【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】搬送系统及搬送控制方法
[0001]本专利技术涉及搬送系统及搬送控制方法。
技术介绍
[0002]在半导体器件的制造工厂等中,通过搬送系统来搬送例如收容有半导体晶圆或标线片的物品。搬送系统例如具备在轨道行驶的搬送车、和控制搬送车的控制器。搬送车通过无线等的通信将当前位置等信息发送至控制器。控制器基于搬送车的位置等来决定执行搬送的搬送车,并对所决定的搬送车分配使其在装货口装载物品并将在装货口所装载的物品搬送至卸货口并卸载的搬送指令(例如参照专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本专利第6176399号公报
技术实现思路
[0006]在上述搬送系统中,存在从搬送车的当前位置到装货口的路径的一部分、或从装货口到卸货口的路径的一部分因维护等理由而被封闭的情况。另外,存在因拥挤或故障等理由而在上述路径停止有其他搬送车的情况。在这种情况下,搬送车无法在被封闭的路径或停止有其他搬送车的路径行驶。在上述搬送系统中,对于无法确保行驶路径的区间设定不可行 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种搬送系统,其特征在于,具备:沿着轨道行驶的搬送车;和控制所述搬送车的控制器,在所述轨道中无法确保从由搬送指令确定的装货口到卸货口的所述搬送车的行驶路径的情况下,所述控制器代替所述搬送指令而对所述搬送车分配第一搬送指令,该第一搬送指令是使所述搬送车在所述装货口装载物品、并行驶到与所述装货口相比靠所述搬送车的行驶方向的下游侧且能够在所述轨道中确保行驶路径的指定点的指令,在所述搬送车接近或到达所述指定点的时间点能够确保从所述指定点到所述卸货口的行驶路径的情况下,所述控制器对所述搬送车分配第二搬送指令,该第二搬送指令是使所述搬送车从所述指定点行驶到所述卸货口并在所述卸货口卸载所述物品的指令。2.根据权利要求1所述的搬送系统,其特征在于,所述第一搬送指令是使所述搬送车行驶到所述指定点并保持所述物品而不将其卸载的指令。3.根据权利要求1或2所述的搬送系统,其特征在于,所述指定点设定于所述轨道中的分支部的近前或汇合部的近前。4.根据权利要求3所述的搬送系统,其特征在于,在所述指定点设定于所述分支部的近前的情况下,所述分支部是离所述装货点最近的分支部。5.根据权利要求1~4中任一项所述的搬送系统,其特征在于,所述控制器根据所述装货口及所述卸货口中的至少一方的种类来判断是否分配所述第一搬送指令及所述第二搬送指令。6.根据权利要求5所述的搬送系统,其特征在于,所述控制器在所述装货口是处理装置的装载口的情况下,将...
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