平面型显示装置的平整处理方法及平面型显示装置用基板的平整处理方法制造方法及图纸

一种平面型显示装置的平整处理方法，在该平面型显示装置中，将设有第１电极的第１基板和设有第２电极的第２基板配置成中间夹有真空空间，并将第１基板和第２基板在其周缘部粘合，在该平整处理方法中，以脉冲形式对第１电极施加高于第２电极的电压Ｖ＃－［１］，并使存在于第１电极上的凸起部进行电场蒸发。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
作为取代当前流行的阴极射线管(CRT)的图象显示装置，正在研制着各种平面型(平板式)的显示装置。作为这种平面型的显示装置，例如可以举出液晶显示装置(LCD)、电致发光显示装置(ELD)、等离子体显示装置(PDP)。此外，还提出了一种无需热的激励即可从固体向真空中发射电子的冷阴极场致电子发射型的显示装置、即所谓的场致发射显示器(FED)，从画面的亮度及低的耗电量的观点来看极为引人注目。在图7中示出冷阴极场致电子发射显示装置(以下，有时简称为显示装置)的典型结构例，在图8中示出阴极板10及阳极板20的一部分的示意分解斜视图。在这种显示装置中，阴极板10和阳极板20相对配置。阴极板10和阳极板20，在各自的周缘部，通过图中未示出的框体相互粘合，并使两个板10、20之间的封闭空间为真空空间。阴极板10，备有多个作为电子发射体的冷阴极场致电子发射元件(以下，有时简称为场致发射元件)。在图7中，作为电子发射元件的一例，示出具有由圆锥形电子发射电极16A构成的电子发射部16的所谓锥(スピ ント、Spindt)型场致发射元件。锥型场致发射元件，由在第1支承体11上形成的带状阴电极12、绝缘层13、在绝缘层13上形成的带状栅电极14、在栅电极14及绝缘层13上所设有的开口部15内形成的圆锥形的电子发射电极16A构成。通常，使多个电子发射电极16A与一个后文所述的荧光体层22对应设置。从阴电极驱动电路25通过阴电极12对电子发射电极16A施加相对为负的电压(扫描信号)，从栅电极驱动电路26对栅电极14施加相对为正的电压(视频信号)。借助于通过施加这些电压而生成的电场，根据量子隧道效应而从电子发射电极16A的前端发射电子。另外，作为电子发射元件，不限于如上所述的锥型场致发射元件，有时也可以采用所谓刃型或平面型等各种形式的场致发射元件。另一方面，阳极板20，由在以玻璃等构成的第2支承体21上按矩阵状或带状形成的多个荧光体层22(荧光体层22R、22G、22B)、埋设在荧光体层22和荧光体层22之间的黑底23、在荧光体层22及黑底23的整个表面上形成的阳电极24构成。从阳电极驱动电路27对阳电极24施加比对栅电极14施加的正电压高的正电压，阳电极24，起着将从电子发射电极16A向真空空间发射的电子导向荧光体层22的作用。此外，阳电极24，还具有保护构成荧光体层22的荧光体粒子使其免受离子等粒子的溅射同时将因电子激励而从荧光体层22发出的光反射到第2支承体21从而提高从第2支承体21的外侧观察的显示画面的亮度的功能。阳电极24，例如由铝膜构成。一般地说，阴电极12和栅电极14，分别沿着使这两个电极12、14的投影图象相互正交的方向按带状形成，在这两个电极12、14的投影图象重叠的重叠区域(相当于单色显示装置的1个象素的区域或彩色显示装置的构成1个象素的3个子象素中的1个子象素的区域)上，通常排列着多个场致发射元件。另外，上述重叠区域，按二维矩阵状配置在阴极板10的有效区域(实际起显示画面作用的区域)内。1个象素，由配置在阴极板侧的阴电极12和栅电极14的重叠区域内的一群场致发射元件和与这一群场致发射元件彼此相对的阳极板侧的荧光体层22构成。在有效区域内，例如以数十万～数百万个的数量级排列着这些象素。将形成了多个上述场致发射元件的阴极板10和阳极板20组合后，可以得到图7、图8所示的显示装置。具体地说，例如，准备一个由陶瓷或玻璃制作的高约1mm的框体(图中未示出)，并将框体、阴极板10和阳极板20例如用熔结玻璃粘合，在使熔结玻璃干燥后，在大约450℃下焙烧10～30分钟即可。