Ｘ射线管以及包含其的Ｘ射线源制造技术

本发明专利技术涉及一种Ｘ射线管及包含其的Ｘ射线源，为了产生Ｘ射线，该Ｘ射线管具备用于有效地抑制被电子照射的阳极的前端部的放电的构造。本发明专利技术的Ｘ射线管（１Ａ）具备，规定将阳极（５）的前端部收纳的内部空间的头部、用于使产生的Ｘ射线透过到外部的照射窗、设在框体的内壁面上且用于对内部空间抽真空的排气口（１７）、以及对阳极的前端部隐藏排气口的遮蔽构造（２５）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及将内部产生的x射线取出到外部的x射线管，以及该X射线管与电源部一体地构成的X射线源。
技术介绍
X射线是对物体具有良好的透过性的电磁波，大多用于物体的内部构造的非破坏/非接触的观察。目前，作为可以适用于这种领域的x射线照射装置，已知有以下专利文献1所述的x射线管。该专利文献 1所述的X射线管的X射线产生部，具备将标耙(target)收纳的筒状 框体。在该框体上安装有与内部空间连通的排气管(参照专利文献1 的图4)。在制造X射线管时，框体的内部空间经由该排气管被抽成真 空。接着，在抽成真空后，该排气管被封闭，收纳有标靶的内部空间 成为真空状态(减压至规定的真空度的状态)。 专利文献1:美国专利第6229876号
技术实现思路
专利技术者们对已知的X射线管进行研究，结果发现以下的问题。艮口， 已知的x射线管中，在安装有排气管的框体的内壁面上，形成有用于抽真空的排气口，在排气口的缘部即与框体内壁面的边界，存在着前端锐利的角部。驱动x射线管时，在框体与阳极间产生高电位差，这时，该角部的影响使得在框体和阳极之间的电场有可能紊乱。所以， 因排气口的形成而必然形成的角部的存在，使得在框体和阳极的前端部之间产生放电的可能性升高。但是，已知的x射线管中，并没有采 取用于抑制这样的放电的对策，这样的放电有可能使得x射线输出不禾急定。本专利技术是为了解决上述问题而提出的，目的在于提供一种x射线 管以及包含其的x射线源。为了产生x射线，该x射线管具备用于有效地抑制被电子照射的阳极的前端部的放电的构造。本专利技术涉及的X射线管，通过使从电子枪出射的电子入射到阳极 的X射线标靶，从而向外部照射在该X射线标耙产生的X射线。该X 射线管具备，框体、设该框体上的照射窗(X射线出射窗)、排气口、 以及遮蔽构造。框体规定收纳被电子照射的阳极的前端部的内部空间。为了将在X射线标靶产生的X射线取出至框体的外部，照射窗被设在规定内部空间的框体上。排气口，用于对内部空间抽真空，被设在框 体的内壁面上。尤其是遮蔽构造，以对阳极前端部隐藏排气口的方式 被设在框体的内部空间。在此，作为第1实施方式，优选上述遮蔽构造包括遮蔽构件，该 遮蔽构件具有面对阳极的前端部的内侧面和与该内侧面相对的外侧 面，并由导电性材料形成。具有上述构造的x射线管中，在框体的内壁面上设有排气口。所以，形成有前端锐利的角部作为该排气口的缘部和框体内壁面的边界。因此，该x射线管中，设有，由遮蔽构件对阳极的前端部隐藏排气口 的构造。因此，该x射线管中，驱动时的阳极和排气口的缘部之间的电场的紊乱被缓和，阳极的前端部的放电被有效地抑制。另外，为了有效地起到上述作用，优选遮蔽构件在从框体的排气 口侧的内壁面离开规定距离的状态下，被配置在阳极的前端部和排气 口之间。此外，优选面对阳极的前端部的遮蔽构件的至少内侧面具有 比排气口的开口面积大的面积。根据这样的构成，可以可靠地覆盖排气口的缘部(前端锐利的角部)。