连续多通道检测MO源浓度的装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的是提供一种连续多通道检测MO源浓度的装置，包括有至少四个源瓶，所有的源瓶共同通过进管路一连接有氮气缓冲罐；所有的源瓶通过测试阀共同连接有测试管路，测试管路末端连接有浓度测试仪，浓度测试仪连接有末端管路；所有的源瓶通过排出阀共同连接有旁通管路，旁通管路连接着缓冲罐；末端管路上连接有第一吸收罐和第二吸收罐，缓冲罐也连接在末端管路上；所有的源瓶与氮气缓冲罐之间还通过进管路二进行连接，进管路二连接有并联的流量计一和压力控制器。通过增加旁通管路与测试管路分开以达到连续测试的目的。路分开以达到连续测试的目的。路分开以达到连续测试的目的。

【技术实现步骤摘要】
连续多通道检测MO源浓度的装置


[0001]本专利技术涉及MO源领域，尤其涉及一种连续多通道检测MO源浓度的装置。

技术介绍

[0002]MO源 （metalorganic source）种类繁多，在研究和生产中使用过的MO源超过70多种， MO源概念已超出金属有机化合物的范围，现在MO源的含义应是：凡在MOCVD外延技术中作为基本材料使用的金属或元素有机化合物统称为MO源，因此MO源在外国文献中常笼统地称为“MOCVD的前体物（Precursor）”。
[0003]现有技术专利 CN103924214A公开了一种蒸汽输送MO源连续供应系统，通过设置MO源储存罐往MO源钢瓶充MO源气，两个装置都设置有液位探头，MO源储存罐加热，MO源钢瓶恒温，MO源储罐温度只要高于低温鼓泡器温度即可， 不需要精确控温；当MO源钢瓶液位高时， 便直接从MO源钢瓶内输出MO源；当MO源钢瓶处于低液位时，便采用MO源储存罐向MO源钢瓶输送MO源， 再从MO源钢瓶输出MO源，可连续使用。但是目前，MO源应用在客户端MOCVD机台上使用时，浓度的准确且稳定输出是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连续多通道检测MO源浓度的装置，包括有至少四个源瓶（1），所有的源瓶（1）共同通过进管路一（2）连接有氮气缓冲罐（3）；其特征在于：所有的源瓶（1）通过测试阀（4）共同连接有测试管路（5），测试管路（5）末端连接有浓度测试仪（6），浓度测试仪（6）连接有末端管路（7）；所有的源瓶（1）通过排出阀（26）共同连接有旁通管路（8），旁通管路（8）连接着缓冲罐（9）；末端管路（7）上连接有第一吸收罐（10）和第二吸收罐（11），缓冲罐（9）也连接在末端管路（7）上；所有的源瓶（1）与氮气缓冲罐（3）之间还通过进管路二（12）进行连接，进管路二（12）连接有并联的流量计一（13）和压力控制器（14）。2.如权利要求1所述连续多通道检测MO源浓度的装置，其特征在于：所述氮气缓冲罐（3）的进气端连接有气体纯化器（15）。3.如权利要求1所述连续多通道检测MO源浓度的装置，其特征在于：所述第一吸收罐（10）底部设置有电子秤（16）。4.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑锐，彭真，王宏波，俞冬雷，
申请(专利权)人：安徽亚格盛电子新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：