【技术实现步骤摘要】
制造钟表部件的方法
[0001]本申请是申请号为:201480070092.9,专利技术名称为“制造钟表部件的方法”的中国专利技术申请的分案申请。
[0002]本专利技术涉及一种用于制造由微加工材料制成的钟表部件的方法。
技术介绍
[0003]从例如硅的微加工材料制造钟表部件,以及使用从微电子工业衍生的技术(尤其是深反应离子蚀刻(DRIE))的实践是已知的。该制造方法通常包括下列步骤:
[0004]生产微加工材料片材,例如由硅制成,
[0005]通过在片材的整个厚度上进行蚀刻,形成钟表部件,
[0006]通过将部件从片材的剩余部分分离来使所述部件脱离。
[0007]材料和采自微电子工业的制造技术的使用提供了高度吸引力的可能性,尤其是在精度方面。需要被克服的一个困难仍然是如何使部件脱离而不损坏它。在一般情况下,附件或材料桥接部被设置在钟表部件和片材的剩余部分之间。这些附件的目的是在部件的整个制造期间,保持部件附接于片材,尤其是在蚀刻后所施加到部件的处理(热处理,施加涂层等)中,同时使得所 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于制造钟表部件(1)的方法,其包括以下步骤:制造(S1)微加工材料的片材(2);通过蚀刻片材(2),形成(S2)钟表部件(1),至少一个附件(3)将钟表部件(1)栓到片材(2)的剩余部分;其中,所述方法包括步骤(S3),步骤(S3)包括沿着附件的期望的断裂线(L)建立预分离区域(4),预分离区域(4)包括至少一个开口(5),该开口(5)通过在片材(2)的厚度内蚀刻得到。2.如权利要求1所述的方法,其中,所述钟表部件(1)通过穿过其整个厚度蚀刻片材(2)而形成。3.如权利要求1或2所述的方法,其中,所述开口(5)通过蚀刻片材(2)的部分厚度得到。4.如权利要求1至3中一项所述的方法,其中,所述开口(5)沿着断裂线(L)的整体延伸。5.如权利要求1至3中一项所述的方法,其中,所述预分离区域(4)包括沿着断裂线(L)对准的多个开口(5)。6.如前述权利要求中的一项所述的方法,其中,所述开口(5)或所述多个开口(5)的深度小于或等于片材(2)厚度的90%,优选地,小于或等于所述厚度的60%,并且大于或等于片材(2)厚度的一半。7.如前述权利要求中的一项所述的方法,其中,钟表部件(1)的蚀刻和预分离区域(4)的开口(5)的蚀刻被同时执行。8.如前述权利要求所述的方法,其中,所述预分离区域(4)的所述开口(5)的宽度小于旨在形成钟表部件的贯通开口的宽度,尤其是小于形成钟表部件的多个贯通开口的宽度的最小值。9.如权利要求7和8中一项所述的方法,其中,旨在形成钟表部件的贯通开口的所述宽度大于40微米,所述预分离区域(...
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