另外，制造x射线管时，可以以遮蔽构件和排气口侧的内壁面之间的间隙作为空气的通道而进行内部空间 的抽真空。遮蔽构件，在从框体的照射窗侧内壁面离开规定距离的状态下，也可以被配置在内部空间。根据这样的构成，在制造x射线管时，可以以遮蔽构件和照射窗侧的内壁面之间的间隙作为空气的通道而进行 内部空间的抽真空。遮蔽构件上，可以设有将面对阳极的前端部的内侧面和与该内侧面相对的外侧面连通的多个贯通孔。该情况下，在制造x射线管，对内部空间抽真空时，这些贯通孔成为来自内部空间的空气的通道，因而可以效率良好地进行抽真空。遮蔽构件，可以为从框体的内壁面向内部空间延伸的该框体的一 部分。该情况下，面对阳极的前端部的遮蔽构件的内侧面与该一部分 的内壁面一致。根据该构成，可以使遮蔽构件的表面和框体的内壁面 光滑地连接。所以，电场的紊乱能够被缓和，阳极的前端部的放电能 够被抑制。遮蔽构件具有分别连通内侧面和外侧面的多个贯通孔，并被配置 为，面对阳极的前端部的该内侧面与框体的内壁面一致。该情况下， 由于排气口被遮蔽构件堵塞，因而，在该遮蔽构件上必须具有作为抽 真空时的空气通道的多个贯通孔。根据这样的X射线管，由于堵塞排 气口的遮蔽构件形成为，与形成有排气口的框体的内壁面成为同一个 面，因而，在排气口的缘部不存在前端锐利的角部，阳极的前端部和 排气口之间的电场的紊乱被缓和。结果，阳极前端部的放电被有效地 抑制。而且，由于在遮蔽构件上形成的多个连通孔成为空气的通道， 因而制造时可以无碍地进行内部空间的抽真空。另外，本专利技术涉及的X射线管中，上述遮蔽构造可以由与上述第 1实施方式不同的第2实施方式实现。具体而言，框体由第1阳极收容 部和第2阳极收容部构成，而且，在框体内部空间可以配置有内筒构 件作为遮蔽构造。并且，第1阳极收容部是包围阳极的前端部的由导 电性材料形成的中空构件，在其内壁面上设置有排气口，并具有照射窗。第2阳极收容部，通过与第1阳极收容部接合，从而与该第1阳 极收容部共同规定用于收纳阳极的内部空间。第2实施方式的遮蔽构造即内筒构件是在框体的内部空间以至少包围阳极的前端部的方式而 被配置的中空构件，通过在从第1阳极收容部的内壁面离开规定距离 的状态下，其一部分位于该第1阳极收容部的内壁面和阳极的前端部 之间，从而发挥出对阳极的前端部隐藏排气口的功能。如上所述地具有第2实施方式的遮蔽构造的X射线管中，设在第 1阳极收容部的内壁面的排气口，由至少一部分位于阳极的前端部和第 1阳极收容部的内壁面之间的内筒构件而对阳极的前端部隐藏。所以， 该X射线管中，即使出现角部作为排气口的缘部和第1阳极收容部的 内壁面的边界的情况下，通过内筒构件，缓和了驱动时的阳极和排气口的缘部之间的电场的紊乱。此外，阳极的前端部的放电被有效地抑 制，结果抑制了该X射线管的X射线输出的不稳定化。而且，制造X 射线管时，可以以内筒构件和第1阳极收容部的内壁面之间的间隙作 为空气的通道而进行内部空间的抽真空。作为第2实施方式的遮蔽构造，即使在采用上述的内筒构件的情 况下，也优选在该内筒构件的端部和第1阳极收容部的照射窗侧内壁 面之间形成有间隙。根据该构成，X射线管制造时，可以以内筒构件 和第1阳极收容部的照射窗侧的内壁面之间的间隙作为空气的通道而 进行内部空间的抽真空。另外，在内筒构件上，优选至少在位于第1阳极收容部的内壁面 和阳极的前端部之间的部分设有多个贯通孔。该情况下，在进行制造 时的内部空间的抽真空时，由于这些贯通孔本身成为来自内部空间的 空气的通道，因而可以效率良好地进行内部空间的抽真空。