用于控制液滴形成的装置和方法制造方法及图纸

用于控制用于生成EUV辐射的液滴形成的装置和方法，包括产生指向辐照区域和液滴源的激光束的装置。该液滴源包括具有喷嘴的毛细管和用于在该毛细管中的液体源材料中产生干扰的电致动元件。该液滴源产生流，该流破碎为液滴，当它们朝着该辐照区域前进时，该液滴进而聚结为更大的液滴。该电致动元件由与控制所述液滴生成/聚结过程的该液滴源的至少一个谐振相关联的波形驱动。联的波形驱动。联的波形驱动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】Plasma EUV Light Source Having a Droplet Stream Produced Using a Modulated Disturbance Wave(具有使用调制干扰波产生的液滴流的激光产生等离子体EUV光源)”并且于2009年1月15日公开的美国专利申请公开号为2009/0014668A1的美国专利申请以及名称为“Droplet Generator with Actuator Induced Nozzle Cleaning(具有致动器引起的喷嘴清理的液滴生成器)”并且于2013年8月20日授权的美国专利号为8,513,629的美国专利中公开，两者均通过引用全部并入本文。

技术实现思路

[0010]以下提出了一个或多个实施例的简化
技术实现思路
，以提供对实施例的基础理解。该
技术实现思路
不是所有设想实施例的广泛概述，并且既不旨在标识所有实施例的关键或重要元件，也不旨在描写任何或所有实施例的范围。其唯一目的是以简化的形式提出一个或多个实施例的一些概念，作为稍后提出的更详细描述的序言。
[0011]根据一个方面，一种源材料分发器包括毛细管和电致动元件，该电致动元件机械地耦合至毛细管并且与毛细管同轴布置，其中毛细管和电致动元件中的至少一个的至少一个尺寸被选择为使得源材料分发器在周期控制信号的频率分量处具有谐振模式。谐振模式可以是压电和毛细管机械叠层的厚度模式。毛细管和电致动元件的尺寸可以被确定为使得毛细管和电致动元件各自在厚度方向上以共同频率谐振。谐振模式可以是弹性长度模式。电致动元件的长度可以被选择为使得当源材料填充毛细管时，电致动元件的谐振频率和波长与源材料的声学谐波的频率和波长基本相同。电致动元件可以是压电元件。
[0012]根据另一方面，一种装置包括：源材料分发器，包括毛细管和电致动元件，该电致动元件机械地耦合至毛细管并且与毛细管同轴布置以形成毛细管电致动元件系统；以及信号生成器，电耦合至电致动元件以供应控制信号，该控制信号包括频率分量与毛细管电致动元件系统的至少一种谐振模式相匹配的周期信号。周期控制信号可以具有频率与毛细管电致动元件系统的厚度模式相匹配的正弦波分量。周期控制信号可以具有在频率和波长上与源材料分发器的弹性长度模式相匹配的相干超声分量。电致动元件可以是压电元件。控制信号可以使电致动元件在毛细管中生成具有与波分量的频率基本相同的波频的纵波，该纵波沿着毛细管的长度传播以在轴向方向上位移毛细管的尖端以促进离开毛细管尖端中的喷嘴孔口的源材料射流的瑞利破碎。
[0013]根据另一方面，一种方法包括以下步骤：提供源材料分发器，该源材料分发器包括具有喷嘴的毛细管和电致动元件，该电致动元件机械地耦合至毛细管并且与毛细管同轴布置；将控制信号供应给源材料分发器，该控制信号具有频率与源材料分发器的谐振模式的频率基本相等的分量；以及将液体源材料供应给源材料分发器，该液体源材料以流的方式从喷嘴排出，该流破碎为液滴以及液滴的聚结中的至少一项由控制信号控制。谐振模式可以是厚度模式。谐振模式可以是弹性长度模式。控制信号可以具有频率与包括毛细管和电致动元件的系统的厚度模式相匹配的至少一个正弦波分量。控制信号可以具有在频率和波长上与源材料分发器的弹性长度模式相匹配的相干超声分量。电致动元件可以是压电元件。控制信号可以使电致动元件在毛细管中生成具有与波分量的频率基本相同的波频的纵波，纵波沿着毛细管的长度传播以在轴向方向上位移毛细管的尖端以促进离开毛细管尖端中的喷嘴孔口的锡射流的瑞利破碎。
[0014]本专利技术的其他实施例、特征和优点以及各种实施例的结构和操作在下面参照附图详细描述。
附图说明
[0015]被并入到本文中并且形成说明书的一部分的附图通过示例而非限制的方式图示了本专利技术的实施例的方法和系统。连同详细描述，附图还用于解释原理，并且使(多个)相关领域的技术人员可以制造和使用本文提出的方法和系统。在附图中，相同的附图标记指示相同的或者功能类似的元件。
[0016]图1是根据实施例的一个方面的激光产生等离子体EUV辐射源系统的总体宽泛概念的示意性的未按比例视图。
[0017]图2是根据实施例的一个方面的用于分发源材料的装置的图。
[0018]图3A至3C是根据实施例的一个方面的用于分发源材料的装置中的厚度模式谐振的图。