在这之后，将显示装置内部抽至10-4Pa左右的真空度，并用适当的方法密封。或者，例如，也可以在高真空气氛中进行框体、阴极板10和阳极板20之间的粘合。另外，根据显示装置的结构，也可以不使用框体而将阴极板10和阳极板20粘合。阴极板10和阳极板20之间的间隙，为0.1mm～1mm左右。对阳极板20的阳电极24施加高电压(例如，5kV)。在这种显示装置中，在阴极板10上所设有的栅电极14与阳极板20上所设有的阳电极24之间有时发生放电，因而在某些情况下将对图象的显示质量造成严重的损害。或将缩短显示装置的寿命。真空空间中的放电的发生机理，可以认为是，首先，由在强电场下从电子发射电极16A发射的电子或离子激发放电，通过从阳电极驱动电路27对阳电极24供给能量而使阳电极24的温度局部上升，并使阳电极24内部的包藏气排出、或使构成阳电极24的材料本身蒸发，从而使小规模的放电发展为大规模的放电(例如，火花放电)。为了抑制阳电极24和栅电极14之间的放电，一种有效的方法是抑制激发放电的电子或离子的发射，但为此需要极为严格的粒子控制。另外，重要的是，在阳电极、栅电极和阴电极等上不存在构成放电起始点的凸起部。但是，为了在显示装置的制造工序中执行上述的粒子控制、或为使各种电极上不存在凸起部而管理显示装置的制造工序，都存在着极大的技术困难。在阴极射线管中，如在构成电子透镜的各栅电极等上存在尖锐的凸起部分，则当阴极射线管工作时，有时会发生异常放电。为防止这种异常放电，在阴极射线管的制造过程中，要进行平整处理。在该平整处理中，使各栅电极等的尖锐凸起部分之类的易于发生放电的部分预先进行放电，从而使凸起部分等熔化而将其除去。但是，尽本专利技术者所知，还没有将上述阴极射线管制造中的平整处理这样的处理应用于冷阴极场致电子发射显示装置制造的例。另外，冷阴极场致电子发射显示装置完成后，为使阴极端部的曲率半径均匀一致，由专利第3094459号公报公开了一种对阴极施加规定电压并从阴极的端部开始进行电场蒸发的技术，但在该公报中没有提及平整处理技术。因此，本专利技术的目的在于，提供一种在平面型显示装置完成后或平面型显示装置制造中(平面型显示装置组装前)有效地将可能构成放电起始点的凸起部从构成平面型显示装置的各种电极除去的方法。专利技术的公开用于达到上述目的本专利技术第1形态的平面型显示装置的平整处理方法(以下，有时称为本专利技术第1形态的平整处理方法)，涉及平面型显示装置完成后的平整处理方法，在该平面型显示装置中，将设有第1电极的第1基板和设有第2电极的第2基板配置成中间夹有真空空间，并将第1基板和第2基板在其周缘部粘合，该平整处理方法的特征在于对第1电极分段施加高于第2电极的电压V1，并使存在于第1电极上的凸起部进行电场蒸发。这里，所谓电场蒸发，指的是当在凸起部上施加强的正电压时使凸起部表面的原子变为正离子而蒸发的现象，是因表面的原子在强电场的作用下离子化并向真空空间中飞出引起的。另外，在分段施加电压V1的形态中，包括一边按阶梯状增加一边施加电压V1的形态、一边以单调增加的方式增加一边施加电压V1的形态。在本专利技术第1形态的平整处理方法中，可以采用首先实施本专利技术第1形态的平整处理方法、接着将第1基板和第2基板交换并再次实施本专利技术第1形态的平整处理方法的形态。或者，也可以采用在完成对第1电极施加高于第2电极的电压V1的第1电压施加工序后执行对第2电极施加高于第1电极的电压V2并使存在于第2电极上的凸起部进行电场蒸发的第2电压施加工序、然后将高于电压V1的电压设定为新的电压V1、将高于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平面型显示装置的平整处理方法，在该平面型显示装置中，将设有第１电极的第１基板和设有第２电极的第２基板配置成中间夹有真空空间，并将第１基板和第２基板在其周缘部粘合，该平整处理方法的特征在于：对第１电极分段施加高于第２电极的电压Ｖ↓［１］，并使存在于第１电极上的凸起部进行电场蒸发。

【技术特征摘要】
