本发明专利技术提供一种分子泵主轴攒量测量装置及测量方法，涉及检测设备技术领域，该测量装置包括：施压模块、支撑架以及螺旋测微器，支撑架具有相互垂直的第一支撑部和第二支撑部，第一支撑部具有保持水平的第一状态和保持竖直的第二状态；处于第一状态的第一支撑部承载螺旋测微器，螺旋测微器用于测量所述检测杆的竖直位移；处于第二状态的第一支撑部放置在分子泵的顶面第一支撑部用于辅助测量分子泵主轴的伸出长度。本发明专利技术对竖直设置的分子泵主轴的伸出部进行测量，得出分子泵主轴因重力而产生的攒动量；借助螺旋测微器以及施压组件，测得分子泵主轴因预设压力而生产的攒动量该测量装置对分子泵主轴攒量进行了量化，较估测值得精度高。精度高。精度高。
【技术实现步骤摘要】
一种分子泵主轴攒量测量装置及测量方法
[0001]本专利技术涉及检测设备
，具体涉及一种分子泵主轴攒量测量装置及测量方法。
技术介绍
[0002]分子泵是一种常用的真空获得设备，其内部成型有腔室，在腔室中安装有高转速电机，工作时高速旋转的转子将腔室内的气体分子压缩，并使之获得定向速度至排气口排出。在特殊工况下，分子泵主轴会出现大于0.15mm的轴向位移，使高速运转的转子极易与泵内静片、静盘发生刮蹭从而导致碎泵现象。
[0003]目前，分子泵装配人员凭借经验用手掌按压的方式进行测量，该方法通常对装配人员的实践经验具有较强的依赖性，不仅测量数据无法量化，而且测量精度无法完全保证，尤其是在分子泵转子叶齿与静片、静盘理论设计间距本就极小的情况下，仅依靠简单的测量加估算而将本不合格的分子泵检测为合格，会对泵造成不可挽回的损失。
技术实现思路
[0004]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的通过手掌按压的方式对分子泵主轴攒量进行估测，不仅依赖装配人员的实践经验，而且测量数据无法量化、精度无法保证的缺陷，从而提供一种分子泵主轴攒量测量装置及测量方法。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术提供的分子泵主轴攒量测量装置，包括：施压模块，具有放置分子泵的水平承载台，所述承载台正上方设有可上下移动的压盘，所述压盘的周向上具有垂直向外伸出的检测杆，所述压盘用于对分子泵主轴进行轴向施压；支撑架，具有相互垂直的第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部具有保持水平的第一状态和保持竖直的第二状态；处于第一状态的第一支撑部适于承载螺旋测微器，使所述螺旋测微器竖直设置，所述螺旋测微器用于测量所述检测杆的竖直位移；处于第二状态的第一支撑部适于放置在分子泵的顶面，所述第一支撑部的长度值与分子泵主轴的标准伸出量相等。
[0006]进一步地，所述第一支撑部为连接在所述第二支撑部顶端的U形架，所述U形架用于承托所述螺旋测微器的C尺架。
[0007]进一步地，所述第一支撑部的开口端处具有配重块，该配重块用于支撑在分子泵的顶面处。
[0008]进一步地，所述第一支撑部的背离所述第二支撑部的一侧通过连杆连接有一端开口的托架，所述托架与所述第一支撑部平行且开口方向一致，所述螺旋测微器的C尺架适于放置在所述第一支撑部与所述托架之间。
[0009]进一步地，所述施压模块采用数显弹簧拉力试验机。
[0010]进一步地，所述检测杆通过螺栓螺接在所述压盘的底端面上。
[0011]一种分子泵主轴攒量测量方法，通过上述方案中任一项所述的测量装置对分子泵主轴的攒量进行测量，包括以下步骤：S1：将分子泵竖直放于施压模块的承载台后，对压力显示器的示数进行归零；S2：第一支撑部竖直放置在分子泵的顶面上， 向下压缩所述第一支撑部，使其与分子泵主轴平齐，计算得出第一支撑部的形变量，即分子泵主轴的下沉量；S3：第二支撑部竖直放置在施压模块的底座上，螺旋测微器竖直安装在第一支撑部上；向下移动压盘，直至压力显示器的示数为1
‑
5N，对压盘进行锁定；向上旋动测微螺杆，使测微螺杆与压盘底部的检测杆接触，记录螺旋测微器上示数，该示数为第一测量值； S4：将测微螺杆向下移动至远离检测杆后，向下移动压盘，直至压力显示器的示数为80N
±
5N，对压盘进行锁定；再将测微螺杆上移至与压盘底部的检测杆接触，再次记录螺旋测微器上示数，该示数为第二测量值；S5：基于分子泵主轴的下沉量、第一测量值以及第二测量值，计算得出分子泵主轴的总攒动量。
[0012]进一步地，步骤S3中，在向下移动压盘之前，先对检测杆与压盘之间的空隙进行检测，以消除两者之间空隙。
[0013]进一步地，在步骤S2中，在所述检测杆适于与分子泵主轴接触的一侧上涂敷带有颜色的漆料，该漆料用于辅助判断所述第一支撑部是否与分子泵主轴平齐。