[0019]图4是根据实施例的一个方面的用于分发源材料的装置的图。
[0020]图5是根据实施例的一个方面的用于分发源材料的装置的图。
[0021]图6是根据实施例的一个方面的分发源材料的方法的流程图。
[0022]本专利技术的其他特征和优点以及本专利技术的各种实施例的结构和操作在下面参照附图详细描述。要注意的是，本专利技术不被限于本文描述的具体实施例。这种实施例是仅出于说明性目的而在本文中提出的。基于本文包含的教导，附加实施例对于相关领域的技术人员将是显而易见的。
具体实施方式
[0023]现在参照附图描述各种实施例，其中相同的附图标记始终被用于指代相同元件。在以下描述中，出于解释的目的，许多具体细节被陈述以便促进对一个或多个实施例的透彻理解。然而，在一些或所有实例中可能很明显，下面描述的任何实施例可以在不采用下面描述的具体设计细节的情况下实现。在其他实例中，众所周知的结构和设备以框图形式示出，以便有助于描述一个或多个实施例。以下提出了一个或多个实施例的简化
技术实现思路
，以提供对实施例的基础理解。该
技术实现思路
不是所有设想实施例的广泛概述，并且既不旨在标识所有实施例的关键或重要元件，也不旨在描写任何或所有实施例的范围。
[0024]然而，在更详细地描述这种实施例之前，提出本专利技术的实施例可以被实现的示例环境是有益的。在以下描述和权利要求中，术语“向上”、“向下”、“顶部”、“底部”、“竖直”、“水平”等术语可以被使用。这些术语旨在仅示出相对方向，而不是相对于重力的任何方向。
[0025]首先参照图1，示出了根据本专利技术的实施例的一个方面的示例性EUV辐射源(例如激光产生等离子体EUV辐射源10)的示意图。如所示，EUV辐射源10可以包括脉冲或连续激光源22，其可以例如是脉冲气体放电CO2激光源，其产生波长通常低于20μm(例如，在大约10.6μm至大约0.5μm或更小的范围内)的辐射束12。脉冲气体放电CO2激光源可以具有以高功率和高脉冲重复速率操作的DC或RF激励。
[0026]EUV辐射源10还包括源递送系统24，用于以液滴或连续液体流的形式递送源材料。在该示例中，源材料是液体，但也可以是固体或气体。源材料可以由锡或锡化合物制成，但
其他材料也可以被使用。在所描绘的系统中，源材料递送系统24将源材料的液滴14引入真空腔26的内部至辐照(irradiation)区域28，其中源材料可以被辐射以产生等离子体。在一些情况下，电荷被放置在源材料上以允许源材料朝着或远离辐照区域28控向。应该注意的是，如本文使用的，辐照区域是源材料辐照可以发生的区域，并且即使在实际上没有发生辐照时也是辐照区域。EUV光源还可以包括束聚焦和控向系统32，如本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种源材料分发器，包括：毛细管；以及电致动元件，所述电致动元件机械地耦合至所述毛细管并且与所述毛细管同轴布置，所述毛细管和所述电致动元件中的至少一个的至少一个尺寸被选择为使得所述源材料分发器在周期控制信号的频率分量处具有谐振模式。2.根据权利要求1所述的源材料分发器，其中所述谐振模式是所述毛细管连同所述电致动元件的厚度模式。3.根据权利要求2所述的源材料分发器，其中所述毛细管和所述电致动元件的尺寸被确定为使得所述毛细管和所述电致动元件各自在厚度方向上以共同频率谐振。4.根据权利要求1所述的源材料分发器，其中所述毛细管和所述电致动元件的尺寸被确定为使得所述毛细管和所述电致动元件各自在厚度方向上以共同频率谐振。5.根据权利要求1所述的源材料分发器，其中所述谐振模式是弹性长度模式。6.根据权利要求5所述的源材料分发器，其中所述电致动元件的长度被选择为使得当源材料填充所述毛细管时，所述电致动元件的谐振频率与所述源材料的声学谐波的频率基本相同。7.根据权利要求1所述的源材料分发器，其中所述电致动元件包括压电元件。8.根据权利要求4所述的源材料分发器，其中所述电致动元件包括压电元件。9.一种装置，包括：源材料分发器，所述源材料分发器包括毛细管和电致动元件，所述电致动元件机械地耦合至所述毛细管并且与所述毛细管同轴布置以形成毛细管电致动元件系统；以及信号生成器，所述信号生成器电耦合至所述电致动元件以供应控制信号，所述控制信号包括具有与所述毛细管电致动元件系统的至少一种谐振模式相匹配的频率分量的周期信号。10.根据权利要求9所述的装置，其中所述周期控制信号具有频率与所述毛细管电致动元件系统的厚度模式相匹配的正弦波分量。11.根据权利要求9所述的装置，其中所述周期控制信号具有在频率和波长上与所述源材料分发器的弹性...

【专利技术属性】
技术研发人员：J，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：