【技术实现步骤摘要】
闸阀
[0001]本专利技术涉及一种将阀板由连结螺钉装拆自由地连结在阀杆的前端的闸阀。
技术介绍
[0002]在半导体处理装置中，作为通向真空腔的开口的开闭使用闸阀。此闸阀以如下的方式构成：将安装在阀杆的前端的阀板收容在阀箱内，将此阀箱安装在真空腔中，由阀板开闭形成在阀箱的侧壁上的开口。此时，开口的封闭，通过将安装阀板上的密封部件推压到开口的周围的阀座上来进行。
[0003]在这样的闸阀中，因为密封部件随着其使用逐渐劣化，所以需要在劣化了的阶段更换成新的密封部件。在该情况下，以往因为必须在将闸阀从真空腔卸下后，将阀板从阀杆卸下从阀箱取出，然后进行密封部件的更换，所以在更换中需要多的劳力和时间。因此，为了简单且迅速地进行密封部件的更换，希望能将阀板从阀杆简单且迅速地卸下的闸阀的出现。
[0004]在专利文献1中，公开了一种闸阀，其能将闸阀安装在真空腔中不变地将阀板从阀杆卸下从阀箱取出。此改良型的闸阀是如下的结构:将阀杆的上端部插入形成阀板的下面上的安装孔内，并通过将连结螺钉穿过形成在阀板上的螺钉穿插孔拧入形成在...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种闸阀，通过将连结螺钉穿过形成在阀板上的螺钉穿插孔与沿杆轴线形成在阀杆的前端的螺纹孔进行螺纹连接，可将阀板和阀杆连结成沿杆轴线卸下，其特征在于，阀板具有与连结螺钉抵接的抵接部，在为了将阀板从阀杆卸下而将连结螺钉从螺纹孔卸下时，由经抵接部作用于阀板的连结螺钉的推进力在杆轴线方向与连结螺钉一起位移，移动到作为连结螺钉从阀杆的螺纹孔完全地拔出的位置的阀板卸下位置。2.根据权利要求1所述的闸阀，其特征在于，连结螺钉具有在外周形成了螺旋槽的螺钉轴部和与螺钉轴部相比为大径的螺钉头部，在螺钉头部形成了用于使旋转操作用的工具卡合的操作孔，螺钉穿插孔具有连结螺钉的螺钉头部进行嵌合的沉孔部和连结螺钉的螺钉轴部进行穿插的穿插部，并以在沉孔部的内部抵接部与连结螺钉的螺钉头部抵接的方式形成。3.根据权利要求2所述的闸阀，其特征在于...
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