一种紧凑型超高温加热台及高温加热设备制造技术

本发明专利技术公开了一种紧凑型超高温加热台及设备，该超高温加热台包括安装法兰、两根支撑杆和样品台，每根支撑杆的一端连接样品台，另一端固定在安装法兰上；样品台内置加热源，以对样品台上的样品加热；每根支撑杆的内部中空而形成冷却液通道，样品台内开设有同时连通两个冷却液通道的空腔，两根支撑杆的伸出安装法兰的端部分别为冷却液的进口和出口。本发明专利技术的支撑杆兼做水冷管，利用其将样品台固定在安装法兰上的同时，还提供冷却液的传输通道，使得超高温的样品台可以安装在尺寸更小的法兰基座上，有利于提高结构的紧凑性。与此同时，本发明专利技术还采用电子束反射聚焦结构，提高了加热效率，实现达到2000K高温指标的同时满足CF35等小尺寸法兰安装的要求。小尺寸法兰安装的要求。小尺寸法兰安装的要求。

【技术实现步骤摘要】
一种紧凑型超高温加热台及高温加热设备


[0001]本专利技术涉及超高真空设备
，尤其涉及一种紧凑型超高温加热台及高温加热设备。

技术介绍

[0002]高温加热设备是超高真空设备中一种常用的加热装置，可以用来给单晶或者薄膜样品进行加热除气或者退火。某些特殊的单晶，比如Mo(111)等要在较高的退火温度下(约2000K)才能实现样品的加热退火，以获得平整清洁的表面，用于进一步的科学研究。
[0003]为了达到更高的温度，良好的水冷设计是关键。为保证水冷效果，常规的超高温加热台虽然可以用较粗的水冷管通更大的水流量，但是由于水冷管周围布置有支撑柱或支撑环，也导致超高温台体积上的臃肿，这类常规的超高温加热台一般安装在体积较大的CF63法兰基座(300)上，例如，德国Specs公司有一款在售的超高温加热台正是采用这种设计，虽然具备功能性，但是空间消耗大，在空间有限的高温加热设备内的使用便利性较差。

技术实现思路

[0004]鉴于现有技术存在的不足，本专利技术提供了一种紧凑型超高温加热台及高温加热设备，可以在较小的法兰基座上实现本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种紧凑型超高温加热台，其特征在于，包括安装法兰(10)、两根支撑杆(20)和样品台(30)，每根所述支撑杆(20)的一端连接所述样品台(30)，另一端固定在所述安装法兰(10)的正面且轴向贯穿所述安装法兰(10)；所述样品台(30)内置加热源(31)，以对所述样品台(30)上的样品加热；每根所述支撑杆(20)的内部中空而形成冷却液通道，所述样品台(30)内开设有同时连通两个所述冷却液通道的空腔，两根所述支撑杆(20)的伸出所述安装法兰(10)的端部分别为冷却液的进口(20a)和出口(20b)。2.根据权利要求1所述的紧凑型超高温加热台，其特征在于，所述样品台(30)的用于放置样品的样品承载面垂直于所述安装法兰(10)。3.根据权利要求2所述的紧凑型超高温加热台，其特征在于，所述样品台(30)的朝向所述安装法兰(10)的一端开设有两个插孔，所述插孔与所述空腔连通，两根所述支撑杆(20)分别穿设于两个所述插孔内。4.根据权利要求2所述的紧凑型超高温加热台，其特征在于，所述样品台(30)包括基座(300)和基座(300)上用于放置样品的样品托(32)，所述基座(300)上开设有与所述空腔隔开的安装槽，所述加热源(31)设于所述安装槽内，所述样品托(32)可拆卸地盖设于所述安装槽的开口上。5.根据权利要求4所述的紧凑型超高温加热台，其特征在于，所述样品台(30)还包括弹片(33)，两个所述弹片(33...

【专利技术属性】
技术研发人员：李浩，丁丁，魏伟，龚忠苗，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：