一种全数字式高功率单极脉冲磁控溅射电源制造技术

本实用新型专利技术属于磁控溅射电源技术领域，尤其为一种全数字式高功率单极脉冲磁控溅射电源，针对在现有技术中的磁控溅射电源在工作时，散热效果差，降低了磁控溅射电源的使用寿命的问题，现提出如下方案，其包括壳体，所述壳体的底部内壁上固定安装有磁控溅射电源本体，所述壳体的后侧固定安装有第一电机，所述第一电机的输出轴延伸至壳体内并固定安装有圆盘，所述圆盘的前侧固定焊接有连接轴，所述连接轴的外侧活动套设有矩形框架，所述矩形框架的底部固定安装有齿条。本实用新型专利技术结构设计合理，可以有效的对磁控溅射电源吹风散热，并且可以对磁控溅射电源本体工作时散发的热量排出，有效的提高了其散热效果。效的提高了其散热效果。效的提高了其散热效果。

【技术实现步骤摘要】
一种全数字式高功率单极脉冲磁控溅射电源


[0001]本技术涉及磁控溅射电源
，尤其涉及一种全数字式高功率单极脉冲磁控溅射电源。

技术介绍

[0002]磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出，电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。磁控溅射电源具有良好的负载特性，性价比高，适用于金属及反应膜层环境使用。目前，磁控溅射镀膜工艺所采用的电源均为直流磁控溅射电源、中频磁控溅射电源和单极脉冲磁控溅射电源，溅射材料主要以中性原子/原子团为主，溅射机理是动能，在一般情况下，电源电压范围在1kv以下，离子能量在几个电子伏特左右，形成的等离子体离化率低，可控性较差，沉积薄膜的质量和性能较难优化。
[0003]然而，在现有技术中的磁控溅射电源在工作时，散热效果差，降低了磁控溅射电源的使用寿命，因此我们提出了一种全数字式高功率单极脉冲磁控溅射电源用于解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决在现有技术中的磁控溅射电源在工作时，散热效果差，降低了磁控溅射电源的使用寿命的缺点，而提出的一种全数字式高功率单极脉冲磁控溅射电源。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种全数字式高功率单极脉冲磁控溅射电源，包括壳体，所述壳体的底部内壁上固定安装有磁控溅射电源本体，所述壳体的后侧固定安装有第一电机，所述第一电机的输出轴延伸至壳体内并固定安装有圆盘，所述圆盘的前侧固定焊接有连接轴，所述连接轴的外侧活动套设有矩形框架，所述矩形框架的底部固定安装有齿条，所述壳体内转动安装有齿轮，所述齿条与齿轮相啮合，所述齿轮的前侧固定安装有固定板，固定板的底部固定安装有第二电机，所述第二电机的输出轴上固定连接有第一扇叶，所述壳体的后侧转动安装有两个第一转轴，所述第一电机的输出轴的外侧与两个第一转轴的外侧均固定安装有皮带轮，三个皮带轮上传动连接有同一个皮带，所述壳体内转动安装有两个第二转轴，两个第一转轴的前端均延伸至壳体内并与两个第二转轴相互靠近的一端均固定安装有锥形齿轮，四个锥形齿轮中相对应的两个锥形齿轮相啮合，两个第二转轴相互远离的一端均固定安装有第二扇叶。
[0007]优选的，所述壳体的后侧固定安装有安装板，第一电机固定安装在安装板上，便于安装第一电机。
[0008]优选的，所述壳体的顶部内壁上开设有滑槽，所述矩形框架滑动连接在滑槽内，所述滑槽的两侧内壁上固定连接有同一个限位杆，所述矩形框架滑动连接在限位杆的外侧，对矩形框架起到限位作用。
[0009]优选的，所述壳体内转动安装有转动轴，所述齿轮与固定板均固定安装在转动轴的外侧，便于转动安装齿轮与固定板。
[0010]优选的，所述壳体内固定安装有两个卡板，两个第二转轴转动安装在相对应的卡板的内侧，便于转动安装两个第二转轴。
[0011]优选的，所述壳体的顶部开设有多个进风孔，所述壳体的两侧均开设有多个出风孔，多个进风孔与多个出风孔内均设有防尘网，方便进风与出风。
[0012]本技术中，所述的一种全数字式高功率单极脉冲磁控溅射电源，通过启动第一电机与第二电机，使得第一电机带动圆盘转动，从而即可通过连接轴带动矩形框架往复左右移动，从而即可通过矩形框架带动齿条往复左右移动，并且可以通过齿条与齿轮的啮合传动，即可带动齿轮往复转动，随即即可通过固定板带动第二电机往复摆动，同时可以通过第二电机带动第一扇叶转动，对磁控溅射电源本体进行吹风散热，通过往复摆动的第一扇叶可以有效的提高了其吹风效果；
[0013]本技术中，所述的一种全数字式高功率单极脉冲磁控溅射电源，通过三个皮带轮与皮带的传动连接，即可带动两个第一转轴转动，随即即可通过两组两个锥形齿轮的啮合传动，即可带动两个第二转轴转动，使得两个第二转轴带动两个第二扇叶转动，使得两个第二扇叶将磁控溅射电源本体工作时散发的热量通过多个出风孔排出；