JP 2001-3-7 63365/011.一种平面型显示装置的平整处理方法，在该平面型显示装置中，将设有第1电极的第1基板和设有第2电极的第2基板配置成中间夹有真空空间，并将第1基板和第2基板在其周缘部粘合，该平整处理方法的特征在于对第1电极分段施加高于第2电极的电压V1，并使存在于第1电极上的凸起部进行电场蒸发。2.根据权利要求1所述的平面型显示装置的平整处理方法，其特征在于在完成对第1电极施加高于第2电极的电压V1的第1电压施加工序后，执行对第2电极施加高于第1电极的电压V2并使存在于第2电极上的凸起部进行电场蒸发的第2电压施加工序，然后，将高于电压V1的电压设定为新的电压V1、将高于电压V2的电压设定为新的电压V2并反复进行第1电压施加工序和第2电压施加工序。3.根据权利要求2所述的平面型显示装置的平整处理方法，其特征在于电压V1的值与电压V2的值相等。4.根据权利要求1所述的平面型显示装置的平整处理方法，其特征在于平面型显示装置，是冷阴极场致电子发射显示装置，冷阴极场致电子发射显示装置的阴极板所备有的阴电极及栅电极，相当于设在第1基板上的第1电极，冷阴极场致电子发射显示装置的阳极板所备有的阳电极，相当于设在第2基板上的第2电极。5.根据权利要求1所述的平面型显示装置的平整处理方法，其特征在于平面型显示装置，是冷阴极场致电子发射显示装置，冷阴极场致电子发射显示装置的阴极板所备有的阴电极、栅电极及会聚电极，相当于设在第1基板上的第1电极，冷阴极场致电子发射显示装置的阳极板所备有的阳电极，相当于设在第2基板上的第2电极。6.根据权利要求1所述的平面型显示装置的平整处理方法，其特征在于平面型显示装置，是冷阴极场致电子发射显示装置，冷阴极场致电子发射显示装置的阳极板所备有的阳电极，相当于设在第1基板上的第1电极，冷阴极场致电子发射显示装置的阴极板所备有的阴电极及栅电极，相当于设在第2基板上的第2电极。7.根据权利要求1所述的平面型显示装置的平整处理方法，其特征在于平面型显示装置，是冷阴极场致电子发射显示装置，冷阴极场致电子发射显示装置的阳极板所备有的阳电极，相当于设在第1基板上的第1电极，冷阴极场致电子发射显示装置的阴极板所备有的阴电极、栅电极及会聚电极，相当于设在第2基板上的第2电极。8.一种平面型显示装置的平整处理方法，在该平面型显示装置中，将设有第1电极的第1基板和设有第2电极的第2基板配置成中间夹有真空空间，并将第1基板和第2基板在其周缘部粘合，该平整处理方法的特征在于以脉冲形式对第1电极施加高于第2电极的电压V1，并使存在于第1电极上的凸起部进行电场蒸发。9.根据权利要求8所述的平面型显示装置的平整处理方法，其特征在于在完成对第1电极施加高于第2电极的脉冲形的电压V1的脉冲电压施加工序后，执行对第2电极施加高于第1电极的电压V2并检测在第1电极和第2电极之间流过的电流的电流检测工序。10.根据权利要求9所述的平面型显示装置的平整处理方法，其特征在于当在第1电极和第2电极之间流过的电流达到规定值或其以下时，将高于电压V1的电压设定为新的电压V1、将高于电压V2的电压设定为新的电压V2并反复进行脉冲电压施加工序和电流检测工序。11.根据权利要求10所述的平面型显示装置的平整处理方法，其特征在于当可以使电压V2相当于平面型显示装置的实际动作电压VOP时，将高于电压V1的电压设定为新的电压V1、将电压V2设定为与实际动作电压VOP相当的值，并反复进行脉冲电压施加工序和电流检测工序，直到在第1电极和第2电极之间流过的电流达到规定值或其以下为止。12.根据权利要求8所述的平面型显示装置的平整处理方法，其特征在于平面型显示装置，是冷阴极场致电子发射显示装置，冷阴极场致电子发射显示装置的阴极板所备有的阴电极及栅电极，相当于设在第1基板上的第1电极，冷阴极场致电子发射显示装置的阳极板所备有的阳电极，相当于设在第2基板上的第2电极。13.根据权利要求8所述的平面型显示装置的平整处理方法，其特征在于平面型显示装置，是冷阴极场致...

【专利技术属性】
技术研发人员：小西守一，饭田耕一，
申请(专利权)人：索尼公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]