一种波前检测设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种波前检测设备，包括光源、设于光源侧的波前补偿系统、设于所述波前补偿系统出光侧的耦合系统、设于所述耦合系统出光侧的检测系统、连接所述波前补偿系统、耦合系统和检测系统的控制系统以及设于所述耦合系统出光侧和所述检测系统入光侧之间的待测器件，所述耦合系统包括可变焦光学镜头。本实用新型专利技术既能完成对输入的波前/待测器件的波前进行补偿，也能直接检测补偿后的波前，大大提高了对不同待测镜头的检测效率，缩短检测周期，同时降低检测成本。同时降低检测成本。同时降低检测成本。

【技术实现步骤摘要】
一种波前检测设备


[0001]本技术涉及光学设备领域，尤其涉及一种波前检测设备。

技术介绍

[0002]现有波前检测设备成本较高、检测周期较长、检测效率较低。例如专利CN111256956A中公开的一种非完整镜头的波前测量设备及波前检测方法。其包含波前补偿系统、控制系统、耦合系统及检测系统，该耦合系统包括耦合透镜，主要用于匹配待测非完整镜头的输出光与空间光调制器，对于不同的待测非完整镜头需要不同的耦合透镜进行补偿，这样虽然能完成对非完整镜头的波前检测，但大大增加了测试非完整镜头的成本及效率。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是提供一种波前检测设备，既能完成对输入的波前/待测器件的波前进行补偿，也能直接检测补偿后的波前。
[0004]本技术通过如下方式解决该技术问题：
[0005]光源；
[0006]波前补偿系统，设于所述光源侧；
[0007]耦合系统，设于所述波前补偿系统的出光侧；
[0008]检测系统，设于所述耦合系统的出光侧；
[0009]控制系统，所述控制系统与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种波前检测设备，其特征在于,包括；光源；波前补偿系统，设于所述光源侧；耦合系统，设于所述波前补偿系统的出光侧；检测系统，设于所述耦合系统的出光侧；控制系统，所述控制系统与所述波前补偿系统、耦合系统和检测系统连接；待测器件，设于所述耦合系统出光侧和所述检测系统入光侧之间；所述耦合系统包括可变焦光学镜头。2.根据权利要求1所述的波前检测设备，其特征在于：所述可变焦光学镜头为Tlens镜头，所述Tlens镜头的光焦度为φ，φ满足以下条件：
‑
9m
‑1≤φ≤﹢4m
‑1。3.根据权利要求2所述的波前检测设备，其特征在于：所述Tlens镜头的长度为L，L满足以下条件：2.8mm≤L≤3.6mm；宽度为W，W满足以下条件：2.8mm≤W≤3.6mm；厚度为T，T满足以下条件：0.3mm≤T≤0.5mm。4.根据权利要求3所述的波前检测设备，其特征在于：所述Tlens镜头的长度L为3.2mm，宽度W为3.2mm，厚度T为0.4mm。5.根据权利要求2所述的波前检测设备，其特征在于：所述波前补偿系统包括分光棱镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：张健，国成立，谢桂华，戴付建，赵烈烽，
申请(专利权)人：浙江舜宇光学有限公司，
类型：新型
国别省市：