[0014]本技术结构设计合理，可以有效的对磁控溅射电源吹风散热，并且可以对磁控溅射电源本体工作时散发的热量排出，有效的提高了其散热效果。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的一种全数字式高功率单极脉冲磁控溅射电源的结构示意图；
[0016]图2为本技术提出的一种全数字式高功率单极脉冲磁控溅射电源的后视结构示意图；
[0017]图3为本技术提出的一种全数字式高功率单极脉冲磁控溅射电源的A部分的结构示意图；
[0018]图4为本技术提出的一种全数字式高功率单极脉冲磁控溅射电源的B部分的结构示意图。
[0019]图中：1、壳体；2、磁控溅射电源本体；3、第一电机；4、圆盘；5、连接轴；6、矩形框架；7、齿条；8、齿轮；9、固定板；10、第二电机；11、第一扇叶；12、第一转轴；13、皮带轮；14、皮带；15、第二转轴；16、锥形齿轮；17、第二扇叶；18、进风孔；19、出风孔；20、防尘网。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0021]参照图1
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4，一种全数字式高功率单极脉冲磁控溅射电源，包括壳体1，壳体1的底部内壁上固定安装有磁控溅射电源本体2，壳体1的后侧固定安装有第一电机3，第一电机3的输出轴延伸至壳体1内并固定安装有圆盘4，圆盘4的前侧固定焊接有连接轴5，连接轴5的
外侧活动套设有矩形框架6，矩形框架6的底部固定安装有齿条7，壳体1内转动安装有齿轮8，齿条7与齿轮8相啮合，齿轮8的前侧固定安装有固定板9，固定板9的底部固定安装有第二电机10，第二电机10的输出轴上固定连接有第一扇叶11，壳体1的后侧转动安装有两个第一转轴12，第一电机3的输出轴的外侧与两个第一转轴12的外侧均固定安装有皮带轮13，三个皮带轮13上传动连接有同一个皮带14，壳体1内转动安装有两个第二转轴15，两个第一转轴12的前端均延伸至壳体1内并与两个第二转轴15相互靠近的一端均固定安装有锥形齿轮16，四个锥形齿轮16中相对应的两个锥形齿轮16相啮合，两个第二转轴15相互远离的一端均固定安装有第二扇叶17。
[0022]壳体1的后侧固定安装有安装板，第一电机3固定安装在安装板上，便于安装第一电机3，壳体1的顶部内壁上开设有滑槽，矩形框架6滑动连接在滑槽内，滑槽的两侧内壁上固定连接有同一个限位杆，矩形框架6滑动连接在限位杆的外侧，对矩形框架6起到限位作用，壳体1内转动安装有转动轴，齿轮8与固定板9均固定安装在转动轴的外侧，便于转动安装齿轮8与固定板9，壳体1内固定安装有两个卡板，两个第二转轴15转动安装在相对应的卡板的内侧，便于转动安装两个第二转轴15，壳体1的顶部开设有多个进风孔18，壳体1的两侧均开设有多个出风孔19，多个进风孔18与多个出风孔19内均设有防尘网20，方便进风与出风。
[0023]本技术中，在使用时，可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种全数字式高功率单极脉冲磁控溅射电源，包括壳体（1），其特征在于，所述壳体（1）的底部内壁上固定安装有磁控溅射电源本体（2），所述壳体（1）的后侧固定安装有第一电机（3），所述第一电机（3）的输出轴延伸至壳体（1）内并固定安装有圆盘（4），所述圆盘（4）的前侧固定焊接有连接轴（5），所述连接轴（5）的外侧活动套设有矩形框架（6），所述矩形框架（6）的底部固定安装有齿条（7），所述壳体（1）内转动安装有齿轮（8），所述齿条（7）与齿轮（8）相啮合，所述齿轮（8）的前侧固定安装有固定板（9），固定板（9）的底部固定安装有第二电机（10），所述第二电机（10）的输出轴上固定连接有第一扇叶（11），所述壳体（1）的后侧转动安装有两个第一转轴（12），所述第一电机（3）的输出轴的外侧与两个第一转轴（12）的外侧均固定安装有皮带轮（13），三个皮带轮（13）上传动连接有同一个皮带（14），所述壳体（1）内转动安装有两个第二转轴（15），两个第一转轴（12）的前端均延伸至壳体（1）内并与两个第二转轴（15）相互靠近的一端均固定安装有锥形齿轮（16），四个锥形齿轮（16）中相对应的两个锥形齿轮（16）相啮合，两...

【专利技术属性】
技术研发人员：范玮力，王志鹏，
申请(专利权)人：四川省海创电气有限责任公司，
类型：新型
国别省市：