微机电系统惯性器件的惯性测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种微机电系统器件的惯性测试装置，其包括：离心机，其包括离心机转轴和离心机样品台，离心机转轴受控转动；离心机样品台固定于离心机转轴的一端；三轴定位基座，其固定于离心机样品台上；测试板，其用于放置参考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件，测试板可拆卸的固定于三轴定位基座的不同面，以实现对放置于所述测试板上的惯性器件在三个轴上运动方向的切换；上位机，其与离心机通信连接，以控制离心机转轴转动；上位机与测试板通信连接，当离心机转轴受控转动时，参考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件输出实际测量的加速度数据至上位机。与现有技术相比，本发明专利技术可以对微机电系统惯性器件进行高精度、高效率的的测试。高效率的的测试。高效率的的测试。

【技术实现步骤摘要】
微机电系统惯性器件的惯性测试装置


[0001]本专利技术涉及微机电系统器件的测试
，尤其涉及一种微机电系统惯性器件的惯性测试装置。

技术介绍

[0002]MEMS器件，是指具有微机电系统(Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，MEMS)，且尺寸仅有几毫米乃至更小的高科技电子机械器件，其加工工艺融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工技术。目前，MEMS器件应用领域相当广泛，常见的产品例如MEMS加速度计、MEMS麦克风、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器、MEMS红外热电堆传感器。对于惯性测量器件(例如三轴加速度计、六轴陀螺仪)，可以采用离心机提供器件所需加速度，再通过采集传感器输出的测量数据来对一些惯性量指标进行测试分析。但是，目前的测试系统的架构方式一般为：器件放置于离心机上，利用无线采集模块将器件运动时产生的惯性量数据传输至上位机进行处理。采用无线通讯的方式虽然最大程度避免本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微机电系统器件的惯性测试装置，其特征在于，其包括：离心机，其包括离心机转轴和离心机样品台，所述离心机转轴受控转动；所述离心机样品台固定于所述离心机转轴的一端，由所述离心机转轴带动同步转动；三轴定位基座，其固定于所述离心机样品台上；测试板，其用于放置参考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件，所述测试板可拆卸的固定于所述三轴定位基座的不同面，以实现对放置于所述测试板上的惯性器件在三个轴上运动方向的切换；上位机，其与所述离心机通信连接，以控制所述离心机转轴转动；所述上位机还与所述测试板通信连接，当所述离心机转轴受控转动时，放置于所述测试板上的所述参考惯性器件和所述若干待测微机电系统惯性器件输出实际测量的加速度数据至所述上位机。2.根据权利要求1所述的微机电系统器件的惯性测试装置，其特征在于，所述参考惯性器件预知特性曲线；所述上位机基于其接收到的所述参考惯性器件输出的实际测量的加速度数据来判断当前采集到的待测微机电系统惯性器件的加速度数据的稳定性，以实现对所述待测微机电系统惯性器件加速度数据的可靠筛选。3.根据权利要求2所述的微机电系统器件的惯性测试装置，其特征在于，所述测试板包括测试顶板和与所述测试顶板相对的测试底板，所述测试底板用于放置参考惯性器件，所述参考惯性器件与所述测试板电连接；所述测试顶板用于放置若干待测微机电系统惯性器件，所述若干待测微机电系统惯性器件与所述测试板电连接。4.根据权利要求3所述的微机电系统器件的惯性测试装置，其特征在于，所述测试板为PCB测试板，其包括PCB测试顶板和PCB测试底板，所述PCB测试顶板和PCB测试底板为分别独立的PCB板，这两块PCB板相互叠置固定在一起合成为所述PCB测试板；或所述测试板为PCB测试板，其包括PCB测试顶板和PCB测试底板，所述PCB测试顶板和PCB测试底板集成在所述PCB测试板上，所述PCB测试板的顶层面为所述PCB测试顶板，所述PCB测试板的底层面为PCB测试底板。5.根据权利要求3所述的微机电系统器件的惯性测试装置，其特征在于，所述参考惯性器件固定于所述测试板的测试底板的中心，并和所述离心机转轴的轴心对正；所述若干待测微机电系统惯性器件固定于所述测试板的测试顶板上，且所述若干待测微机电系统惯性器件靠近所述参考惯性器件的竖直中心线。6.根据权利要求3所述的微机电系统器件的惯性测试...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯亮，林武，李妍君，金羊华，
申请(专利权)人：美新半导体天津有限公司，
类型：发明
国别省市：