一种用于批量制备石墨烯薄膜的载具制造技术

本实用新型专利技术一实施方式提供了一种用于批量制备石墨烯薄膜的载具，包括多个支撑板、多个加热板和电极组件；其中，所述多个支撑板用于放置生长石墨烯的衬底，所述多个加热板用于对所述衬底进行加热处理，所述电极组件与所述多个加热板相连，所述多个支撑板与所述多个加热板交替地层叠设置。本实用新型专利技术一实施方式的载具，能够实现石墨烯生长衬底的批量放置和高效加热。效加热。效加热。

【技术实现步骤摘要】
一种用于批量制备石墨烯薄膜的载具


[0001]本技术涉及载具，具体为一种石墨烯生长时用于承载和加热生长衬底的载具。

技术介绍

[0002]石墨烯是由单层碳原子构成的蜂窝状二维原子晶体，具有诸多优异的物理化学性质，例如极高的载流子迁移率、电导率、热导率、透光率以及良好的机械强度和化学稳定性等等，因此受到了学术界和产业界的广泛关注。相比于其他制备方法，化学气相沉积法具有制备石墨烯薄膜质量高、面积大、可控性好等优点，是目前石墨烯薄膜制备的主流方法。化学气相沉积法制备石墨烯的原理是将石墨烯生长所需的衬底，如金属、玻璃、蓝宝石等置于高温反应腔室内，然后通入碳源前驱体和载气，使其在衬底表面催化裂解、成核、最终拼接成膜形成石墨烯。
[0003]目前，石墨烯薄膜的大面积、低成本、批量化制备仍存在瓶颈。其原因在于一方面碳源裂解等过程需要克服很高的反应能垒，因此石墨烯的生长一般需要在高温下进行。常规的化学气相沉积装置是以管式炉为代表的热壁反应炉，通过电阻丝加热石英管壁的方式对整个反应腔室进行加热。这种加热方式的加热区域明显大于石墨烯生长衬底所占的区域，所以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于批量制备石墨烯薄膜的载具，其特征在于，包括：多个支撑板，用于放置生长石墨烯的衬底；多个加热板，用于对所述衬底进行加热处理；以及电极组件，与所述多个加热板相连；其中，所述多个支撑板与所述多个加热板交替地层叠设置。2.根据权利要求1所述的用于批量制备石墨烯薄膜的载具，其特征在于，在所述支撑板和与其相邻的所述加热板之间设置有一定间隔。3.根据权利要求2所述的用于批量制备石墨烯薄膜的载具，其特征在于，在所述多个支撑板和所述多个加热板之间设置有多个限位块，以使所述支撑板和与其相邻的所述加热板之间保持一定间隔。4.根据权利要求3所述的用于批量制备石墨烯薄膜的载具，其特征在于，所述多个限位块包括多个第一限位块和多个第二限位块，所述多个第一限位块设置于所述多个支撑板之间，所述多个第二限位块设置于所述多个加热板之间。5.根据权利要求4所述的用于批量制备石墨烯薄膜的载具，其特征在于，所述支撑板的一部分突出于所述加热板，使得中间夹设有所述加热板的两个所述支撑板能够相对设置，所述第一限位块设置于相对的两个所述支撑板之间；所述加热板的一部分突出于所述支撑板，使得中间夹设有所述支撑板的两个所述加热板能够相对设置，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘忠范，彭海琳，贾开诚，单婧媛，高翾，马子腾，竺叶澍，
申请(专利权)人：北京石墨烯研究院，
类型：新型
国别省市：