【技术实现步骤摘要】
充灌硅油系统
[0001]本技术涉及真空注油领域,特别涉及一种充灌硅油系统。
技术介绍
[0002]在进行充灌硅油时,通常通过人工进行硅油的充灌,在充灌过程中,容易带入杂质,以压力传感器为例,灌油过程中带入杂质会影响压力传感器的性能,产生温漂等。
技术实现思路
[0003]本技术的主要目的是提出一种充灌硅油系统,旨在解决在充灌过程中,容易带入杂质的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术提出一种充灌硅油系统,包括:
[0005]净化系统,包括用于存储硅油原液的炼油罐和设于所述炼油罐内的净化组件,所述净化组件用于炼化硅油原液以得到炼化的硅油;以及,
[0006]灌油系统,包括第一抽真空装置和灌油筒,所述第一抽真空装置用以对所述灌油筒进行抽真空,所述灌油筒与所述炼油罐相连通,以使得炼化的硅油自所述炼油罐注入抽真空后的所述灌油筒内;
[0007]其中,所述炼油罐内的真空度小于所述灌油筒内的真空度。
[0008]可选的,所述第一抽真空装置包括:
[0009]第一机械泵,所 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种充灌硅油系统,其特征在于,包括:净化系统,包括用于存储硅油原液的炼油罐和设于所述炼油罐内的净化组件,所述净化组件用于炼化硅油原液以得到炼化的硅油;以及,灌油系统,包括第一抽真空装置和灌油筒,所述第一抽真空装置用以对所述灌油筒进行抽真空,所述灌油筒与所述炼油罐相连通,以使得炼化的硅油自所述炼油罐注入抽真空后的所述灌油筒内;其中,所述炼油罐内的真空度小于所述灌油筒内的真空度。2.如权利要求1所述的充灌硅油系统,其特征在于,所述第一抽真空装置包括:第一机械泵,所述第一机械泵的第一进气口与所述灌油筒之间通过第一输送管相连通,所述第一输送管上设置有旁通阀;以及,扩散泵,所述扩散泵的吸气口与所述灌油筒之间通过第二输送管相连通,且所述第二输送管上设置有真空隔离阀,所述扩散泵的排气口与所述第一进气口相连通,且所述排气口与所述进气口之间设置有第一开关阀。3.如权利要求1所述的充灌硅油系统,其特征在于,所述炼油罐设置有进油管和出油管,所述进油管用于自储油装置内抽取硅油原液并输送至所述炼油罐内,所述出油管的出油端与所述灌油筒相连通,所述出油管上设置有注油阀;和/或,所述净化组件包括搅拌加热装置和第二抽真空装置,所述搅拌加热装置设于所述炼油罐内,用于边搅拌边加热所述硅油原液,所述第二抽真空装置与所述炼油罐相连通,用以对所述炼油罐抽真空。4.如权利要求3所述的充灌硅油系统,...
【专利技术属性】
技术研发人员:王小平,曹万,杨军,李凡亮,王红明,施涛,
申请(专利权)人:武汉飞恩微电子有限公司,
类型:新型
国别省市:
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