一种束流引出测量工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种束流引出测量工装，包括：绝缘层上部，所述绝缘层上部的内壁紧密贴合有绝缘层下部，同时所述绝缘层上部和绝缘层下部的材质均为六方氮化硼化学材质；法拉第筒，所述法拉第筒和屏蔽层之间安装设置有绝缘层上部和绝缘层下部，同时所述法拉第筒和屏蔽层的左端部的开口均为圆角处理设置；绝缘支架，所述绝缘支架安装设置在屏蔽层的外表面，且绝缘支架所采用的材质为六方氮化硼化学材质。该束流引出测量工装，引出极使用脉冲高压，避免真空击穿；以及无机非金属绝缘材料六方氮化硼的使用能带走累积的电荷，提高测量组件的耐压能力；同时在法拉第筒外围添加地电位的金属屏蔽层可以减少因脉冲电压产生的感应电流。属屏蔽层可以减少因脉冲电压产生的感应电流。属屏蔽层可以减少因脉冲电压产生的感应电流。

【技术实现步骤摘要】
一种束流引出测量工装


[0001]本技术涉及束流引出测量工装相关
，具体为一种束流引出测量工装。

技术介绍

[0002]直流高压引出极与处于地电位的阳极筒形成电场，该电场的方向由引出极指向阳极筒，离子源的负离子在电场的作用下从阳极筒中引出形成束流通过引出极，束流通过引出极后，由于法拉第筒电位与引出极相同，因此，束流会漂移运动至法拉第筒中，通过法拉第筒与高压引出极之间设置的微安表，可以测得引出束流的强度。
[0003]但是，以上
技术介绍
使用的正高压会发生击穿现象，该现象的产生主要有两种原因，一是空间中束缚的电荷导致的真空击穿，由于采用正高压引出束流，在引出过程中不可避免的会引出大量的电子，这些电子将会在空间中残留，为空间气体电离提供种子电子，同时，正高压引出电极会在真空腔的上下盖板之间形成潘宁势阱结构，随着空间中气体电离的参与，这些种子电子的增殖会增强，最终导致真空击穿；二是有机绝缘材料上累积的电荷过多，所以在
技术介绍
中，使用高于10kV的高压时就会出现打火情况，无法使用更高的电压进行引出和测量，为此我们提出了一种束流引出测量工装，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种束流引出测量工装，其特征在于：包括：绝缘层上部（1），所述绝缘层上部（1）的内壁紧密贴合有绝缘层下部（2），同时所述绝缘层上部（1）和绝缘层下部（2）的材质均为六方氮化硼化学材质；法拉第筒（3），所述法拉第筒（3）和屏蔽层（5）之间安装设置有绝缘层上部（1）和绝缘层下部（2），同时所述法拉第筒（3）和屏蔽层（5）的左端部的开口均为圆角处理设置；绝缘支架（7），所述绝缘支架（7）安装设置在屏蔽层（5）的外表面，且绝缘支架（7）所采用的材质为六方氮化硼化学材质。2.根据权利要求1所述的一种束流引出测量工装，其特征在于：所述法拉第筒（3）的左侧对应设置有高压引出极（6），同时所述高压...

【专利技术属性】
技术研发人员：石金水，马瑞利，陈宇航，王丹，张晨，
申请(专利权)人：四川玖谊源粒子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：