一种显微镜的锁焦探测系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种显微镜的锁焦探测系统，该方法包括，锁焦探测模组探测物镜和样品之间距离的变化量，并将距离的变化量发送至锁焦控制器，锁焦控制器输出移动距离至Z轴位移器，Z轴位移器移动距离带动物镜1进行移动，将物镜和样品的间距保持在预设的焦距值内。本实用新型专利技术抛开横向放大率作为光学尺寸的放大，采用轴向放大率作为光学放大率，将轴向放大率测量出来，轴向放大率会正比于横向放大率的平方，做到更加精密的探测。做到更加精密的探测。做到更加精密的探测。

【技术实现步骤摘要】
一种显微镜的锁焦探测系统


[0001]本技术涉及显微镜测距
，具体涉及一种显微镜的锁焦探测系统。

技术介绍

[0002]锁焦是锁定显微镜的物镜和样品之间的距离，也就是物镜的焦面。锁焦系统包括两部分：一个是探测器，用于实时探测样品和物镜的距离；一个是精密位移器。因为一般物镜和样品位移量在20～50nm，所以需要一种精密的探测器，能够探测到20nm或者更小的值。因此，锁焦探测器最重要的技术点在于将20nm放大到可以探测的程度。现有的探测器系统存在如下缺点：
[0003]1、现有的方案利用的是显微镜的横向放大倍率，现有的显微镜自身放大倍率为100x，再通过光路增加约2倍的放大倍率，总的放大倍率为200x左右，无法做到更加精密的探测。
[0004]2、在锁焦探测器模组中，因为受限于尺寸，无法做到放大更大的倍率，为了增大放大倍率，需要更加复杂的系统。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了克服以上现有技术存在的不足，提供了一种精确测量物镜和样品之间距离的变化量的显微镜的锁焦探测系统。
[0006]本技术的目本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显微镜的锁焦探测系统，其特征在于，包括：物镜、管镜、锁焦探测模组、锁焦控制器、Z轴位移器和成像CCD；Z轴位移器设置在物镜的侧边；物镜在样品的正下方，管镜在物镜的正下方，成像CCD在管镜的正下方，锁焦探测模组在管镜和成像CCD的之间，锁焦探测模组、锁焦控制器、Z轴位移器依次连接。2.根据权利要求1所述的显微镜的锁焦探测系统，其特征在于，锁焦探测模组包括：第一分光镜片、四分之一波片、第二分光镜片、光源、第三分光镜片和线性探测器；第一分光镜片倾斜设置在管镜的正下方，第一分光镜片、四分之一波片、第二分光镜片和第三分光镜片依次水平设置，第一分光镜片的左面和第二分光镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨乐宝，王宏达，
申请(专利权)人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院，
类型：新型
国别省市：