【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及散射靶固定机构和电子自旋分析器,更具体地说,本专利技术涉及最好用于诸如电子材料分析器和磁性材料表面分析器之类的高效电子自旋分析器的散射靶固定机构和电子自旋分析器。就进行被20-60Kev加速的电子的自旋分析的小型电子自旋分析器而言,由于分析器内部空间较小,不易于更换散射靶。于是,在上述常规电子自旋分析器中,如果不把包括真空室的分析器设备主体拆开,取出分析器,则不能更换散射靶。另一方面,电子自旋分析器的分析性能取决于散射靶的厚度。对于电子自旋分析器的定量测定的计算来说,测量分析性能的靶厚度相关性是有用的。但是,常规的技术不易于更换散射靶,从而在上述常规分析器中,不能确保高的定量测定。本专利技术的目的是提供一种便于更换散射靶的新的散射靶固定机构,以及提供具有便于更换散射靶的散射靶固定机构的电子自旋分析器。为了实现上述目的,本专利技术涉及一种包含由导电材料制成的,固定散射靶的散射靶固定器,由绝缘材料制成的,绝缘支承散射靶固定器的绝缘支承器,以及把散射靶固定器和绝缘支承器导向设置散射靶的指定位置的导引件的散射靶固定机构,本专利技术还涉及一种包含电子束发生装置,与电子束发生装置的电子束射出孔相对的半球形加速电极,支承加速电极的电极支承件,位于加速电极外表面上的散射电子检测器,在电极支承件上形成的开孔中配置的散射靶,由导电材料制成的从加速电极和电极支承件形成的空间的外部固定散射靶的散射靶固定件,由绝缘材料制成的绝缘支承散射靶固定件的绝缘支承件,以及覆盖绝缘支承件的外围以便一起装上和取下散射靶、散射靶固定件和绝缘支承件的导引件的电子自旋分析器。根据本 ...
【技术保护点】
一种散射靶固定机构,包含由导电材料制成的、固定散射靶的散射靶固定器,由绝缘材料制成的、绝缘支承散射靶固定器的绝缘支承器,以及把散射靶固定器和绝缘支承器引向设置散射靶的指定位置的导引件。
【技术特征摘要】
JP 2000-4-28 130224/20001.一种散射靶固定机构,包含由导电材料制成的、固定散射靶的散射靶固定器,由绝缘材料制成的、绝缘支承散射靶固定器的绝缘支承器,以及把散射靶固定器和绝缘支承器引向设置散射靶的指定位置的导引件。2.一种电子自旋分析器,包含电子束发生装置,与电子束发生装置的电子束射出孔相对的半球形加速电极,支承加速电极...
【专利技术属性】
技术研发人员:武笠幸一,池田正幸,末岡和久,武藤征一,上远野久夫,上田映介,
申请(专利权)人:北海道大学,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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