可以是3mm、3.5mm、4mm、4.5mm、5mm、5.5mm或6mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
[0016]优选地，所述柱状料的长度为6
‑
15mm，例如可以是6mm、7mm、8mm、9mm、10mm、11mm、12mm、13mm、14mm或15mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
[0017]优选地，所述称重分拣机的称重精度为至少
±
0.1g。
[0018]优选地，所述称重分拣机使用皮带传送，称重效率为每秒至少1件。
[0019]本技术所述称重分拣机采用皮带传送的方式进行送料，保证了称重效率能够达到至少1件，例如可以是1件、2件、3件或4件，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
[0020]优选地，所述磁选装置包括磁力吸盘。
[0021]优选地，所述磁力吸盘设置于皮带的末端上方，用于检出磁性成分产品。
[0022]本技术不对磁力吸盘的具体型号做限定，只要能够实现磁性产品与非磁性产品的分离即可。
[0023]优选地，所述分拣装置还包括异常产品收集装置与合格产品收集装置；
[0024]所述异常产品收集装置用于收集称重分拣机所得质量异常产品；
[0025]所述合格产品收集装置设置于皮带末端，用于收集目标蒸发料
[0026]相对于现有技术，本技术具有以下有益效果：
[0027]本技术所述分拣装置能够区分成分不同但颜色相同的同规格蒸发料，防止蒸发料的混料；而且采用称重分拣机进行分拣，节约了人力输出，提高了效率；同时，所述分拣装置结构简单，成本较低，便于工业化应用。
附图说明
[0028]图1为本技术所述分拣装置对蒸发料进行分拣的工艺流程图；
[0029]图2为本技术所述分拣装置的结构示意图；
[0030]图3为本技术所述分拣装置的俯视图。
[0031]其中：1，振动盘；2，称重分拣机；21，皮带；3，磁选装置；4，异常产品收集装置；5，合格产品收集装置。
具体实施方式
[0032]下面通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。本领域技术人员应该明了，所述实施例仅仅是帮助理解本技术，不应视为对本技术的具体限制。
[0033]实施例1
[0034]本实施例提供了一种如图2所示的镀膜蒸发料的分拣装置(俯本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜蒸发料的分拣装置，其特征在于，所述分拣装置包括依次连接的振动盘、称重分拣机以及磁选装置；所述振动盘为螺旋振动盘，螺旋振动盘中设置有输送柱状料的滑道。2.根据权利要求1所述的分拣装置，其特征在于，所述柱状料的直径为3
‑
6mm。3.根据权利要求2所述的分拣装置，其特征在于，所述柱状料的长度为6
‑
15mm。4.根据权利要求1所述的分拣装置，其特征在于，所述称重分拣机的称重精度为至少
±
0.1g。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，边逸军，潘杰，王学泽，时晓旭，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：