一种用于单晶硅片的甩干装置制造方法及图纸

技术编号:31358411 阅读:21 留言:0更新日期:2021-12-13 09:16
本实用新型专利技术提供一种用于单晶硅片的甩干装置,包括箱体和可拆卸安装在箱体顶部的箱盖,所述箱体包括基座室、电机室和甩干室,甩干室内竖直的间隔设有若干硅片放置筒,硅片放置筒上套设有中空夹层的热气体套筒,热气体套筒的内侧壁上由上至下沿周开设有出气口。本实用新型专利技术的甩干装置利用硅片放置筒装夹单晶硅片并且通过旋转产生离心力分离水分的同时,通过旋转热气体套筒对单晶硅片进行热风烘干,而硅片放置筒与热气体套筒采用相反方向转动,热风可均匀的分布在硅片放置筒与热气体套筒之间,热风可对硅片放置筒内装夹的单晶硅片进行均匀高效的烘干,效率高,值得大力推广。值得大力推广。值得大力推广。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶硅片的甩干装置


[0001]本技术涉及单晶硅片加工
,具体为一种用于单晶硅片的甩干装置。

技术介绍

[0002]单晶硅太阳电池以高纯的单晶硅棒为原料,它的构成和生产工艺已定型,在当前以成为发展最快的一种电池,产品已广泛用于宇宙空间和地面设施。
[0003]而单晶硅太阳电池的制作需要将单晶硅棒切成片,一般片厚约0.3毫米,而后,硅片经过成形、抛磨、清洗等工序,制成待加工的原料硅片,在单晶硅片清洗后需要对其进行烘干,现有技术中均是采用热风吹拂烘干,效率低。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种用于单晶硅片的甩干装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了解决上述技术问题,本技术提供如下技术方案:一种用于单晶硅片的甩干装置,包括箱体和可拆卸安装在箱体顶部的箱盖,所述箱体包括基座室、电机室和甩干室,所述甩干室内竖直的间隔设有若干硅片放置筒,所述硅片放置筒的底部连接有支撑轴,所述支撑轴穿过所述甩干室且转动安装在所述基座室内,且下端套装有第一从传动轮,所述电机室的底部安装有第一驱动电机,所述第一驱动电机的输出轴穿过所述电机室的底部,且输出轴上套装有第一主传动轮,所述第一主传动轮和第一从传动轮通过传动带连接,所述甩干室的底端设有出口;
[0006]所述硅片放置筒上套设有中空夹层的热气体套筒,所述热气体套筒的内侧壁上由上至下沿周开设有出气口,且顶部连通有热气体管,所述热气体管穿过所述箱盖,且上端套装有第二从传动轮,所述电机室的顶部安装有第二驱动电机,所述第二驱动电机的输出轴穿过所述箱盖,且输出轴上套装有第二主传动轮,所述第二主传动轮和第二从传动轮通过传动带连接;
[0007]所述热气体管的顶端内通过轴承套插设有气体管,所述气体管与输出管连接。
[0008]所述甩干室的底部为倾斜设置。
[0009]与现有技术相比,本技术所达到的有益效果是:本技术的甩干装置利用硅片放置筒装夹单晶硅片并且通过旋转产生离心力分离水分的同时,通过旋转热气体套筒对单晶硅片进行热风烘干,而硅片放置筒与热气体套筒采用相反方向转动,热风可均匀的分布在硅片放置筒与热气体套筒之间,热风可对硅片放置筒内装夹的单晶硅片进行均匀高效的烘干,效率高,值得大力推广。
附图说明
[0010]附图用来提供对本技术的进一步理解,并且构成说明书的一部分。在附图中:
[0011]图1是本技术的结构示意图;
[0012]图中:1箱体;2箱盖;3基座室;4电机室;5甩干室;6硅片放置筒;7支撑轴;8第一从传动轮;9第一驱动电机;10第一主传动轮;11热气体套筒;12热气体管;13第二从传动轮;14第二驱动电机;15第二主传动轮;16输出管;17气体管。
具体实施方式
[0013]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0014]请参阅图1,本技术提供技术方案:一种用于单晶硅片的甩干装置,包括箱体1和可拆卸安装在箱体1顶部的箱盖2,箱体1包括基座室3、电机室4和甩干室5,甩干室5内竖直的间隔设有若干硅片放置筒6,硅片放置筒6的底部连接有支撑轴7,支撑轴7穿过甩干室5且转动安装在基座室3内,且下端套装有第一从传动轮8,电机室4的底部安装有第一驱动电机9,第一驱动电机9的输出轴穿过电机室4的底部,且输出轴上套装有第一主传动轮10,第一主传动轮10和第一从传动轮8通过传动带连接,甩干室5的底端设有出口;
[0015]硅片放置筒6上套设有中空夹层的热气体套筒11,热气体套筒11的内侧壁上由上至下沿周开设有出气口,且顶部连通有热气体管12,热气体管12穿过箱盖2,且上端套装有第二从传动轮13,电机室4的顶部安装有第二驱动电机14,第二驱动电机14的输出轴穿过箱盖2,且输出轴上套装有第二主传动轮15,第二主传动轮15和第二从传动轮13通过传动带连接;
[0016]热气体管12的顶端内通过轴承套插设有气体管17,气体管17与输出管16连接。
[0017]甩干室5的底部为倾斜设置,利于气流和水流从甩干室5的底部出口排出。
[0018]箱体1的顶部可拆卸安装有箱盖2,因此可将箱盖2拆卸取下,进而可将热气体套筒11从硅片放置筒6上取出,方便放置单晶硅片及维护清理。
[0019]具体的,启动第一驱动电机9通过传动带带动第一从传动轮8转动,进而带动支撑轴7转动,进而使得硅片放置筒6旋转,通过旋转产生离心力分离水分,同时,启动第二驱动电机14通过传动带带动第二从传动轮13转动,进而带动热气体管12转动,进而使得热气体套筒11旋转,且将热气体由设置在外部的气泵通过输出管16、气体管17及热气体管12输送至热气体套筒11的夹层内,再通过出气口流出对单晶硅片进行烘干,第一驱动电机9和第二驱动电机14采用相反方向旋转,热风可均匀的分布在硅片放置筒6与热气体套筒11之间,热风可对单晶硅片进行均匀高效的烘干,效率高。
[0020]需要说明的是,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0021]最后应说明的是:以上所述仅为本技术的优选实施例而已,并不用于限制本技术,尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明,对于本领域的技术人员
来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅片的甩干装置,包括箱体(1)和可拆卸安装在箱体(1)顶部的箱盖(2),其特征在于:所述箱体(1)包括基座室(3)、电机室(4)和甩干室(5),所述甩干室(5)内竖直的间隔设有若干硅片放置筒(6),所述硅片放置筒(6)的底部连接有支撑轴(7),所述支撑轴(7)穿过所述甩干室(5)且转动安装在所述基座室(3)内,且下端套装有第一从传动轮(8),所述电机室(4)的底部安装有第一驱动电机(9),所述第一驱动电机(9)的输出轴穿过所述电机室(4)的底部,且输出轴上套装有第一主传动轮(10),所述第一主传动轮(10)和第一从传动轮(8)通过传动带连接,所述甩干室(5)的底端设有出口;所述硅片放置筒(6...

【专利技术属性】
技术研发人员:蔡建名
申请(专利权)人:扬州方通电子材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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