本专利技术涉及的X射线管中，优选第1阳极收容部具有由导电性材 料形成的头部，第2阳极收容部具有由绝缘性材料形成的壳体部、以及接合于该真空管的端部并接合于第1阳极收容部的头部的由导电性材料形成的连接部。这样的构成中，内筒构件具有在内部空间内向第2 阳极收容部侧延伸的形状，从而对阳极隐藏真空管和连接部的接合部 分。即，该X射线管中，电绝缘性材料的真空管和导电性材料的连接 部的接合部分，在其和阳极之间比较容易产生放电。在此，该X射线 管中，通过采用上述构造的内筒构件，从而对阳极隐藏接合部分。因 此，接合部分和阳极之间的电场的紊乱被缓和，接合部分和阳极之间 的放电能够本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种Ｘ射线管，使从电子枪出射的电子入射到位于阳极的前端部的Ｘ射线标靶，将在该Ｘ射线标靶所产生的Ｘ射线取出到外部，其特征在于，包括：框体，规定收纳所述阳极的前端部的内部空间；照射窗，设在所述框体上，将在所述Ｘ射线标靶所产生的Ｘ射线取出到所述框体的外部；排气口，设在面对所述阳极的所述框体的内壁面的规定位置，用于对所述内部空间抽真空；以及遮蔽构造，设在所述框体的内部空间，用于对所述阳极的前端部隐藏所述排气口。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2005-10-7 295732/2005;JP 2005-10-7 295730/20051.一种X射线管，使从电子枪出射的电子入射到位于阳极的前端部的X射线标靶，将在该X射线标靶所产生的X射线取出到外部，其特征在于，包括框体，规定收纳所述阳极的前端部的内部空间；照射窗，设在所述框体上，将在所述X射线标靶所产生的X射线取出到所述框体的外部；排气口，设在面对所述阳极的所述框体的内壁面的规定位置，用于对所述内部空间抽真空；以及遮蔽构造，设在所述框体的内部空间，用于对所述阳极的前端部隐藏所述排气口。2. 根据权利要求1所述的X射线管，其特征在于， 所述遮蔽构造包括遮蔽构件，所述遮蔽构件具有面对所述阳极的前端部的内侧面和与该内侧面相对的外侧面，并由导电性材料形成。3. 根据权利要求2所述的X射线管，其特征在于， 所述遮蔽构件，在从所述框体的内壁面离开规定距离的状态下，被配置在所述阳极的前端部和所述排气口之间，并且，所述遮蔽构件的至少内侧面具有比所述排气口的开口面积大的面积。4. 根据权利要求2或3所述的X射线管，其特征在于， 所述遮蔽构件，在从所述框体的内壁面中所述照射窗侧的区域离开规定距离的状态下，被配置在所述阳极的前端部和所述排气口之间。5. 根据权利要求2 4中的任意一项所述的X射线管，其特征在于， 所述遮蔽构件具有分别连通所述内侧面和所述外侧面的多个贯通孔。6. 根据权利要求2 5中的任意一项所述的X射线管，其特征在于，所述遮蔽构件，包含从所述框体的内壁面延伸至内部空间的该框 体的一部分。7. 根据权利要求2所述的X射线管，其特征在于， 所述遮蔽构件具有分别连通所述内侧面和所述外侧面的多个贯通孔，并且，所述遮蔽构件被配置为，面对所述阳极的前端部的所述遮蔽构件 的内侧面与所述框体的内壁面一致。8. 根据权利要求1所述的X射线管，其特征在于，所述框体是包围所述阳极的前端部的由导电性材料形成的中空构件，具有第1阳极收容部，在其内壁面上设置有所述排气口，并具有所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：稻鹤务，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]