【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】全部氢原子被氟原子或氯原子取代的具有双键的直链烃的分离方法
[0001]本专利技术涉及从包含全部氢原子被氟原子或氯原子取代的具有双键的直链烃和全部氢原子被氟原子或氯原子取代的具有双键的脂环烃的被处理物中分离全部氢原子被氟原子或氯原子取代的具有双键的直链烃的方法。
技术介绍
[0002]具有双键的全氟碳作为在半导体、液晶的制造工艺中用作蚀刻用气体、清洗用气体的四氟甲烷(CF4)、六氟乙烷(C2F6)等饱和全氟碳的代替物、氟树脂的原料,一直以来不断地对其进行着研究。具有双键的全氟碳虽然具有改善了的全球变暖潜能值,但并非达到能够忽视的程度,而且由于蒸气压高、毒性的问题等,受到了严格的管制。因此,对于具有双键的全氟碳的检测方法、除去方法,提出了各种方案(专利文献1~5)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开2001
‑
324492号公报;
[0006]专利文献2:日本特开2001
‑
302551号公报;
[000 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种全部氢原子被氟原子或氯原子取代的具有双键的直链烃的分离方法,其特征在于,使包含全部氢原子被氟原子或氯原子取代的具有双键的直链烃和全部氢原子被氟原子或氯原子取代的具有双键的脂环烃的被处理物与选自式:NR1R2R3所表示的叔胺和杂环芳香胺化合物中的一种以上胺化合物接触,其中,R1、R2和R3独立地为烷基,它们中的两个能够一起形成能够被氧原子或硫原子间断的亚烷基。2.根据权利要求1所述的全部氢原子被氟原子或氯原子取代的具有双键的直链烃的分离方法,其中,使所述被处理物与液态的所述胺化合物接触。3.根据权利要求1或2所述的全部氢原子被氟原子或氯原子取代的具有双键的直链烃的分离方法,其中,所述被处理物与所述胺化合物的接触在反应器内进行,以气态将所述被处理物导入所述反应器。4.根据权利要求1~3中任一项所述的全部氢原子被氟原子或氯原子取代的具有双键的直链烃的分离方法,其中,以低于所述全部氢原子被氟原子或氯原子取代的具有双键的脂环烃的沸点的温度,使所述被处理物与所述胺化合物接触。5.根据权利要求1~4中任一项所述的全部氢原子被氟原子或氯原子取代的具有双键的直链烃的分离方法,其中,所述全部氢原子被氟原子或氯原子取代的具有双键的直链烃是全部氢原子被氟原子或氯原子取代的直链状的烯烃或者全部氢原子被氟原子或氯原子取代的直链状的链二烯。6.根据权利要求5所述的全部氢原子被氟原子或氯原子取代的具有双键的直链烃的分离方法,其中,所述全部氢原子被氟原子或氯原子取代的具有双键的直链烃为直链状的全氟烯烃或直链状的全氟链二烯。7.根据权利要求1~6中任一项所述的全部氢原子被氟原子或氯原子取代的具有双键的直链烃的分离方法,其中,所述全部氢原子被氟原子或氯原子取代的具有双键的直链烃为具有5...
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