[0014]本专利技术技术方案，具有如下优点：1.本专利技术提供的分子泵主轴攒量测量装置，由数显弹簧拉力试验机、螺旋测微器以及支撑架组成，不仅能够准确检测出分子泵主轴的攒量，并且制造成本低。借助第一支撑部，对竖直设置的分子泵主轴的伸出部进行测量，基于分子泵主轴的标准伸出量、得出分子泵主轴因重力而产生的攒动量；借助螺旋测微器以及施压组件，测得分子泵主轴因预设压力而生产的攒动量；两个攒动量之和为总攒动量，该测量装置对分子泵主轴攒量进行了量化，较估测值得精度高，减小了因主轴攒量、对泵造成损失的现象。
[0015]2.本专利技术提供的分子泵主轴攒量测量装置，配重块的设置，能够使第一支撑部稳定的竖立在分子泵的主轴上。
[0016]3.本专利技术提供的分子泵主轴攒量测量方法，第二U形架的设置，不仅能够稳定的支撑螺旋测微器，并且在第一支撑部处于竖直状态时、能够平衡第二支撑部。
[0017]4.本专利技术提供的分子泵主轴攒量测量方法，对检测杆与压盘之间的空隙进行检测，使其两者之间不存在空隙；在施加压力过程中，避免检测杆因压力出现轴向窜动。
[0018]5.本专利技术提供的分子泵主轴攒量测量方法，螺旋测微器的测量精度高，但测量距离有限，借助第一支撑部对分子泵主轴的长度进行差值测量，来克服测量困难、达到测量精度。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前
提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本专利技术中提供的分子泵主轴攒量测量装置。
[0021]图2为第一支撑部处于竖直状态时的局部放大图。
[0022]图3为第一支撑部处于水平状态时的局部放大图。
[0023]附图标记说明：1、支撑架；2、螺旋测微器；3、承载台；4、压盘；5、检测杆；6、分子泵主轴；7、底座；8、立柱；9、滑台；10、微调螺杆；11、拉力传感器；12、压力显示器；13、第二支撑部；14、第一摇柄；15、锁扣；16、龙门架；17、第二摇柄；18、第一支撑部；19、托架；20、配重块；21、检测器。
具体实施方式
[0024]下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0025]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0026]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种分子泵主轴攒量测量装置，其特征在于，包括：施压模块，具有放置分子泵的水平承载台（3），所述承载台（3）正上方设有可上下移动的压盘（4），所述压盘（4）的周向上具有垂直向外伸出的检测杆（5），所述压盘（4）用于对分子泵主轴（6）进行轴向施压；支撑架（1），具有相互垂直的第一支撑部(18)和第二支撑部（13），所述第一支撑部（18）具有保持水平的第一状态和保持竖直的第二状态；处于第一状态的第一支撑部（18）适于承载螺旋测微器（2），使所述螺旋测微器（2）竖直设置，所述螺旋测微器（2）用于测量所述检测杆（5）的竖直位移；处于第二状态的第一支撑部（18）适于放置在分子泵的顶面，所述第一支撑部（18）的长度值与分子泵主轴（6）的标准伸出量相等。2.根据权利要求1所述的分子泵主轴攒量测量装置，其特征在于，所述第一支撑部（18）为连接在所述第二支撑部（13）顶端的U形架，所述U形架用于承托所述螺旋测微器（2）的C尺架。3.根据权利要求2所述的分子泵主轴攒量测量装置，其特征在于，所述第一支撑部（18）的开口端处具有配重块（20），该配重块（20）用于在第一状态下支撑在分子泵的顶面处和在第二状态下稳定放置螺旋测微器（2）后的支撑架（1）重心。4.根据权利要求2所述的分子泵主轴攒量测量装置，其特征在于，所述第一支撑部（18）的背离所述第二支撑部（13）的一侧通过连杆连接有一端开口的托架（19），所述托架（19）与所述第一支撑部（18）平行且开口方向一致，所述螺旋测微器（2）的C尺架适于放置在所述第一支撑部（18）与所述托架（19）之间。5.根据权利要求1所述的分子泵主轴攒量测量装置，其特征在于，所述施压模块采用数显弹簧拉力试验机。6.根据权利要求5所述的分子泵主轴攒量测量装置，其特征在于，所述检测杆（5）通过螺栓螺接在所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：何跃，李赏，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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